充气系统技术方案

技术编号:18431853 阅读:8 留言:0更新日期:2018-07-12 04:15
本实用新型专利技术涉及一种充气系统。该充气系统包含进气模块、排气模块及处理模块。进气模块包含主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。主进气管路连接供气设备及封闭空间。气动开关单元能选择性地阻断主进气管路。副进气管路两端连接气动开关单元及主进气管路。电动开关单元能选择性地阻断副进气管路。当电动开关单元使副进气管路连通时,供气设备提供的气体能通过主进气管路进入封闭空间。排气模块能选择性使封闭空间的气体向外排出。侦测模块能选择性地产生侦测信号。处理模块能依据侦测信号,而控制进气模块及排气模块对封闭空间进行气体交换作业。

Inflatable system

The utility model relates to an inflatable system. The charging system comprises an intake module, an exhaust module and a processing module. The intake module includes main intake line, pneumatic switch unit, auxiliary intake line and electric switch unit. The main intake line is connected with the gas supply equipment and the enclosed space. The pneumatic switch unit can selectively block the main intake pipe. The two ends of the auxiliary intake pipe are connected with the pneumatic switch unit and the main intake pipe. The electric switch unit can selectively block the secondary intake pipe. When the electric switch unit connects the auxiliary intake pipe, the gas supplied by the gas supply device can enter the enclosed space through the main air inlet pipeline. The exhaust module can selectively discharge the gas in the enclosed space. The detection module can select the real estate detection signal. The processing module can control the intake module and the exhaust module to carry out gas exchange operation in the enclosed space according to the detection signal.

