气液管路混合控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种气液管路混合控制装置，包括集成板(10)和气动控制元件，所述气动控制元件安装于所述集成板(10)，所述集成板(10)的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道(11)和至少一层气道(12)，所述气动控制元件与所述气道(12)连通。本发明专利技术的气液管路混合控制装置将多数量多种类的气动控制元件集成在一个集成板上，节省了大量的空间。此外，集成板内置有恒温循环液通道和气道。使得根据使用的要求和流量的需要，气动控制元件连通使用气道；恒温循环液通道使得恒温循环液通过，可有效的控制整个集成板的温度，整个集成板的温度又会传递到气道，从而达到气体高效恒温的效果。

Hybrid control device for gas and liquid pipeline

The invention discloses a gas liquid pipeline hybrid control device, including an integrated plate (10) and pneumatic control element, which is installed in the integrated plate (10), which includes at least one layer of constant temperature circulating liquid channel (11) and at least one airway (12) along the thickness direction, and the pneumatic control element. It is connected with the airway (12). The gas liquid pipeline mixing control device of the invention integrates a plurality of different types of pneumatic control elements on an integrated board, and saves a lot of space. In addition, the integrated board is equipped with thermostatic circulating fluid passages and air passages. According to the requirements of the use and the demand of the flow, the pneumatic control element is connected to the airway, and the constant temperature circulating liquid channel makes the temperature of the whole plate effectively controlled through the constant temperature circulating fluid, and the temperature of the whole plate will be transferred to the airways, thus achieving the effect of high efficiency and constant temperature of the gas.

【技术实现步骤摘要】
气液管路混合控制装置
本专利技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种气液管路混合控制装置。
技术介绍
随着高新科技的迅猛发展，半导体行业的生产制造水平也日渐提高，而气液管路控制及应用几乎是每个半导体设备上不可或缺的重要组成部分。目前传统的气液管路布置方法多为简单外管路连接，金属管或塑料软管，再加上其中的阀、流量计等，占用空间比较庞大。现有的简单布置是将流量计、隔膜阀等元器件均固定在一个平板上，然后采用焊接的金属管连接，在此基础上如果想实现整个气路的温度控制，比较困难。目前传统的这种温控方法就是在每一根管路上缠绕加热丝，且包裹保温棉，最终会影响外观，且热损耗比较大。更重要的是，采用电热丝能够加热到某个温度，但并不能很快降温到某个温度，因此温控效果比较差，投入的成本也高，温控效率很低。现有技术的半导体设备仪器尤其是检测仪器都需要占地面积，并且需要温度精确。因此，传统的管路方式很难满足实际的应用要求。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述技术问题而提出，目的在于提供一种气液管路混合控制装置，按需要实现了气路布置特定的高度集中，且既可以满足气路的特定原理的功能，又可以实现整个集成板的高效温控。本专利技术的气液管路混合控制装置包括集成板和气动控制元件，所述气动控制元件安装于所述集成板，所述集成板的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道和至少一层气道，所述气动控制元件与所述气道连通。本专利技术的气液管路混合控制装置在节省空间的同时，还能根据使用的要求和流量的需要，气动控制元件相互连通，保证气体的高效恒温。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述恒温循环液通道包括多个分液道，所述分液道的端口形成在所述集成板的侧面上，并垂直于所对应的所述集成板的侧面向所述集成板的内部延伸；所述气道包括多个分气道，所述分气道的端口形成在所述集成板的侧面上，并垂直于所对应的所述集成板的侧面向所述集成板的内部延伸。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述分液道的端口和所述分气道的端口分别安装有可拆卸的堵塞块，以形成闭合通路。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述集成板的板面上设有用于固定安装所述气动控制元件的气动元件安装孔，所述气道内设有通向所述集成板的板面的通孔，所述气动控制元件连通于所述通孔。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述气动控制元件包括流量计和/或隔膜阀，所述流量计和/或所述隔膜阀底部设有用于连通所述气道的进气孔和出气孔。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述集成板的内部包括沿厚度方向从下向上依次分层分布的恒温循环液通道、第一气道和第二气道，所述第一气道和所述第二气道在空间交错布置，所述流量计和/或所述隔膜阀安装在所述第一气道和所述第二气道的空间交错处。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述第一气道和所述第二气道相互连通。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述气动控制元件还包括单向阀、气路接头和焊接硬管，所述单向阀和所述气路接头固定于所述气动元件安装孔内，所述单向阀和所述气路接头通过所述焊接硬管连通。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述气动控制元件还包括液罐，在所述集成板的下板面形成有液罐安装孔，所述气路接头设置在所述液罐安装孔内，并延伸至所述液罐内。在本专利技术的气液管路混合控制装置中，优选为，所述集成板设有通向所述气道的闭合通路的总进气口和总出气口，所述气动控制元件还包括内部设有气道的转接块，所述转接块连接于所述总出气口。根据本专利技术的气液管路混合控制装置，通过将多数量多种类的气动控制元件集成在一个集成板上，从而节省了大量的空间。此外，由于集成板内置有恒温循环液通道和气道，因而使得能够根据使用的要求和流量的需要，将气动控制元件与气道连通使用。并且，恒温循环液通道的存在使得恒温循环液能够从中通过，从而可有效的控制整个集成板的温度，整个集成板的温度又会传递到气道，由此能够达到气体的高效恒温效果。附图说明图1是本专利技术的气液管路混合控制装置的俯视的立体图；图2是本专利技术的气液管路混合控制装置的仰视的立体图；图3是本专利技术的气液管路混合控制装置的剖面图；图4是本专利技术的气液管路混合控制装置中集成板的正视图；图5是本专利技术的气液管路混合控制装置中集成板的侧视图；图6是本专利技术的气液管路混合控制装置中集成板的俯视图；图7是图4的a-a向剖面图，示出了本专利技术的气液管路混合控制装置中的集成板的第一气道的剖面结构；图8是图4的b-b向剖面图，示出了本专利技术的气液管路混合控制装置中的集成板的第二气道的剖面结构；图9是图4的c-c向剖面图，示出了本专利技术的气液管路混合控制装置中的集成板的恒温循环液通道的剖面结构。附图标记：10～集成板；11～恒温循环液通道；111～分液道；12～气道；121～分气道；122～第一气道；123～第二气道；124～通孔；13～气动元件安装孔；14～液罐安装孔；15～总进气口；16～总出气口；17～循环液进出口；21～流量计；22～隔膜阀；23～单向阀；24～气路接头；25～焊接硬管；26～液罐；27～转接块；30～堵塞块。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“水平”、“竖直”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。图1至图9示出了本专利技术的气液管路混合控制装置的内部结构。如图1至图9所示，本专利技术的气液管路混合控制装置包括集成板10和气动控制元件，气动控制元件安装于集成板10，集成板10的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道11和至少一层气道12，气动控制元件与气道12连通。本专利技术的气液管路混合控制装置通过将多数量多种类的气动控制元件集成在一个集成板10上，节省了大量的空间。此外，集成板10内置有恒温循环液通道11和气道12，可以根据使用的要求和流量的需要，将气动控制元件与气道12连通使用。恒温循环液通道11使得恒温循环液通过，从而可有效地控制整个集成板的温度，整个集成板10的温度又会传递到气道，从而达到气体高效恒温的效果。本专利技术的气液管路混合控制装置中，气动控制元件的种类和数量可以根据实际使用要求进行增加或削减。图1是本专利技术的气液管路混合控制装置的俯视的立体图，图2是本专利技术的气液管路混合控制装置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气液管路混合控制装置，包括集成板(10)和气动控制元件，所述气动控制元件安装于所述集成板(10)，其特征在于，所述集成板(10)的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道(11)和至少一层气道(12)，所述气动控制元件与所述气道(12)连通。

