一种连续供气装置制造方法及图纸

技术编号:18431860 阅读:11 留言:0更新日期:2018-07-12 04:15
本实用新型专利技术涉及连续供气技术领域,尤其涉及一种连续供气装置,包括第一供气气路和第二供气气路,第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置,第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置;第一供气气路的进气端与第一气源连通,第二供气气路的进气端与第二气源连通,第一供气气路的出气端及第二供气气路的出气端均与用气端连通。本实用新型专利技术通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值,完全依靠机械结构设计实现供气气源的自动切换和无缝式更换,从而达到连续供气的目的,气路简单,操作简便,成本降低。

A continuous gas supply device

The utility model relates to a continuous gas supply technical field, in particular to a continuous gas supply device, including a first gas supply road and a second gas supply road. A first gas source end valve, a first pressure regulating valve and a first outlet pressure detection device are arranged in the first gas supply road, and the second gas supply and gas path is self-contained in the first air supply air road. The air end to the outgassing end is arranged in turn with second gas source end valves, second pressure regulating valves and two outlet pressure detection devices. The first air supply air inlet port is connected with the first gas source, the intake end of the second gas supply and gas path is connected with the second gas source, the outgassing end of the first gas supply air road and the outlet end of the two gas supply air are connected with the gas end. Let's go. By setting up the outlet pressure of the first pressure regulating valve and the outlet pressure of the second pressure regulating valve, the utility model can fully rely on the mechanical structure design to realize automatic switching and seamless replacement of gas supply source, thus achieving the purpose of continuous gas supply, simple gas path, easy operation and lower cost.

