晶圆盒承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶圆盒承载装置，其用以承载晶圆盒，晶圆盒用以承装8英寸晶圆片，晶圆盒承载装置包含：本体及充气系统。本体具有承载平台，承载平台设置有两个限位结构，两个限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面，承载面用以承载晶圆盒，充气系统设置于本体，充气系统与供气设备相连接，充气系统用以更换设置于承载平台上的晶圆盒内的气体，充气系统于承载平台仅露出设置有进气喷嘴及排气喷嘴，充气系统能通过进气喷嘴将预定气体输入设置于承载平台的晶圆盒中，且充气系统能通过排气喷嘴将设置于承载平台的晶圆盒中的气体向外排出。本实用新型专利技术可使设置于晶圆盒中的晶圆片于运送过程中，不易受外部环境影响。

Wafer box loader

The utility model relates to a wafer box carrying device, which is used for carrying a crystal round box. The wafer box is used to load 8 inch wafer, and the wafer box bearing device includes: the body and the inflating system. The body has the bearing platform, the bearing platform is set up with two limiting structures, and the two limit structure is formed together to form a bearing surface with no more than 400*300 square millimeter. The bearing surface is used to carry the crystal box, the inflatable system is set in the body, the inflatable system is connected with the gas supply equipment, and the inflatable system is replaced with the bearing platform. The gas in the circular box is provided with the air inlet nozzle and the exhaust nozzle only exposed on the bearing platform. The inflatable system can set the predetermined gas input into the wafer box of the bearing platform through the intake nozzle, and the air charging system can discharge the gas in the wafer box of the bearing flat through the exhaust nozzle. The wafer can be arranged in the wafer box and is not easy to be influenced by the external environment during the transportation process.

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒承载装置
本技术涉及一种晶圆盒承载装置，特别是一种用以承载装载有8英寸晶圆片的晶圆盒的晶圆盒承载装置。
技术介绍
随着科技的进步，各式产品(例如电子零件、食品等)的生产商发现影响成品良好率的因素，除了相关制程设计及控制外，半成品及成品在运载或是制作过程中，其所处的环境状态，对最终的成品良好率也存在着直接或是间接的相关性。是以，对于各式产品的生产商而言，如何控制半成品及成品在运载或是制作过程中的环境状态，成为了一个重要的课题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种晶圆盒承载装置，用以改善现有技术中，各式半成品及成品在运载或是制作过程中容易受环境状态影响的问题。