蒸镀坩埚和蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术蒸镀技术领域，提出一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚包括坩埚埚体、坩埚盖体以及隔垫环；坩埚埚体具有环形的第一连接面；坩埚盖体具有环形的第二连接面；隔垫环设置为与第一连接面以及第二连接面相适配的环形，隔垫环位于第一连接面与第二连接面之间。该蒸镀坩埚通过隔垫环将坩埚盖体与坩埚埚体隔离，使坩埚盖体与坩埚埚体之间的温差容易控制。

Steam plating crucible and evaporation device

A steam plating crucible is presented in the field of steam plating technology, which includes a crucible body, a crucible cap and a spacer ring, and the crucible body has a ring first connection surface, and the crucible cap has a circular second connection surface, and the gasket ring is set as a ring suitable for the first connection surface and the second connection face. The spacer ring is positioned between the first connecting surface and the second connecting surface. The crucible is separated from the crucible by the spacer ring, so that the temperature difference between the crucible lid and the crucible can be easily controlled.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚和蒸镀装置
本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。
技术介绍
在OLED显示面板中，OLED发光结构是一系列的有机材料薄膜夹在两个薄膜电极之间形成的类似三明治结构。有机材料薄膜的制造通常采用真空热蒸镀的方式，具体为：将有机材料放在一个坩埚中，然后在真空环境中加热坩埚，使坩埚中的有机材料气化向上喷射出，沉积在上方温度较低的玻璃基板上，在玻璃基板上形成厚度为纳米量级的有机薄膜。目前，常用的坩埚有圆桶状，圆桶状的蒸发源称为点蒸发源；还有长条槽状的坩埚称之为线蒸发源。参照图1、图2以及图3所示的线蒸发源用坩埚，该坩埚包括上下两部分设置的坩埚埚体1和坩埚盖体2，靠锁定螺栓4以及锁定螺母5将上下两部分的接触端面紧贴并锁紧。由于上下两部分紧贴，导热比较好，即使上下两部分采用不同的加热器加热，也不容易加大以及控制上下两部分的温差。再者，在蒸镀过程中，有机材料的蒸汽会进入上下两部分之间的空隙，在坩埚冷却后，有机材料的蒸汽也会冷却形成固体状将上下两部分粘连在一起，难以将上下两部分分开。因此，有必要研究一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的至少一种不足，提供一种易于控制温差的蒸镀坩埚和蒸镀装置。本技术的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本技术的实践而习得。根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀坩埚，包括：坩埚埚体，具有环形的第一连接面；坩埚盖体，具有环形的第二连接面；隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间。在本公开的一种示例性实施例中，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞。在本公开的一种示例性实施例中，所述孔洞为连通所述坩埚埚体与所述坩埚盖体的通孔。在本公开的一种示例性实施例中，所述通孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。在本公开的一种示例性实施例中，所述孔洞为第一盲孔。在本公开的一种示例性实施例中，所述隔垫环的与所述第二连接面接触的一面设置有至少一个第二盲孔。在本公开的一种示例性实施例中，所述第一盲孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种；所述第二盲孔的与所述第二连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。在本公开的一种示例性实施例中，所述第一盲孔和所述第二盲孔中至少一个设置为与所述隔垫环相适应的环状。在本公开的一种示例性实施例中，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的部分设置为平面，以及所述隔垫环的与所述第二连接面接触的部分设置为平面。根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀装置，包括：上述任意一项所述的蒸镀坩埚。