气密性检测方法及气密性检测装置制造方法及图纸

一种气密性检测方法及气密性检测装置，气密性检测方法包含连通储存腔体及检测腔体，对储存腔体提供负压，量测储存腔体或检测腔体的压力以取得第一压力值，根据负压及第一压力值判断检测腔体的气密性，停止对储存腔体提供负压，量测储存腔体或检测腔体的压力以取得第二压力值，于停止对储存腔体提供负压一预设时间之后量测储存腔体或检测腔体的压力以取得第三压力值，以及根据第二压力值及第三压力值判断检测腔体的气密性。装置包含检测腔体、储存腔体、负压产生器及压力计。储存腔体连通于检测腔体。负压产生器连通于储存腔体。压力计连接至储存腔体或检测腔体。

Gas tightness detection method and gas tightness detection device

A gas tightness detection method and a gas tightness detection device. The gas tightness detection method includes a connected storage cavity and a cavity, providing a negative pressure to the storage cavity, measuring the pressure to store the cavity or detecting the pressure of the cavity to obtain the first pressure value, judging the air tightness of the cavity according to the negative pressure and the first pressure value, and stopping the storage cavity. The body provides a negative pressure to measure the pressure of the cavity or the cavity to measure the pressure of second. After stopping the preset time for the storage cavity, the pressure of the cavity or the cavity is measured to obtain the third pressure value, and the gas tightness of the cavity is judged by the value of second pressure and the value of the three pressure. The device comprises a detection chamber, a storage chamber, a negative pressure generator and a pressure gauge. The storage cavity is connected to the cavity. The negative pressure generator is connected to the storage cavity. A pressure gauge is connected to a cavity or a cavity.

