The utility model relates to an inflatable system. The charging system comprises an intake module, an exhaust module and a processing module. The intake module includes main intake line, pneumatic switch unit, auxiliary intake line and electric switch unit. The main intake line is connected with the gas supply equipment and the enclosed space. The pneumatic switch unit can selectively block the main intake pipe. The two ends of the auxiliary intake pipe are connected with the pneumatic switch unit and the main intake pipe. The electric switch unit can selectively block the secondary intake pipe. When the electric switch unit connects the auxiliary intake pipe, the gas supplied by the gas supply device can enter the enclosed space through the main air inlet pipeline. The exhaust module can selectively discharge the gas in the enclosed space. The detection module can select the real estate detection signal. The processing module can control the intake module and the exhaust module to carry out gas exchange operation in the enclosed space according to the detection signal.
【技术实现步骤摘要】
充气系统
本技术涉及一种充气系统,特别是一种能依据侦测模块的侦测状态,而对封闭空间进行充气的充气系统。
技术介绍
随着科技的进步,各式产品(例如电子零件、食品等)的生产商发现影响成品合格率的因素,除了相关制程设计及控制外,半成品及成品在运载或是制作过程中,其所处的环境状态,对最终的成品合格率也存在着直接或是间接的影响。是以,对于各式产品的生产商而言,如何控制半成品及成品在运载或是制作过程中的环境状态,成为了一个重要的课题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种充气系统,用以改善现有技术中,各式半成品及成品在运载或是制作过程中容易受环境状态影响的问题。为了实现上述目的,本技术提供一种充气系统,其用以对一封闭空间的内部进行气体交换,充气系统包含:一进气模块、一排气模块及一处理模块。进气模块包含:主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。主进气管路的两端分别定义为一进气端及一出气端,进气端与一供气设备连接,出气端与封闭空间连通。气动开关单元设置于主进气管路,气动开关单元能选择性地阻断进气端与出气端的连通。副进气管路的两端分别与气动开关单元及主进气管路相连通。电动开关单元设置于副进气管路,电动开关单元能选择性地阻断副进气管路两端的连通;当电动开关单元使副进气管路的两端相互连通时,由进气端进入的气体,能通过气动开关单元,而由出气端进入封闭空间。排气模块通过一排出管路与封闭空间相连通,排气模块能选择性地使封闭空间的气体向外排出。侦测模块能选择性地产生一侦测信号。处理模块电连接进气模块、排气模块及侦测模块;处理模块能依据侦测信号,控制进气模块及排气模块的动作,以 ...
【技术保护点】
1.一种充气系统,其特征在于,所述充气系统用以对一封闭空间的内部进行气体交换,所述充气系统包含:一进气模块,其包含:一主进气管路,其两端分别定义为一进气端及一出气端,所述进气端与一供气设备连接,所述出气端与所述封闭空间连通;一气动开关单元,其设置于所述主进气管路,所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通;一副进气管路,其两端分别与所述气动开关单元及所述主进气管路相连通;及一电动开关单元,其设置于所述副进气管路,所述电动开关单元能选择性地阻断所述副进气管路两端的连通;当所述电动开关单元使所述副进气管路的两端相互连通时,由所述进气端进入的气体,能通过所述气动开关单元,而由所述出气端进入所述封闭空间;一排气模块,其通过一排出管路与所述封闭空间相连通,所述排气模块能选择性地使所述封闭空间的气体向外排出;一侦测模块,其能选择性地产生一侦测信号;以及一处理模块,其电连接所述进气模块、所述排气模块及所述侦测模块;所述处理模块能依据所述侦测信号,控制所述进气模块及所述排气模块的动作,以选择性地对所述封闭空间进行气体交换作业。
【技术特征摘要】
1.一种充气系统,其特征在于,所述充气系统用以对一封闭空间的内部进行气体交换,所述充气系统包含:一进气模块,其包含:一主进气管路,其两端分别定义为一进气端及一出气端,所述进气端与一供气设备连接,所述出气端与所述封闭空间连通;一气动开关单元,其设置于所述主进气管路,所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通;一副进气管路,其两端分别与所述气动开关单元及所述主进气管路相连通;及一电动开关单元,其设置于所述副进气管路,所述电动开关单元能选择性地阻断所述副进气管路两端的连通;当所述电动开关单元使所述副进气管路的两端相互连通时,由所述进气端进入的气体,能通过所述气动开关单元,而由所述出气端进入所述封闭空间;一排气模块,其通过一排出管路与所述封闭空间相连通,所述排气模块能选择性地使所述封闭空间的气体向外排出;一侦测模块,其能选择性地产生一侦测信号;以及一处理模块,其电连接所述进气模块、所述排气模块及所述侦测模块;所述处理模块能依据所述侦测信号,控制所述进气模块及所述排气模块的动作,以选择性地对所述封闭空间进行气体交换作业。2.依据权利要求1所述的充气系统,其特征在于,所述排气模块还包含有一排气单元及一辅助排气单元,所述排气单元与所述排出管路相连接,所述排气单元用以将所述排出管路中的气体向外排出;所述辅助排气单元设置于所述排出管路,所述辅助排气单元能辅助所述排气模块将所述封闭空间的气体快速向外排出。3.依据权利要求2所述的充气系统,其特征在于,所述辅助排气单元还与所述主进气管路相连通,而部份所述主进气管路的气体能进入所述辅助排气单元,所述辅助排气单元能与所述排气单元相互配合,以使所述排出管路呈现为负压状态。4.依据权利要求3所述的充气系统,其特征在于,所述排气模块还包含有一调节单元,其连接所述主进气管路及所述辅助排气单元,所述调节单元能调节由所述主进气管路进入所述辅助排气单元的气体流量。5.依据权利要求1所述的充气系统,其特征在于,所述充气系统应用于一晶圆载具平台,所述晶圆载具平台包含有一承载台,所述承载台用以承载一晶圆载具;所述承载台设置有多个喷嘴,所述侦测模块包含有至少一载具种类侦...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶秀珢,郑吉宸,林祺浩,
申请(专利权)人:华景电通股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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