一种石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟，包括石墨舟片，所述石墨舟片上设有承载位，所述承载位为镂空设置，且承载位上设有镂空架，所述镂空架采用加强筋结构，所述镂空架与承载位侧壁固定连接，所述承载位四周环设有卡点，所述卡点固定在承载位侧壁上，所述石墨舟片表面设有第一安装孔，所述第一安装孔内设有陶瓷管。本实用新型专利技术通过将承载位设置成镂空型，减少硅片与石墨舟片实际接触面积，避免硅片受热引起翘曲，同时能够减少石墨的使用量，并且通过将镂空架设置为加强筋，可以增加石墨舟片的强度，防止石墨舟片出现断裂的情况，延长使用寿命。

A kind of Shi Mozhou

The utility model discloses a graphite boat, including a graphite boat. The graphite boat is provided with a bearing position, the bearing position is hollow, and a hollow frame is provided on the bearing position. The hollow frame uses a reinforcement structure, the hollow frame is fixed to the side wall of the bearing position, and the four circumferential ring of the bearing position is provided with a clamping point, and the bearing position 4 circumferential ring has a card point. The card point is fixed on the side wall of the load-bearing side, and the first surface of the graphite boat slice is provided with a ceramic tube. The utility model can reduce the actual contact area between the silicon chip and the graphite boat, avoid the warping of the silicon chip and reduce the use of the graphite, and by setting the hollow frame into a reinforcing bar, the strength of graphite canoe can be increased and the fracture of the graphite boat is prevented. Prolong the service life.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟
本技术涉及太阳能电池片生产
，特别涉及一种石墨舟。
技术介绍
石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。现有的石墨舟包括多个石墨舟片，每个石墨舟片上设有多个承载位，承载位与硅片大小配合，用于支撑硅片，承载位与石墨舟片在同一个平面内，承载位大多为凹槽式设计，容易在使用中由于硅片发热引起翘曲，一些镂空设置的承载位大多结构简单，导致石墨舟片容易发生断裂，影响使用寿命，而且石墨舟的垫脚结构简单，防止不稳定，承重力一般。为此，我们提出一种石墨舟。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种石墨舟，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种石墨舟，包括石墨舟片，所述石墨舟片上设有承载位，所述承载位为镂空设置，且承载位上设有镂空架，所述镂空架采用加强筋结构，所述镂空架与承载位侧壁固定连接，所述承载位四周环设有卡点，所述卡点固定在承载位侧壁上，所述石墨舟片表面设有第一安装孔，所述第一安装孔内设有陶瓷管，且陶瓷管穿过第一安装孔。进一步地，所述石墨舟片两端均设有石墨舟上连接片，所述石墨舟上连接片与石墨舟片固定连接，所述石墨舟上连接片底部设有石墨舟下连接片，所述石墨舟下连接片也与石墨舟片固定连接，所述石墨舟上连接片和石墨舟上连接片上均设有安装孔。进一步地，所述石墨舟下连接片底部设有垫脚，所述垫脚包括一号承接肩和主支撑柱，所述一号承接肩和主支撑柱固定连接，所述一号承接肩一侧设有二号承接肩，所述一号承接肩和二号承接肩上均设有通孔，以及一号承接肩和二号承接肩之间设有凹槽。进一步地，所述主支撑柱两侧分别设有一号辅助支撑柱和二号辅助支撑柱，所述一号辅助支撑柱和二号辅助支撑柱均与主支撑柱固定连接，所述主支撑柱、一号辅助支撑柱和二号辅助支撑柱底部均设有防滑纹路。