【技术实现步骤摘要】
充气系统
本技术涉及一种充气系统,特别是一种能依据侦测模块的侦测状态,而对封闭空间进行充气的充气系统。
技术介绍
随着科技的进步,各式产品(例如电子零件、食品等)的生产商发现影响成品合格率的因素,除了相关制程设计及控制外,半成品及成品在运载或是制作过程中,其所处的环境状态,对最终的成品合格率也存在着直接或是间接的影响。是以,对于各式产品的生产商而言,如何控制半成品及成品在运载或是制作过程中的环境状态,成为了一个重要的课题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种充气系统,用以改善现有技术中,各式半成品及成品在运载或是制作过程中容易受环境状态影响的问题。为了实现上述目的,本技术提供一种充气系统,其用以对一封闭空间的内部进行气体交换,充气系统包含:一进气模块、一排气模块及一处理模块。进气模块包含:主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。主进气管路的两端分别定义为一进气端及一出气端,进气端与一供气设备连接,出气端与封闭空间连通。气动开关单元设置于主进气管路,气动开关单元能选择性地阻断进气端与出气端的连通。副进气管路的两端分别与气动开关单元及主进气管路相连通。电动开关单元设置于副进气管路,电动开关单元能选择性地阻断副进气管路两端的连通;当电动开关单元使副进气管路的两端相互连通时,由进气端进入的气体,能通过气动开关单元,而由出气端进入封闭空间。排气模块通过一排出管路与封闭空间相连通,排气模块能选择性地使封闭空间的气体向外排出。侦测模块能选择性地产生一侦测信号。处理模块电连接进气模块、排气模块及侦测模块;处理模块能依据侦测信号,控制进气模块及排气模块的动作,以选择性地对封闭空间进行气体交换作业。优选地,排气模块还包含有一排气单元及一辅助排气单元,排气单元与排出管路相连接,排气单元用以将排出管路中的气体向外排出;辅助排气单元设置于排出管路,辅助排气单元能辅助排气模块将封闭空间的气体快速向外排出。优选地,辅助排气单元还与主进气管路相连通,而部份主进气管路的气体能进入辅助排气单元,辅助排气单元能与排气单元相互配合,以使排出管路呈现为负压状态。优选地,排气模块还包含有一调节单元,其连接主进气管路及辅助排气单元,调节单元能调节由主进气管路进入辅助排气单元的气体流量。优选地,充气系统应用于一晶圆载具平台,晶圆载具平台包含有一承载台,承载台用以承载一晶圆载具;承载台设置有多个喷嘴,侦测模块包含有至少一载具种类侦测单元,载具种类侦测单元能侦测承载台设置的晶圆载具的种类;处理模块能依据载具种类侦测单元侦测晶圆载具的种类,而对应控制进气模块及排气模块,通过多个喷嘴,对晶圆载具内的封闭空间进行气体交换。优选地,当承载台设置有特定的晶圆载具,且承载台对应卡合固定晶圆载具时,晶圆载具平台将对应产生一卡合信号;载具种类侦测单元包含有一传感器,其设置于承载台,承载台设置特定的晶圆载具时,传感器能对应产生一感测信号,处理模块能于接收感测信号及卡合信号,而选择性地控制进气模块及排气模块进行动作。优选地,承载台具有一卡合组件,卡合组件用以夹持晶圆载具,以使晶圆载具能稳固地设置于承载台,当卡合组件夹持晶圆载具时,能对应产生一卡合信号;载具种类侦测单元包含有一传感器,其设置于承载台,当承载台设置特定的晶圆载具时,传感器能对应产生一感测信号;当处理模块接收感测信号及卡合信号时,处理模块将控制进气模块及排气模块对晶圆载具进行充气作业。优选地,侦测模块包含有至少一载具侦测单元,载具侦测单元能用以侦测承载台是否设置有晶圆载具;处理模块能于载具侦测单元侦测承载台设置有晶圆载具时,选择性地控制进气模块及排气模块,对晶圆载具内的封闭空间进行气体交换。优选地,侦测模块还包含有一温湿度侦测单元,其设置于排出管路,温湿度侦测单元用以侦测由封闭空间所排出的气体的温度及湿度。优选地,副进气管路更设置有一压力调节阀,其用以调整副进气管路的气体压力;主进气管路邻近于出气端还设置有一流量侦测单元,其用以侦测通过气动开关单元的气体流量;主进气管路邻近于出气端还设置有一气体过滤单元,其能过滤通过气动开关单元的气体中的特定分子。本技术的有益效果还在于:通过进气模块、排气模块、侦测模块及处理模块的相互配合,可以于适当的时机对封闭空间进行气体交换,借此可有效地控制封闭空间的环境状态,从而可有效降低封闭空间的环境状态对设置于封闭空间的半成品或是成品的影响。附图说明图1为本技术的充气系统的方块示意图;图2、3为本技术的充气系统应用于晶圆载具平台的示意图。具体实施方式请参阅图1,其为本技术的充气系统的示意图。如图所示,充气系统1包含有一进气模块10、一排气模块20、一侦测模块30及一处理模块(图未示)。充气系统1用以对一封闭空间SP的内部进行气体交换。所述封闭空间SP例如可以是依据需求为任何装置(例如晶圆盒)的内部或是房间的内部等。进气模块10包含:一主进气管路101及一副进气管路11。主进气管路101的两端分别定义为一进气端101a及一出气端101b,进气端101a与一供气设备IN连接,出气端101b与封闭空间SP连通。主进气管路101的实际实施例,例如可以是软管或是硬管,不加以限制,其可依据需求加以变化;供气设备IN例如可以是钢瓶或是厂房原本配置有的配气管路等;当然,主进气管路101的出气端101b可以是设置有压力阀102,以用以调节供气设备IN进入主进气管路101的气体压力。出气端101b与封闭空间的连接方式,依据需求可以加以变化,举例来说,所述封闭空间可以是晶圆盒(例如FOUP、FOSB)的内部空间,而所述出气端101b可以是通过喷嘴等相关结构与晶圆盒的内部空间相连通。进气模块10还包含有一气动开关单元103,其设置于主进气管路101,气动开关单元103能选择性地阻断进气端101a与出气端101b的连通,即,气动开关单元103可以选择性地使由进气端101a进入主进气管路101的气体无法流动至封闭空间SP中。气动开关单元103所通入的气体压力,到达预定压力时,气动开关单元103将会使其所连接的管路相连通,所述预定压力可以是依据需求加以设计。在实际应用中,气动开关单元103可以是保持常闭的状态,而在进入气动开关单元103的气体压力达到预定的状态时,气动开关单元103才对应使进气端101a与出气端101b彼此相连通。副进气管路11的两端分别与气动开关单元103及主进气管路101相连通。电动开关单元111设置于副进气管路11,电动开关单元111能选择性地阻断副进气管路11两端的连通;所述电动开关单元111电连接处理模块,处理模块能利用电子控制的方式,控制电动开关单元111的启闭。当电动开关单元111使副进气管路11的两端相互连通时,由进气端101a进入的气体,通过副进气管路11后,能对应开启气动开关单元103,据以使进气端101a与出气端101b彼此相连通,而由进气端101a进入的气体将可以流动至封闭空间SP中。换句话说,气动开关单元103必需是在副进气管路11畅通的状态下,才得以被开启,而在副进气管路11不畅通(即处理模块控制电动开关单元111关闭)时,气动开关单元103则是呈现为关闭的状态。当然,在不同应用中,也可以是使气动开关单元10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种充气系统,其特征在于,所述充气系统用以对一封闭空间的内部进行气体交换,所述充气系统包含:一进气模块,其包含:一主进气管路,其两端分别定义为一进气端及一出气端,所述进气端与一供气设备连接,所述出气端与所述封闭空间连通;一气动开关单元,其设置于所述主进气管路,所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通;一副进气管路,其两端分别与所述气动开关单元及所述主进气管路相连通;及一电动开关单元,其设置于所述副进气管路,所述电动开关单元能选择性地阻断所述副进气管路两端的连通;当所述电动开关单元使所述副进气管路的两端相互连通时,由所述进气端进入的气体,能通过所述气动开关单元,而由所述出气端进入所述封闭空间;一排气模块,其通过一排出管路与所述封闭空间相连通,所述排气模块能选择性地使所述封闭空间的气体向外排出;一侦测模块,其能选择性地产生一侦测信号;以及一处理模块,其电连接所述进气模块、所述排气模块及所述侦测模块;所述处理模块能依据所述侦测信号,控制所述进气模块及所述排气模块的动作,以选择性地对所述封闭空间进行气体交换作业。