【技术特征摘要】
1.一种气液管路混合控制装置，包括集成板(10)和气动控制元件，所述气动控制元件安装于所述集成板(10)，其特征在于，所述集成板(10)的内部包括沿厚度方向分布的至少一层恒温循环液通道(11)和至少一层气道(12)，所述气动控制元件与所述气道(12)连通。2.根据权利要求1所述的气液管路混合控制装置，其特征在于，所述恒温循环液通道(11)包括多个分液道(111)，所述分液道(111)的端口形成在所述集成板(10)的侧面上，并垂直于所对应的所述集成板(10)的侧面向所述集成板(10)的内部延伸；所述气道(12)包括多个分气道(121)，所述分气道(121)的端口形成在所述集成板(10)的侧面上，并垂直于所对应的所述集成板(10)的侧面向所述集成板(10)的内部延伸。3.根据权利要求2所述的气液管路混合控制装置，其特征在于，所述分液道(111)的端口和所述分气道(121)的端口分别安装有可拆卸的堵塞块(30)，以形成闭合通路。4.根据权利要求3所述的气液管路混合控制装置，其特征在于，所述集成板(10)的板面上设有用于固定安装所述气动控制元件的气动元件安装孔(13)，所述气道(12)内设有通向所述集成板(10)的板面的通孔(124)，所述气动控制元件连通于所述通孔(124)。5.根据权利要求4所述的气液管路混合控制装置，其特征在于，所述气动控制元件包括流量计(21)和/或隔膜阀(22)，所述流量计(21)和/或所述隔膜阀(22)底部设有用于连通所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，徐康宁，孙伟，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32