The utility model relates to a continuous gas supply technical field, in particular to a continuous gas supply device, including a first gas supply road and a second gas supply road. A first gas source end valve, a first pressure regulating valve and a first outlet pressure detection device are arranged in the first gas supply road, and the second gas supply and gas path is self-contained in the first air supply air road. The air end to the outgassing end is arranged in turn with second gas source end valves, second pressure regulating valves and two outlet pressure detection devices. The first air supply air inlet port is connected with the first gas source, the intake end of the second gas supply and gas path is connected with the second gas source, the outgassing end of the first gas supply air road and the outlet end of the two gas supply air are connected with the gas end. Let's go. By setting up the outlet pressure of the first pressure regulating valve and the outlet pressure of the second pressure regulating valve, the utility model can fully rely on the mechanical structure design to realize automatic switching and seamless replacement of gas supply source, thus achieving the purpose of continuous gas supply, simple gas path, easy operation and lower cost.
【技术实现步骤摘要】
一种连续供气装置
本技术涉及连续供气
,尤其涉及一种连续供气装置。
技术介绍
在目前的工业生产中,很多行业需要气体作为工业原料。特别是目前发展迅猛的半导体、太阳能、发光二极管和平面显示行业,需要大量的氢气、氮气等气体,以满足工艺生产的需要。这些常用气体通常使用钢瓶供气,当气体使用频繁时,需经常更换新钢瓶,以提供充足的气源。常规更换钢瓶的过程,是将空钢瓶侧阀门关闭,更换新钢瓶后,再将新钢瓶侧阀门打开,这种更换方式会迫使供气中断,导致后续设备、生产工艺没有气源,影响正常生产;另一种做法是使用有切换供气功能的阀门,但此种阀门往往成本较高,且需要配套的电控系统,操作复杂,不利于推广使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种连续供气装置,以保障连续供气,避免停气对生产造成的损失。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种连续供气装置,包括第一供气气路和第二供气气路,所述第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置,所述第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置;所述第一供气气路的进气端与第一气源连通,所述第二供气气路的进气端与第二气源连通,所述第一供气气路的出气端及所述第二供气气路的出气端均与用气端连通。作为优选,所述第一供气气路还包括第一气源压力检测装置,所述第一气源压力检测装置位于所述第一气源与所述第一气源端阀门之间;所述第二供气气路还包括第二气源压力检测装置,所述第二气源压力检测装置位于所述第二气源与所述第二气源端阀门之间。作为优选,所述第一供气气路还包括第一供气阀门,所 ...
【技术保护点】
1.一种连续供气装置,包括第一供气气路(1)和第二供气气路(2),所述第一供气气路(1)中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门(11)、第一调压阀(12)及第一出口压力检测装置(13),所述第二供气气路(2)中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门(21)、第二调压阀(22)及第二出口压力检测装置(23);所述第一供气气路(1)的进气端与第一气源(14)连通,所述第二供气气路(2)的进气端与第二气源(24)连通,所述第一供气气路(1)的出气端及所述第二供气气路(2)的出气端均与用气端(3)连通。
【技术特征摘要】
1.一种连续供气装置,包括第一供气气路(1)和第二供气气路(2),所述第一供气气路(1)中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门(11)、第一调压阀(12)及第一出口压力检测装置(13),所述第二供气气路(2)中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门(21)、第二调压阀(22)及第二出口压力检测装置(23);所述第一供气气路(1)的进气端与第一气源(14)连通,所述第二供气气路(2)的进气端与第二气源(24)连通,所述第一供气气路(1)的出气端及所述第二供气气路(2)的出气端均与用气端(3)连通。2.根据权利要求1所述的连续供气装置,其特征在于,所述第一供气气路(1)还包括第一气源压力检测装置(15),所述第一气源压力检测装置(15)位于所述第一气源(14)与所述第一气源端阀门(11)之间;所述第二供气气路(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:李梦越,于锋,
申请(专利权)人:江苏正帆半导体设备有限公司,上海正帆半导体设备有限公司,上海正帆科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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