【技术特征摘要】
1.一种充气系统,其特征在于,所述充气系统用以对一封闭空间的内部进行气体交换,所述充气系统包含:一进气模块,其包含:一主进气管路,其两端分别定义为一进气端及一出气端,所述进气端与一供气设备连接,所述出气端与所述封闭空间连通;一气动开关单元,其设置于所述主进气管路,所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通;一副进气管路,其两端分别与所述气动开关单元及所述主进气管路相连通;及一电动开关单元,其设置于所述副进气管路,所述电动开关单元能选择性地阻断所述副进气管路两端的连通;当所述电动开关单元使所述副进气管路的两端相互连通时,由所述进气端进入的气体,能通过所述气动开关单元,而由所述出气端进入所述封闭空间;一排气模块,其通过一排出管路与所述封闭空间相连通,所述排气模块能选择性地使所述封闭空间的气体向外排出;一侦测模块,其能选择性地产生一侦测信号;以及一处理模块,其电连接所述进气模块、所述排气模块及所述侦测模块;所述处理模块能依据所述侦测信号,控制所述进气模块及所述排气模块的动作,以选择性地对所述封闭空间进行气体交换作业。2.依据权利要求1所述的充气系统,其特征在于,所述排气模块还包含有一排气单元及一辅助排气单元,所述排气单元与所述排出管路相连接,所述排气单元用以将所述排出管路中的气体向外排出;所述辅助排气单元设置于所述排出管路,所述辅助排气单元能辅助所述排气模块将所述封闭空间的气体快速向外排出。3.依据权利要求2所述的充气系统,其特征在于,所述辅助排气单元还与所述主进气管路相连通,而部份所述主进气管路的气体能进入所述辅助排气单元,所述辅助排气单元能与所述排气单元相互配合,以使所述排出管路呈现为负压状态。4.依据权利要求3所述的充气系统,其特征在于,所述排气模块还包含有一调节单元,其连接所述主进气管路及所述辅助排气单元,所述调节单元能调节由所述主进气管路进入所述辅助排气单元的气体流量。5.依据权利要求1所述的充气系统,其特征在于,所述充气系统应用于一晶圆载具平台,所述晶圆载具平台包含有一承载台,所述承载台用以承载一晶圆载具;所述承载台设置有多个喷嘴,所述侦测模块包含有至少一载具种类侦...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶秀珢郑吉宸林祺浩
申请(专利权)人:华景电通股份有限公司
类型:新型
国别省市:中国台湾,71

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