为了实现上述目的，本技术提供一种晶圆盒承载装置，其用以承载一晶圆盒，所述晶圆盒用以承装8英寸晶圆片，所述晶圆盒承载装置包含：一本体及一充气系统，所述本体具有一承载平台，所述承载平台设置有两个限位结构，所述两个限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面，所述承载面用以承载所述晶圆盒。所述充气系统设置于所述本体，所述充气系统与一供气设备相连接，所述充气系统用以更换设置于所述承载平台上的所述晶圆盒内的气体，所述充气系统于所述承载平台仅露出设置的一进气喷嘴及一排气喷嘴，所述充气系统能通过所述进气喷嘴将一预定气体输入设置于所述承载平台的所述晶圆盒中，且所述充气系统能通过所述排气喷嘴将设置于所述承载平台的所述晶圆盒中的气体向外排出。优选地，所述承载平台设置有多个固定件，各个固定件凸出于所述承载面设置，各个固定件能与所述晶圆盒底部相互卡合，以限制所述晶圆盒相对于所述承载平台移动。优选地，晶圆盒承载装置还包含有一控制模块，所述承载平台设置有至少一感测单元，其用以感测所述承载面上方的环境状态，以对应产生一感测信息，所述控制模块电性连接所述感测单元及所述充气系统，所述控制模块接收所述感测信息时，能选择性地控制所述充气系统动作，以通过所述进气喷嘴及所述排气喷嘴，对所述晶圆盒内进行气体交换作业。优选地，所述承载平台还设置有一限位组件，所述限位组件能受控制，而与所述晶圆盒相互卡合；当所述控制模块控制设置于所述承载平台的所述晶圆盒的一活动门开启时，所述控制模块能控制所述限位组件动作，以与所述晶圆盒相互卡合，据以限制所述晶圆盒相对于所述承载平台动作。优选地，所述充气系统包含有一主进气管路及一副进气管路，所述主进气管路与供气设备连接，所述主进气管路设置有一气动开关单元，所述气动开关单元与所述副进气管路的另一端相连通，所述气动开关单元能选择性地阻断所述主进气管路的连通；所述副进气管路设置有一电动开关单元，所述电动开关单元能受控制而选择性地阻断所述副进气管路的连通；其中，所述电动开关单元受控制而使所述副进气管路的两端相连通时，通过所述副进气管路的气体，能驱使所述气动开关单元开启，而使供气设备提供的气体能通过所述主进气管路进入所述晶圆盒中。优选地，所述充气系统还包含有一排气模块，其包含有一排气管路及一排气单元，所述排气管路与排气喷嘴相连接，所述排气单元能受所述控制模块控制，而选择性地通过所述排气喷嘴使所述晶圆盒中的气体向外排出。优选地，所述排气模块还包含有一辅助排气单元，其设置于排气管路，所述辅助排气单元与所述主进气管路相连通，而部份主进气管路的气体能进入所述辅助排气单元，所述辅助排气单元能与所述排气单元相互配合，以使所述排气管路呈现为负压状态。优选地，所述排气模块还包含有一调节单元，其连接所述主进气管路及所述辅助排气单元，所述调节单元能调节由所述主进气管路进入所述辅助排气单元的气体流量。本技术的有益效果在于：通过本体及充气系统的相互配合，可以对晶圆盒内部的空间，进行充气或是更换气体，借此可使设置于晶圆盒中的晶圆片，于运送过程中，不易受外部环境影响。附图说明图1为本技术的晶圆盒承载装置设置有晶圆盒的示意图。图2为本技术的晶圆盒承载装置的示意图。图3为本技术的晶圆盒承载装置的承载平台的上视图。图4为本技术的晶圆盒承载装置的充气系统的方块示意图。具体实施方式请一并参阅图1至图3，其为本技术的晶圆盒承载装置的示意图。如图所示，晶圆盒承载装置A用以承载一晶圆盒B；晶圆盒承载装置A包含有一本体1及一充气系统30。本体1具有一承载平台10，承载平台10设置有两个限位结构11，两个限位结构11共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面101，承载面101用以承载晶圆盒B。特别说明的是，本技术的晶圆盒承载装置A是用以承载装载有8英寸晶圆片的晶圆盒B。在实际应用中，各个限位结构11可以是大致呈现为图3中所示，类似为U型的结构，而两个限位结构11的凹口是彼此相对地设置，借此环绕形成有所述承载面101。当然，图中所示的限位结构11的外型，可以是依据需求(例如是晶圆盒B的外型)加以变化，不以此为限。如图1、图2所示，当晶圆盒B设置于承载平台10时，两个限位结构11将对应位于晶圆盒B底部的周缘。在较佳的应用中，承载平台10可以是设置有多个固定件12，各个固定件12的部份凸出于承载面101设置，且各个固定件12能与晶圆盒B底部相互卡合，以限制晶圆盒B相对于承载平台10移动。其中，各个固定件12的外型不以图中所示为限，且固定件12的数量亦不以图中所示为限；较佳地，固定件12的数量是三个以上，且三个固定件12是不设置于同一轴线，如此，将可使晶圆盒B稳固地设置于承载平台10上。另外，通过固定件12的设置，可以限制晶圆盒B相对于承载平台10的设置方式，借此可限制晶圆盒B设置于承载平台10时，晶圆盒B的活动门相对于承载平台10的位置。