一种LPCVD真空加热腔室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种LPCVD真空加热腔室，所述加热腔室内自上而下顺次设有加热装置、均热板和玻璃基板，所述加热腔室的腔壁上设有热量屏蔽装置，本实用新型专利技术通过在加热腔室的内部设置均热板，可以保证玻玻璃基板上的玻璃受热均匀，避免热量集中，同时在加热腔室的腔壁上设置热量屏蔽装置，可以将散逸到腔室壁上的热量反射回腔室内部，降低加热腔室内的热量损失，与现有技术相比，本实用新型专利技术的LPCVD真空加热腔室可以有效降低热量损失，保证加热腔室内处于合适的温度，降低加热腔室的加热成本。

A LPCVD vacuum chamber

The utility model discloses a LPCVD vacuum chamber. The heating chamber is provided with a heating device, a heat sharing plate and a glass substrate from top to bottom. The cavity wall of the heating chamber is provided with a heat shield device. The utility model can ensure the glass glass substrate by setting a heat shield inside the heating chamber. The heat loss is reduced by the LPCVD vacuum heating chamber of the utility model, which can reduce the heat loss in the chamber of the heating chamber. Ensure that the heating chamber is at the right temperature and reduce the heating cost of the heating chamber.

【技术实现步骤摘要】
一种LPCVD真空加热腔室
本技术涉及低压化学气相沉积
，特别是一种LPCVD真空加热腔室。
技术介绍
LPCVD是用于沉积CIGS膜层的设备，通过沉积CIGS膜层，可以有效提高电池的转化效率。LPCVD主要包括上片台、真空加热腔室、工艺腔室、冷却腔室和卸片台等组件。LPCVD工艺流程为：玻璃经上片台装载在基板上，然后玻璃借助玻璃基板进入真空加热腔室，接着真空加热腔室开始抽真空并对玻璃进行加热，待真空加热腔室加热到设定温度后，玻璃会被自动传输到工艺腔室，进行工艺膜层沉积，工艺完成后在冷却腔室内冷却，然后从卸片台传出。在上述加热过程中，既要将玻璃基板加热到预定温度，又要避免真空加热腔室的腔室壁过热，故在腔室壁上设有冷却水槽，通过冷却循环水来降低腔室壁的温度，然而冷却循环水在带走辐射到腔室壁上的热量时，常常会产生过多的能量消耗，因此有必要对现有的LPCVD真空加热腔室改进，以克服上述缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种LPCVD真空加热腔室，以解决现有技术中的真空加热腔室的冷却水槽带走过多热量的技术问题，它能够将散逸到腔室壁上的热量反射回腔室内部，降低内部的热量损失。为了实现上述目的，本技术提供了如下的技术方案：一种LPCVD真空加热腔室，所述加热腔室内自上而下顺次设有加热装置、均热板和玻璃基板，所述加热腔室的腔壁上设有热量屏蔽装置。优选地，所述热量屏蔽装置包括漫反射板和镜面反射板，所述镜面反射板设于所述漫反射板与所述加热腔室的腔壁之间。优选地，所述漫反射板为弯折板，所述镜面反射板为平板。优选地，所述漫反射板为波纹板。优选地，所述波纹板包括顺次连接的弧形凸板，所述弧形凸板朝向所述玻璃基板的方向凸起。优选地，所述热量屏蔽装置设置在所述加热腔室的底壁和侧壁上。优选地，所述漫反射板与所述镜面反射板之间设有隔热材料。优选地，所述加热装置为加热灯管，所述加热灯管均匀设置在所述均热板的上方。优选地，所述加热腔室内还设有温度传感器，所述温度传感器与所述玻璃基板连接。优选地，所述加热腔室的侧壁上设有导轨，所述玻璃基板的边缘设有与所述导轨匹配的滑块，所述滑块与所述导轨滑动连接。本技术的有益效果在于：本技术提供了一种LPCVD真空加热腔室，所述加热腔室内自上而下顺次设有加热装置、均热板和玻璃基板，所述加热腔室的腔壁上设有热量屏蔽装置；本技术通过在加热腔室的内部设置均热板，可以保证玻玻璃基板上的玻璃受热均匀，避免热量集中，同时在加热腔室的腔壁上设置热量屏蔽装置，可以将散逸到腔室壁上的热量反射回腔室内部，降低加热腔室内的热量损失，与现有技术相比，本技术的LPCVD真空加热腔室可以有效降低热量损失，保证加热腔室内处于合适的温度，降低加热腔室的加热成本。附图说明图1是本技术实施例的LPCVD真空加热腔室的结构示意图；图2是本技术实施例的热量屏蔽装置的结构示意图。附图标记说明：1-加热腔室，2-加热装置，3-均热板，4-玻璃基板，5-热量屏蔽装置，6-漫反射板，7-镜面反射板，8-弧形凸板。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能解释为对本技术的限制。