【技术实现步骤摘要】
气密性检测方法及气密性检测装置
本专利技术涉及一种检测方法及检测装置，特别涉及一种用以检测受测模块的气密性的气密性检测方法及气密性检测装置。
技术介绍
一般而言，使用者于使用应气密的模块时，通常会先对此模块进行气密性检测，以确定此模块的气密性是否合乎使用者的需求。举例而言，于电子设备的制造过程中，通常会进行各种电性测试。此时，会将应气密的弹簧探针模块装设于测试系统。若弹簧探针模块中，其探针与基材的交接处的气密性不足，则可能会影响电子设备的测试结果。因此，于弹簧探针模块装设于测试系统之前，通常会先行检测弹簧探针模块的气密性。以往的气密性检测装置中，相关业者通常会持续地对上述应气密的模块提供负压，以检测此模块的气密性。然而，如此持续提供负压的配置，其气密性的检测结果有可能不准确。因此，将经过如此的气密性检测的应气密的模块装设于欲使用系统中，此模块的气密性仍可能有所不足。如此一来，使用者便必须拆卸此气密性不足的模块，再替换装设其他模块，导致使用者因多余的拆卸与替换动作而耗费过多的时间，因此添增使用者的困扰。因此，提升气密性检测的精确度，为目前相关业者极欲追求的目标。
技术实现思路
有鉴于以上的问题，本专利技术的目的在于提出一种气密性检测方法及气密性检测装置，藉以准确检测受测模块的气密性，进而能够避免使用者因重复拆装模块所造成的困扰。本专利技术的一实施例提出一种气密性检测方法，用以检测一受测模块。气密性检测方法包含以下步骤。连通一储存腔体及一检测腔体。对储存腔体提供一负压。量测储存腔体或检测腔体的压力，以取得一第一压力值。根据负压及第一压力值判断检测腔体的气密性。停止对储存腔体提供负压。量测储存腔体或检测腔体的压力，以取得一第二压力值。于停止对储存腔体提供负压一预设时间之后，量测储存腔体或检测腔体的压力，以取得一第三压力值。根据第二压力值及第三压力值判断检测腔体的气密性。另外，本专利技术的一实施例提出一种气密性检测装置，用以检测一受测模块。气密性检测装置包含一检测腔体、一储存腔体、一负压产生器及至少一压力计。检测腔体用以容置受测模块。储存腔体连通于检测腔体。负压产生器连通于储存腔体。负压产生器用以提供负压。压力计连接至储存腔体或检测腔体，且用以量测储存腔体或检测腔体的压力。根据本专利技术的一实施例的气密性检测方法气密性检测装置，可藉由对储存腔体提供负压时、停止对储存腔体提供负压时及一预定时间之后，分别量测第一压力值、第二压力值及第三压力值。根据负压、第一压力值、第二压力值及第三压力值而能够准确地判断受测模块的气密性。换言之，能够通过静态与动态的二种气密检测结果来提升气密性的检测精确度，进而能够避免因重复拆装模块所造成的困扰。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1绘示依照本专利技术的一实施例的气密性检测装置的架构示意图；图2绘示图1的气密性检测装置的检测腔体及受测模块的侧视示意图；图3绘示依照本专利技术的一实施例的气密性检测方法的流程示意图。其中，附图标记10气密性检测装置11检测腔体12第一压力计13储存腔体14第二压力计15负压产生器16开关阀20受测模块21基材22弹簧探针23探针套筒具体实施方式以下在实施方式中详细叙述本专利技术的实施例的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域中具通常知识者了解本专利技术的实施例的
技术实现思路
并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求范围及附图，任何本领域中具通常知识者可轻易地理解本专利技术相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本专利技术的观点，但非以任何观点限制本专利技术的范畴。于本说明书的所谓的示意图中，由于用以说明而可有其尺寸、比例及角度等较为夸张的情形，但并非用以限定本专利技术。于未违背本专利技术要旨的情况下能够有各种变更。说明书中所描述的图中方向等用语，为便于说明，而非用以限制本专利技术。说明书中所描述的「实质上」可表示容许制造时的公差所造成的偏离。请参照图1及图2，图1绘示依照本专利技术的一实施例的气密性检测装置10的架构示意图，图2绘示图1的气密性检测装置10的检测腔体11及受测模块20的侧视示意图。气密性检测装置10用以检测受测模块20的气密性。于本实施例中，气密性检测装置10包含一检测腔体11、一第一压力计12、一储存腔体13、一第二压力计14、一负压产生器15及一开关阀16。受测模块20可气密地装设于检测腔体11。于一实施例中，受测模块20可为弹簧探针模块，其包含一基材21、多个弹簧探针22及多个探针套筒23。弹簧探针22贯穿基材21。探针套筒23设置于基材的一侧且包覆分别包覆弹簧探针22的一端。基材21可装设于检测腔体11的开口。弹簧探针22与基材21的交接处具有气密需求。于其他实施例中，受测模块20亦可为其他有气密需求的模块。第一压力计12连接至检测腔体11，且用以量测检测腔体11的压力。储存腔体13连通于检测腔体11。第二压力计14连接至储存腔体13，且用以量测储存腔体13的压力。负压产生器15连通于储存腔体13。负压产生器15用以提供负压。开关阀16设置于储存腔体13与负压产生器15之间，且用以切换储存腔体13与负压产生器15之间的连通状态及密封状态。换言之，当开关阀16开通时，则储存腔体13及负压产生器15彼此连通。此时储存腔体13的压力及检测腔体11的压力可受到负压产生器15的影响，而呈现动态的压力状态，藉此能够检测受测模块20的动态的气密性。当开关阀16封闭时，则开关阀16可封闭储存腔体13。此时储存腔体13的压力及检测腔体11的压力呈现静态的压力，藉此能够检测受测模块20的静态的气密性请参照图1及图3，图3绘示依照本专利技术的一实施例的气密性检测方法的流程示意图。气密性检测方法用以检测受测模块20的气密性。气密性检测方法包含以下步骤。于步骤S11中，连通储存腔体13及检测腔体11，且将受测模块20装设于检测腔体11。于步骤S12中，令负压产生器15对储存腔体13提供负压。此时，可开通开关阀16，使得负压产生器15对储存腔体13提供负压。由于检测腔体11连通于储存腔体13，故负压产生器15进一步对检测腔体11提供负压。接下来可进行步骤S13。于步骤S13中，藉由第一压力计12量测检测腔体11的压力，以取得第一压力值。此处的第一压力值可反应出较接近受测模块20的压力，但不以此为限。此时亦可藉由第二压力计14量测储存腔体13的压力而取得第一压力值。接下来可进行步骤S14。于步骤S14中，根据负压及第一压力值判断检测腔体11的气密性。于负压与第一压力值的差值的绝对值大于一预设值时，判断检测腔体11漏气。由于受测模块20可气密地装设于检测腔体11，故检测腔体11漏气时，表示受测模块20的动态气密性未达标准而不合格，反之则为合格。举例而言，于负压与第一压力值的差值的绝对值小于或等于5kPa时，判断受测模块20的动态气密性合格。或者另举例而言，于负压与第一压力值的差值的绝对值小于或等于该负压的5％时，判断受测模块20的动态气密性合格。判断气密性的标准不以此为限。接下来可进行步骤S15。于步骤S15中，停止负压产生器15对储存腔体13提供负压。其中，可藉由封闭位于负压产生器15与储存腔体13之间的开关阀16，以停止负压产生器15对储存腔体13提供负压，进而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气密性检测方法，其特征在于，包括：连通一储存腔体及一检测腔体；对该储存腔体提供一负压；量测该储存腔体或该检测腔体的压力，以取得一第一压力值；根据该负压及该第一压力值判断该检测腔体的气密性；停止对该储存腔体提供该负压；量测该储存腔体或该检测腔体的压力，以取得一第二压力值；于停止对该储存腔体提供该负压一预设时间之后，量测该储存腔体或该检测腔体的压力，以取得一第三压力值；以及根据该第二压力值及该第三压力值判断该检测腔体的气密性。

【技术特征摘要】
1.一种气密性检测方法，其特征在于，包括：连通一储存腔体及一检测腔体；对该储存腔体提供一负压；量测该储存腔体或该检测腔体的压力，以取得一第一压力值；根据该负压及该第一压力值判断该检测腔体的气密性；停止对该储存腔体提供该负压；量测该储存腔体或该检测腔体的压力，以取得一第二压力值；于停止对该储存腔体提供该负压一预设时间之后，量测该储存腔体或该检测腔体的压力，以取得一第三压力值；以及根据该第二压力值及该第三压力值判断该检测腔体的气密性。2.根据权利要求1所述的气密性检测方法，其特征在于，于该负压与该第一压力值的差值的绝对值大于一预设值时，判断该检测腔体漏气。3.根据权利要求1所述的气密性检测方法，其特征在于，该负压与该第一压力值的差值的绝对值小于或等于5kPa时，判断该检测腔体的动态气密性合格。4.根据权利要求1所述的气密性检测方法，其特征在于，该负压与该第一压力值的差值的绝对值小于或等于该负压的5％时，判断该检测腔体的动态气密性合格。5.根据权利要求1所述的气密性检测方法，其特征在于，于该第二压力值与该第三压力值的差值的绝对值大于一预设值时，判断该检测腔体漏气。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑柏凱，杨苍奇，王啟书，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32