晶圆盒承载装置A还可以包含有一控制模块及至少一感测单元14，控制模块电性连接充气系统30，以控制充气系统30对晶圆盒B进行气体交换的作业；所述控制模块例如是微处理器。感测单元14用以感测承载面101上方的环境状态，以对应产生一感测信息。感测单元14例如可以是利用红外线、超音波等方式进行感测，而感测单元14可以是依据不同的环状状态，对应产生不同的感测信息，即，感测单元14能依据承载平台10是否设置有晶圆盒B而对应产生不同的感测信息。控制模块电性连接感测单元14及充气系统30，控制模块接收感测信息时，能选择性地控制充气系统30动作，以选择性地对晶圆盒B内进行气体交换作业。换言之，控制模块可以是依据感测信息判断承载平台10是否设置有晶圆盒B，当控制模块判断承载平台10设置有晶圆盒B时，控制模块将控制充气系统30对该晶圆盒B进行气体交换作业，而在控制模块判断承载平台10未设置有晶圆盒B时，控制模块将可控制相关的警示单元动作(例如是以灯光、声音等方式)，以提醒使用者或是相关设备，承载平台10未设有晶圆盒B。在实际实施中，承载平台10还可以是设置有一限位组件13，限位组件13能受控制模块控制，而与晶圆盒B相互卡合。具体来说，当控制模块控制设置于承载平台10的晶圆盒B的一活动门开启时，控制模块能控制限位组件13动作，以与晶圆盒B相相互卡合，据以限制晶圆盒B相对于承载平台10动作；而当控制模块控制充气系统30对晶圆盒B进行气体交换作业前，控制模块也可以是先控制限位组件13，与晶圆盒B相互固定。如此，将可有效避免晶圆盒B在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆盒承载装置，其特征在于，所述晶圆盒承载装置用以承载一晶圆盒，所述晶圆盒用以承装8英寸晶圆片，所述晶圆盒承载装置包含：一本体，其具有一承载平台，所述承载平台设置有两个限位结构，两个所述限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面，所述承载面用以承载所述晶圆盒；以及一充气系统，其设置于所述本体，所述充气系统与一供气设备相连接，所述充气系统用以更换设置于所述承载平台上的所述晶圆盒内的气体，所述充气系统于所述承载平台仅露出设置有一进气喷嘴及一排气喷嘴，所述充气系统能通过所述进气喷嘴将一预定气体输入设置于所述承载平台的所述晶圆盒中，且所述充气系统能通过所述排气喷嘴将设置于所述承载平台的所述晶圆盒中的气体向外排出。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒承载装置，其特征在于，所述晶圆盒承载装置用以承载一晶圆盒，所述晶圆盒用以承装8英寸晶圆片，所述晶圆盒承载装置包含：一本体，其具有一承载平台，所述承载平台设置有两个限位结构，两个所述限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面，所述承载面用以承载所述晶圆盒；以及一充气系统，其设置于所述本体，所述充气系统与一供气设备相连接，所述充气系统用以更换设置于所述承载平台上的所述晶圆盒内的气体，所述充气系统于所述承载平台仅露出设置有一进气喷嘴及一排气喷嘴，所述充气系统能通过所述进气喷嘴将一预定气体输入设置于所述承载平台的所述晶圆盒中，且所述充气系统能通过所述排气喷嘴将设置于所述承载平台的所述晶圆盒中的气体向外排出。2.依据权利要求1所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述承载平台设置有多个固定件，各个所述固定件凸出于所述承载面设置，各个所述固定件能与所述晶圆盒底部相互卡合，以限制所述晶圆盒相对于所述承载平台移动。3.依据权利要求2所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述晶圆盒承载装置还包含有一控制模块，所述承载平台设置有至少一感测单元，其用以感测所述承载面上方的环境状态，以对应产生一感测信息，所述控制模块电性连接所述感测单元及所述充气系统，所述控制模块接收所述感测信息时，能选择性地控制所述充气系统动作，以通过所述进气喷嘴及所述排气喷嘴，对所述晶圆盒内进行气体交换作业。4.依据权利要求3所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述承载平台还设置有一限位组件，所述限位组件能受控制，而与所述晶圆盒相互卡合；当所述控制模块控制设置于所述承载平台的所述晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶秀珢，郑吉宸，郑婕彤，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71