A water cooled grid structure of an electronic accelerator consists of a plate body and a plate body consisting of six surfaces. The grid plate is set with a number of gaps between the grid plates. The angle between the grid plate and the horizontal plane of the plate body gradually decreases from the main center of the plate to the grille in the main center of the plate. The plate is perpendicular to the main horizontal plane of the plate, and the grid plate is arranged symmetrically on both sides of the main body of the plate. The grid plate is also provided with a reinforcement. The utility model has simple structure and ensures the integrity and consistency of the water cooled grid. Through the water cooled grid, the heat dissipation of the titanium film is effectively solved and the negative pressure adsorption support of the titanium film is guaranteed, and the titanium film is prevented from the titanium film. Fatigue greatly improves the service life of the titanium film, reduces the changing frequency of the titanium film, greatly enhances the uniformity of the electron beam through the grille, and strengthens the structure strength of the grid plate.
【技术实现步骤摘要】
一种电子加速器水冷格栅结构
本技术涉及一种电子加速器钛膜冷却装置,尤其涉及一种电子加速器水冷格栅结构。
技术介绍
电子加速器正常运行过程中主要耗材有钛膜和电子枪,钛膜一般寿命为2000小时,电子枪一般寿命为3000-5000小时,但电子枪的寿命除自身品质外还受外界很多因素的影响,其中最主要的是真空的的影响。因此,为保障电子枪的寿命,加速器工作时必须的满足电子枪正常工作的真空度需求,但加速器的钛膜更换从窗口拆卸至设备恢复运行一般需要24小时左右时间,所以保护钛膜的寿命是至关重要的,而钛膜的损坏因素主要是:散热、金属疲劳、人为损坏;排除客观因素,钛膜散热至关重要,现在的普遍采用在钛膜下方设置风嘴,采用强迫风冷的方式冷却,由于进气量较大在电子束的作用下会产生大量的臭氧,因此常规技术手段为架设大排量的废气排放风机,这样一来,增大了设备的损耗,市面上也有通过在扫描盒内部安装水冷格栅后在钛膜与水冷格栅贴合来保证钛膜的散热与支撑;但是现有水冷格栅的加工复杂,一致性较差,导致钛膜冷却效果差,真空受影响等。电子束引出后其行进路线呈扇形向外扩散,但现有的格栅板在设计和加工上的原因,其格栅板的角度分布不符合最大扫描角分布原理,导致电子束在格栅齿上通过率低致使扫描均匀性差,钛膜散热不均匀、钛膜寿命短等,而且电子束扫描过程中由于扫描特性与扫描角度分布问题,电子束在穿透钛膜时会导致格栅和钛膜两端热量沉积较大,容易造成格栅两端的钛膜过热,导致格栅板变热,格栅板过热容易产生变形,减少水冷格栅的使用寿命。
技术实现思路
本技术一种电子加速器水冷格栅结构,包括板材主体1,所述板材主体1由六个面组成, ...
【技术保护点】
1.一种电子加速器水冷格栅结构,包括板材主体,所述板材主体由六个面组成,其特征在于:所述板材主体还包括第一深孔、第二深孔,与第一深孔相连的沉孔以及设置在板材主体中部的格栅板和圆孔,所述格栅板设置有若干个,所述格栅板之间存在间隙,所述格栅板与板材主体的水平面的夹角自板材主体中心向两侧逐渐变小,位于板材主体中心的格栅板垂直于板材主体水平面,所述夹角为90‑67.5度,位于板材主体两侧的格栅板对称设置,所述格栅板还设置有加强筋。
【技术特征摘要】
1.一种电子加速器水冷格栅结构,包括板材主体,所述板材主体由六个面组成,其特征在于:所述板材主体还包括第一深孔、第二深孔,与第一深孔相连的沉孔以及设置在板材主体中部的格栅板和圆孔,所述格栅板设置有若干个,所述格栅板之间存在间隙,所述格栅板与板材主体的水平面的夹角自板材主体中心向两侧逐渐变小,位于板材主体中心的格栅板垂直于板材主体水平面,所述夹角为90-67.5度,位于板材主体两侧的格栅板对称设置,所述格栅板还设置有加强筋。2.根据权利要求1所述的电子加速器水冷格栅结构,其特征在于:所述第一深孔设置有两条,所述第一深孔对称设置在板材主体两端,所述圆孔设置在两条深孔之间,所述第二深孔两端分别与第一深孔和沉孔相连,所述沉孔设置有六个,所述沉孔一端与板材主体上表面平齐,另一端与第一深孔以及第...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹娟,程永波,黄伟,
申请(专利权)人:江苏久瑞高能电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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