【技术实现步骤摘要】
一种连续供气装置
本技术涉及连续供气
,尤其涉及一种连续供气装置。
技术介绍
在目前的工业生产中,很多行业需要气体作为工业原料。特别是目前发展迅猛的半导体、太阳能、发光二极管和平面显示行业,需要大量的氢气、氮气等气体,以满足工艺生产的需要。这些常用气体通常使用钢瓶供气,当气体使用频繁时,需经常更换新钢瓶,以提供充足的气源。常规更换钢瓶的过程,是将空钢瓶侧阀门关闭,更换新钢瓶后,再将新钢瓶侧阀门打开,这种更换方式会迫使供气中断,导致后续设备、生产工艺没有气源,影响正常生产;另一种做法是使用有切换供气功能的阀门,但此种阀门往往成本较高,且需要配套的电控系统,操作复杂,不利于推广使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种连续供气装置,以保障连续供气,避免停气对生产造成的损失。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种连续供气装置,包括第一供气气路和第二供气气路,所述第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置,所述第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置;所述第一供气气路的进气端与第一气源连通,所述第二供气气路的进气端与第二气源连通,所述第一供气气路的出气端及所述第二供气气路的出气端均与用气端连通。作为优选,所述第一供气气路还包括第一气源压力检测装置,所述第一气源压力检测装置位于所述第一气源与所述第一气源端阀门之间;所述第二供气气路还包括第二气源压力检测装置,所述第二气源压力检测装置位于所述第二气源与所述第二气源端阀门之间。作为优选,所述第一供气气路还包括第一供气阀门,所述第一供气阀门位于所述第一出口压力检测装置与所述用气端之间;所述第二供气气路还包括第二供气阀门,所述第二供气阀门位于所述第二出口压力检测装置与所述用气端之间。作为优选,所述第一气源与所述第二气源为气瓶。作为优选,所述第一气源压力检测装置、第一出口压力检测装置、第二气源压力检测装置及第二出口压力检测装置为压力表。本技术提供的连续供气装置,相比于现有技术的有益效果:1)本技术的连续供气装置气路简单,能够完全依靠机械结构设计做到气源的自动切换和无缝式更换,提高了实际应用过程中的可操作性,成本降低,稳定可靠性提高;2)本技术通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值,实现了供气气源的自动切换,从而达到连续供气的目的,操作简便,易于推广。附图说明图1是本技术提供的连续供气装置的原理示意图。图中:1-第一供气气路;11-第一气源端阀门;12-第一调压阀;13-第一出口压力检测装置;14-第一气源;15-第一气源压力检测装置;16-第一供气阀门;2-第二供气气路;21-第二气源端阀门;22-第二调压阀;23-第二出口压力检测装置;24-第二气源;25-第二气源压力检测装置;26-第二供气阀门;3-用气端。具体实施方式下面结合附图和实施方式进一步说明本技术的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术,而非对本技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部。本技术提供了一种连续供气装置,如图1所示,包括第一供气气路1和第二供气气路2,第一供气气路1中自进气端至出气端依次设置有第一气源压力检测装置15、第一气源端阀门11、第一调压阀12、第一出口压力检测装置13及第一供气阀门16,第二供气气路2中自进气端至出气端依次设置有第二气源压力检测装置25、第二气源端阀门21、第二调压阀22、第二出口压力检测装置23及第二供气阀门26。第一供气气路1的进气端与第一气源14连通,第二供气气路2的进气端与第二气源连通,第一供气气路1的出气端及第二供气气路2的出气端均与用气端3连通。其中,通过设置第一调压阀12的出口压力和第二调压阀22的出口压力为高低不同值,实现了供气气源的自动切换,从而达到连续供气的目的,操作简便,易于推广。本实施例中,第一气源14与第二气源24为气瓶。第一气源压力检测装置15、第一出口压力检测装置13、第二气源压力检测装置25及第二出口压力检测装置23均为压力表。下面对本实施例的连续供气装置的使用方法加以说明:S1:设定第一调压阀12的出口压力为a,第二调压阀22的出口压力为b,且a大于b;S2:开启第一气源端阀门11和第二气源端阀门21;S3:当第一供气气路1的出口压力值小于等于第二供气气路2的出口压力值时,关闭第一气源端阀门11。更进一步地,在步骤S1和步骤S2之间包括步骤S20:开启第一供气阀门16和第二供气阀门26。可以理解的是,在步骤S2之后,由于第一调压阀12的出口压力a大于第二调压阀22的出口压力b,因此此时第一供气气路1进行供气。第一供气气路1供气一段时间后,第一气源压力检测装置15/第一出口压力检测装置13显示压力值逐渐降低,当第一供气气路1的出口压力值小于等于第二供气气路2的出口压力值时,第一供气气路1停止供气,第二供气气路2开始供气,此时关闭第一气源端阀门11。至此,实现了第一气源14与第二气源24的自动切换,实现了连续供气的目的。更进一步地,步骤S3之后还包括步骤S4:将第二调压阀22的出口压力调节为a,将第一调压阀12的出口压力调节为b;及步骤S5:更换第一气源14。可以理解的是,第一气源14更换完成后,开启第一气源端阀门11,此时由于步骤S4中将第二调压阀22的出口压力调节为a,大于第一调压阀12的出口压力b,因此此时仍为第二供气气路2进行供气。第二供气气路2供气一段时间后,第二气源压力检测装置25/第二出口压力检测装置23显示压力值逐渐降低,当第二供气气路2的出口压力值小于等于第一供气气路1的出口压力值时,第二供气气路2停止供气,第一供气气路1开始供气,此时可关闭第二气源端阀门21,并调节第一调压阀12的出口压力至a,第二调压阀22的出口压力至b,并更换第二气源在实际供气过程中,反复循环以上步骤,保证供气过程不中断,从而保障正常生产秩序。显然,本技术的上述实施例仅仅是为了清楚说明本技术所作的举例,而并非是对本技术的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本技术权利要求的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续供气装置,包括第一供气气路(1)和第二供气气路(2),所述第一供气气路(1)中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门(11)、第一调压阀(12)及第一出口压力检测装置(13),所述第二供气气路(2)中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门(21)、第二调压阀(22)及第二出口压力检测装置(23);所述第一供气气路(1)的进气端与第一气源(14)连通,所述第二供气气路(2)的进气端与第二气源(24)连通,所述第一供气气路(1)的出气端及所述第二供气气路(2)的出气端均与用气端(3)连通。

【技术特征摘要】
1.一种连续供气装置,包括第一供气气路(1)和第二供气气路(2),所述第一供气气路(1)中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门(11)、第一调压阀(12)及第一出口压力检测装置(13),所述第二供气气路(2)中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门(21)、第二调压阀(22)及第二出口压力检测装置(23);所述第一供气气路(1)的进气端与第一气源(14)连通,所述第二供气气路(2)的进气端与第二气源(24)连通,所述第一供气气路(1)的出气端及所述第二供气气路(2)的出气端均与用气端(3)连通。2.根据权利要求1所述的连续供气装置,其特征在于,所述第一供气气路(1)还包括第一气源压力检测装置(15),所述第一气源压力检测装置(15)位于所述第一气源(14)与所述第一气源端阀门(11)之间;所述第二供气气路(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员:李梦越于锋
申请(专利权)人:江苏正帆半导体设备有限公司上海正帆半导体设备有限公司上海正帆科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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