如图1和图2所示，本技术的实施例提供一种LPCVD真空加热腔室，所述加热腔室1内自上而下顺次设有加热装置2、均热板3和玻璃基板4，所述加热腔室1的腔壁上设有热量屏蔽装置5。优选地，所述加热腔室1的腔壁上设有卡槽，所述热量屏蔽装置5的两端设有与所述卡槽匹配的卡接部，所述卡接部容置在所述卡槽内。通过卡槽和卡接部连接热量屏蔽装置5和加热腔室1，可以使整体结构的装拆更为方便。所述均热板3沿纵向优选均匀地设置有梯形槽，所述梯形槽开口的尺寸比所述梯形槽底部的尺寸大，以均匀地传递热量，避免热量集中。本技术的使用方法：LPCVD真空加热腔室对玻璃基板4进行预热，是首先通过加热装置2产生热量，随后热量通过均热板3均匀传播到玻璃基板4上，使得玻璃基板4达到工艺所需要的温度，在此过程中，加热装置2和均热板3会有部分热量散逸到腔壁上，另外玻璃基板4在被加热的过程中，也会有部分热量通过红外线辐射不断地向外散逸，此两种热量散逸到腔壁上，通过腔壁散逸到外界，都会产生热量损失，并造成腔室壁上的冷却系统负荷增加，而热量屏蔽装置5的设置，可以阻止这些热量的散逸，可以有效地降低热量损失，减轻腔室壁上冷却系统的负荷，与现有技术相比，本技术的LPCVD真空加热腔室可以有效降低热量损失，保证加热腔室1内处于合适的温度，降低加热腔室1的加热成本。进一步地，所述热量屏蔽装置5包括漫反射板6和镜面反射板7，所述镜面反射板7设于所述漫反射板6与所述加热腔室1的腔壁之间。漫反射板6与镜面反射板7可以焊接在一起，与加热腔室1的腔壁固接，也可也分别与加热腔室1的腔壁固接，两板之间的距离不限，也可以互相接触贴合。当加热装置2和玻璃基板4散逸的红外线热量辐射到漫反射板6上时，大部分的热量会经漫反射板6反射回腔室内部，少部分热量会传到漫反射板6上或者穿过漫反射板6，对漫反射板6进行加热或者向外散发热量，接着其中一部分散发出的热量会辐射到镜面反射板7上面，镜面反射板7会将其中一些热量辐射反射回漫反射板6上，另外一些热量经过镜面反射板7加热镜面反射板7或者散逸到腔壁上，进而加热腔壁或者散逸到外部，可见设置漫反射板6和镜面反射板7，可以有效地阻止热量的散逸，降低腔壁上冷却系统的负荷。其中，漫反射板6和镜面反射板7均优选设置为1张，当然也可以根据需要设置为多张。漫反射板6和镜面反射板7均优选由不锈钢材料制成，以耐受一定的高温。为了提高漫反射板6反射热量的效果，降低从漫反射板6中穿过的热量，所述漫反射板6为弯折板，所述镜面反射板7为平板。弯折板的漫反射板6的反射面积更大，可以反射或者吸收更多的热量。平板状的镜面反射板7的反射效果更佳。所述漫反射板6与所述镜面反射板7之间还优选设有隔热材料。在漫反射板6与镜面反射板7之间优选设有间隙，并在该间隙中填充隔热材料，进一步减弱热量的散逸。隔热材料可以选择为玻璃纤维、石棉、岩棉或者硅酸盐等材料。具体地，所述漫反射板6为波纹板。该波纹板可以为纵波纹板、横波纹板或者斜波纹班，波纹板上的纵波纹、横波纹或者斜波纹优选设置为均匀分布，以达到均匀地传递热量的目的。在漫反射板6上均匀设置圆形凸起，也可以获得均匀传热的效果。更为具体地，所述波纹板包括顺次连接的弧形凸板8，所述弧形凸板8朝向所述玻璃基板4的方向凸起。弧形凸板8的尺寸优选为相同，以方便加工，保证热量均匀地传播。为了保证热量屏蔽装置5对热量的阻挡效果，所述热量屏蔽装置5设置在所述加热腔室1的底壁和侧壁上。当然，在加热腔室1的顶壁上，也优选设置有热量屏蔽装置5。当热量屏蔽装置5选择为漫反射板6与镜面反射板7时，优选将漫反射板6与镜面反射板7覆设在加热腔室1的底部腔壁和4个侧腔壁上，在加热腔室1的顶部腔壁上，也优选设置有漫反射板6与镜面反射板7，以达到全方位地阻挡热量的散逸的效果。如图1所示，所述加热装置2优选为加热灯管，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述加热腔室(1)内自上而下顺次设有加热装置(2)、均热板(3)和玻璃基板(4)，所述加热腔室(1)的腔壁上设有热量屏蔽装置(5)。

【技术特征摘要】
1.一种LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述加热腔室(1)内自上而下顺次设有加热装置(2)、均热板(3)和玻璃基板(4)，所述加热腔室(1)的腔壁上设有热量屏蔽装置(5)。2.根据权利要求1所述的LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述热量屏蔽装置(5)包括漫反射板(6)和镜面反射板(7)，所述镜面反射板(7)设于所述漫反射板(6)与所述加热腔室(1)的腔壁之间。3.根据权利要求2所述的LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述漫反射板(6)为弯折板，所述镜面反射板(7)为平板。4.根据权利要求2所述的LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述漫反射板(6)为波纹板。5.根据权利要求4所述的LPCVD真空加热腔室，其特征在于，所述波纹板包括顺次连接的弧形凸板(8)，所述弧形凸板(8)朝向所述玻璃基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁建辉，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11