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1、本技术通过将承载位设置成镂空型，减少硅片与石墨舟片实际接触面积，避免硅片受热引起翘曲，同时能够减少石墨的使用量，并且通过将镂空架设置为加强筋，可以增加石墨舟片的强度，防止石墨舟片出现断裂的情况，延长使用寿命。2、本技术通过将垫脚的主支撑柱两侧分别设有一号辅助支撑柱和二号辅助支撑柱，可以增加垫脚的接地面积，从而增加垫脚的稳定性，通过在主支撑柱和一号辅助支撑柱、二号辅助支撑柱底部均设有防滑纹路，可以增加垫脚放置的稳定性。3、本技术通过在垫脚上设有一号承接肩和二号承接肩，并且在一号承接肩和二号承接肩之间设有凹槽，可以使石墨舟下连接片嵌在凹槽内，再利用一号承接肩和二号承接肩上的通孔与石墨舟下连接片上的安装孔连接，连接效果好。附图说明图1为本技术一种石墨舟的整体结构示意图。图2为本技术一种石墨舟的垫脚结构示意图。图3为本技术一种石墨舟的垫脚下表面结构示意图图中：1、石墨舟片；2、承载位；3、镂空架；4、第一安装孔；5、陶瓷管；6、卡点；7、垫脚；8、石墨舟上连接片；9、石墨舟下连接片；10、一号承接肩；11、二号承接肩；12、凹槽；13、通孔；14、主支撑柱；15、一号辅助支撑柱；16、二号辅助支撑柱；17、防滑纹路；18、安装孔。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-3所示，一种石墨舟，包括石墨舟片1，所述石墨舟片1上设有承载位2，所述承载位2为镂空设置，且承载位2上设有镂空架3，所述镂空架3采用加强筋结构，所述镂空架3与承载位2侧壁固定连接，所述承载位2四周环设有卡点6，所述卡点6固定在承载位2侧壁上，所述石墨舟片1表面设有第一安装孔4，所述第一安装孔4内设有陶瓷管5，且陶瓷管5穿过第一安装孔4。其中，所述石墨舟片1两端均设有石墨舟上连接片8，所述石墨舟上连接片8与石墨舟片1固定连接，所述石墨舟上连接片8底部设有石墨舟下连接片9，所述石墨舟下连接片9也与石墨舟片1固定连接，所述石墨舟上连接片8和石墨舟上连接片8上均设有安装孔18。其中，所述石墨舟下连接片9底部设有垫脚7，所述垫脚7包括一号承接肩10和主支撑柱14，所述一号承接肩10和主支撑柱14固定连接，所述一号承接肩10一侧设有二号承接肩11，所述一号承接肩10和二号承接肩11上均设有通孔13，以及一号承接肩10和二号承接肩11之间设有凹槽12。其中，所述主支撑柱14两侧分别设有一号辅助支撑柱15和二号辅助支撑柱16，所述一号辅助支撑柱15和二号辅助支撑柱16均与主支撑柱14固定连接，所述主支撑柱14、一号辅助支撑柱15和二号辅助支撑柱16底部均设有防滑纹路17。需要说明的是，本技术为一种石墨舟，工作时，通过将承载位3设置成镂空型，减少硅片与石墨舟片1实际接触面积，避免硅片受热引起翘曲，同时能够减少石墨的使用量，并且通过将镂空架3设置为加强筋，可以增加石墨舟片1的强度，防止石墨舟片1出现断裂的情况，延长使用寿命，通过在垫脚7上设有一号承接肩10和二号承接肩11，并且在一号承接肩10和二号承接肩11之间设有凹槽12，可以使石墨舟下连接片9嵌在凹槽12内，再利用一号承接肩11和二号承接肩12上的通孔13与石墨舟下连接片9上的安装孔18连接，连接效果好，通过将垫脚7的主支撑柱14两侧分别设有一号辅助支撑柱15和二号辅助支撑柱16，可以增加垫脚7的接地面积，从而增加垫脚7的稳定性，通过在主支撑柱14和一号辅助支撑柱15、二号辅助支撑柱16底部均设有防滑纹路17，可以增加垫脚7放置的稳定性。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟，包括石墨舟片(1)，其特征在于：所述石墨舟片(1)上设有承载位(2)，所述承载位(2)为镂空设置，且承载位(2)上设有镂空架(3)，所述镂空架(3)采用加强筋结构，所述镂空架(3)与承载位(2)侧壁固定连接，所述承载位(2)四周环设有卡点(6)，所述卡点(6)固定在承载位(2)侧壁上，所述石墨舟片(1)表面设有第一安装孔(4)，所述第一安装孔(4)内设有陶瓷管(5)，且陶瓷管(5)穿过第一安装孔(4)。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，包括石墨舟片(1)，其特征在于：所述石墨舟片(1)上设有承载位(2)，所述承载位(2)为镂空设置，且承载位(2)上设有镂空架(3)，所述镂空架(3)采用加强筋结构，所述镂空架(3)与承载位(2)侧壁固定连接，所述承载位(2)四周环设有卡点(6)，所述卡点(6)固定在承载位(2)侧壁上，所述石墨舟片(1)表面设有第一安装孔(4)，所述第一安装孔(4)内设有陶瓷管(5)，且陶瓷管(5)穿过第一安装孔(4)。2.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片(1)两端均设有石墨舟上连接片(8)，所述石墨舟上连接片(8)与石墨舟片(1)固定连接，所述石墨舟上连接片(8)底部设有石墨舟下连接片(9)，所述石墨舟下连接片(9)也与石墨舟片(1)固定连接，所述石墨舟上连接片(8)和石墨舟上连...

【专利技术属性】
技术研发人员：鞠国军，
申请(专利权)人：江西宁和达新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36