由上述技术方案可知，本技术具备以下优点和积极效果中的至少之一：本技术的蒸镀坩埚和蒸镀装置，在坩埚埚体与坩埚盖体的连接面之间设置隔垫环。一方面，通过隔垫环可以隔离坩埚埚体与坩埚盖体，减少坩埚埚体与坩埚盖体之间的热传递，从而容易加大坩埚埚体与坩埚盖体之间的温差，也容易控制坩埚埚体与坩埚盖体之间的温差；另一方面，隔垫环与坩埚埚体之间的间隙比现有技术中坩埚埚体与坩埚盖体之间的间隙小，隔垫环与坩埚盖体的间隙比现有技术中坩埚埚体与坩埚盖体之间的间隙也小，因此，通过隔垫环可以增加坩埚埚体与坩埚盖体之间的密封性，而且有机材料的蒸汽也不容易进入隔垫环与坩埚埚体以及坩埚盖体之间的间隙，从而与现有技术相比使较为容易将坩埚盖体与坩埚埚体分离。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本技术的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是现有技术中线蒸发源用坩埚的剖视示意图；图2是图1的左侧剖视示意图；图3是图1的俯视示意图；图4是本技术蒸镀坩埚的一示例实施方式剖视示意图；图5是图4中的隔垫环的结构示意图；图6是图4中的隔垫环的一示例实施方式的剖视示意图；图7是图4中的隔垫环的另一示例实施方式的剖视示意图；图8是图4中的隔垫环的又一示例实施方式的剖视示意图；图9是图4中的隔垫环上的孔洞的截面形状的一示例实施方式的结构示意图；图10是图4中的隔垫环上的孔洞的截面形状的另一示例实施方式的结构示意图。图中主要元件附图标记说明如下：1、坩埚埚体；11、第一连接板；2、坩埚盖体；21、第二连接板；3、隔垫环；31、通孔；32、第一盲孔；33、第二盲孔；34、环形槽；4、锁定螺栓；5、锁定螺母；6、喷嘴。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。参照图4所示的本技术蒸镀坩埚的剖视示意图；蒸镀坩埚可以包括坩埚埚体1、坩埚盖体2以及隔垫环3等等；坩埚埚体1具有环形的第一连接面；坩埚盖体2具有环形的第二连接面；隔垫环3可以设置为与所述第一连接面以及第二连接面相适配的环形，所述隔垫环3位于所述第一连接面与所述第二连接面之间，所述隔垫环3的与所述第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞。坩埚埚体1具有环形的第一连接面，坩埚盖体2具有环形的第二连接面。坩埚埚体1的一周都需要和坩埚盖体2连接，因此，第一连接面为环形，同理，第二连接面也为环形。在本示例实施方式中，坩埚埚体1的开口处可以设置有矩形环状的第一连接板11，且第一连接板11可以向坩埚埚体1的外侧延伸，第一连接板11的上表面即为第一连接面。坩埚盖体2的开口处可以设置有矩形环状的第二连接板21，且第二连接板21向坩埚盖体2的外侧延伸，第二连接板21的下表面即为第二连接面。在第一连接板11以及第二连接板21上均设置有通孔31，锁定螺栓4穿过两个通孔31后通过锁定螺母5将第一连接板11以及第二连接板21固定在一起，从而将坩埚盖体2与坩埚埚体1固定在一起。喷嘴6可以设置在坩埚盖体2上，喷嘴6可以设置为多个，有机材料蒸汽通过喷嘴6喷出，然后沉积在上方温度较低的玻璃基板上。通过第一连接板11以及第二连接板21可以增加坩埚盖体2与坩埚埚体1的接触面，而且方便锁定结构的安装和固定。隔垫环3设置为与第一连接面以及第二连接面相适配的环形，隔垫环3位于第一连接面与第二连接面之间。在本示例实施方式中，参照图5所示的隔垫环3的结构示意图；隔垫环3也设置为与第一连接板11以及第二连接板21相适应的矩形环状。通过隔垫环3可以隔离坩埚埚体1与坩埚盖体2，减少坩埚埚体1与坩埚盖体2之间的热传递，从而容易加大坩埚埚体1与坩埚盖体2之间的温差，也容易控制坩埚埚体1与坩埚盖体2之间的温差。另外，本领域技术人员可以理解的是，隔垫环3的具体结构不限于上述矩形环状，可以根据坩埚埚体1以及坩埚盖体2的具体形状而设定。隔垫环3的与第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞。参照图6所示的隔垫环3的一示例实施方式的结构示意图；孔洞可以为连通所述坩埚埚体1与所述坩埚盖体2的通孔31。在本示例实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚埚体，具有环形的第一连接面；坩埚盖体，具有环形的第二连接面；隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚埚体，具有环形的第一连接面；坩埚盖体，具有环形的第二连接面；隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述孔洞为连通所述坩埚埚体与所述坩埚盖体的通孔。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述通孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。5.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述孔洞为第一盲孔。6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙力，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34