阀件分流箱制造技术

本发明专利技术公开了一种阀件分流箱，包括：开关模块包括N个电磁阀，N为大于或等于1的整数；气路组件模块包括N个气路组件，每个气路组件的出口对应连接一个电磁阀；监控模块包括M个检测器件，M为大于或等于1的整数，用于检测气体通路内的环境参数；监控模块还包括控制单元，控制单元分别检测器件和开关模块电连接，用于根据气体通路内的环境参数切断开关模块的电源信号。本发明专利技术实施例提供了一种阀件分流箱，通过在每个气路组件的出口对应连接一个电磁阀，然后监控模块的控制单元根据检测器件检测的气体通路内的环境参数，来实现对电磁阀的导通或者关断，来控制气路组件组成的气体通路处于导通的状态或者截止的状态。

【技术实现步骤摘要】
阀件分流箱
本专利技术实施例涉及电力转换
，尤其涉及一种阀件分流箱。
技术介绍
在现代工业及高新科技的发展中，对于安全的要求是越来越严格，在尽可能的减少安全事故的发生，以取得高效、稳定、不断提高的产业利润。由于在制程上的需要，在半导体工厂及芯片生产过程中使用了许多特殊的气体如：SiH4、NH3以及N2等，因此，就需要相应的供气设备。阀件分流箱(ValveManifoldBox，VMB)主要用于将气体经过气路组件模块中的气路组件送到相应的设备中。但是目前的阀件分流箱，自动化程度不高，人力成本较高。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种阀件分流箱，实现了在阀件分流箱的监控模块监测到现场一些危险情况时，对开关模块及时断电，阻止气体在气体通路中的传输，并且该阀件分流箱具有结构简单、成本低廉以及可靠性高的特点。本专利技术实施例提供了一种阀件分流箱，包括：开关模块，所述开关模块包括N个电磁阀，所述N为大于或等于1的整数；气路组件模块，所述气路组件模块包括N个气路组件，每个所述气路组件的出口对应连接一个电磁阀，所述电磁阀用于导通或者截止所述气路组件组成的气体通路；电源模块，所述电源模块的第一电源信号输出端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电源模块的第二电源信号输出端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第一电源信号输入端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第二电源信号输入端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接；监控模块，所述监控模块的第一电源信号输入端与所述电源模块的第一电源信号输出端电连接，所述监控模块的第二电源信号输入端与所述电源模块的第二电源信号输出端电连接；所述监控模块包括M个检测器件，所述M为大于或等于1的整数，用于检测所述气体通路内的环境参数；所述监控模块还包括控制单元，所述控制单元分别与所述检测器件和所述开关模块电连接，用于根据所述气体通路内的环境参数切断所述开关模块的电源信号。可选的，所述控制单元包括M个第一热继电器；所述第一热继电器与所述检测器件一一对应设置，所述第一热继电器包括第一线圈和至少一个常开触点；所述检测器件的第一端与所述第一线圈的第一端电连接，所述检测器件的第二端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述第一线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接，所述检测器件检测指示灯与所述第一线圈并联连接，所述第一热继电器的第一常开触点与所述检测器件并联连接；所述控制单元还包括N个远程开关，每个所述远程开关对应设置一个第二热继电器，所述第二热继电器包括第二线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点；所述远程开关的第一端与所述第二线圈的第一端电连接，所述远程开关的第二端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述第二线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接；所述第二热继电器的第一常开触点与所述远程开关并联连接；所述开关模块还包括N个第三热继电器、N个电磁阀按钮和N个电磁阀工作状态指示灯，每一个所述电磁阀对应设置一个所述第三热继电器、一个所述电磁阀按钮和一个所述电磁阀工作状态指示灯，每一个所述第三热继电器包括一个第三线圈和至少一个常开触点；所述第三线圈的第一端与所述第二热继电器的第一常闭触点的第一端电连接，所述第二热继电器的第一常闭触点的第二端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述第三线圈的第二端与所述第三热继电器的第一常开触点的第一端电连接，所述第三热继电器的第一常开触点的第二端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀按钮与所述第三热继电器的第一常开触点并联连接；所述电磁阀的第一电源信号输入端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第二电源信号输入端与所述第三热继电器的第二常开触点的第一端电连接，所述第三热继电器的第二常开触点的第二端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀工作状态指示灯与所述电磁阀并联连接。可选的，所述检测器件包括负压开关、火烟传感器、压力传感器以及高温传感器中的任意一种。可选的，还包括重置按钮，所述重置按钮的第一端分别与所述检测器件的第一端和所述远程开关的第一端电连接，所述重置按钮的第二端作为所述监控模块的第一端。可选的，所述控制单元还包括：第四热继电器和第五热继电器，所述第四热继电器包括第四线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点，所述第五热继电器包括第五线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点以及M+N个单刀双掷开关；急停按钮，所述急停按钮的第一端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述急停按钮的第二端与急停按钮指示灯的第一端电连接，所述急停按钮指示灯的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接；所述急停按钮的第二端与所述第五线圈的第一端电连接，所述第五线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接；所述第二热继电器的第二常开触点的第一端和所述第一热继电器的第二常开触点的第一端分别与所述单刀双掷开关的不动端电连接，所述第二热继电器的第二常开触点的第二端和所述第一热继电器的第二常开触点的第二端分别与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述单刀双掷开关的第一活动端所述第四线圈的第一端电连接，所述第四线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接；所述第二热继电器的第一常闭触点的第一端与所述第五热继电器的第一常闭触点的第一端电连接，所述五热继电器的第一常闭触点的第二端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接。可选的，所述开关模块还包括N个常闭开关，所述第三线圈的第二端与所述常闭开关的第一端电连接，所述常闭开关的第二端与所述第三热继电器的第一常开触点的第一端电连接。可选的，所述阀件分流箱还包括报警模块，所述报警模块的第一电源信号输入端与所述电源模块的第一电源信号输出端电连接，所述报警模块的第二电源信号输入端与所述电源模块的第二电源信号输出端电连接；所述报警模块包括塔灯，所述塔灯包括绿色指示灯、红色指示灯和黄色指示灯；所述绿色指示灯的第一端与所述第四热继电器的第一常闭触点的第一端电连接，所述第四热继电器的第一常闭触点的第二端与所述第五热继电器的第二常闭触点的第一端电连接，所述第五热继电器的第二常闭触点的第二端与所述报警模块的第一电源信号输入端电连接，所述绿色指示灯的第二端与所述报警模块的第二电源信号输入端电连接；所述红色指示灯的第一端与所述第五热继电器的第一常开触点的第一端电连接，所述第五热继电器的第一常开触点的第二端与所述报警模块的第一电源信号输入端电连接，所述红色指示灯的第二端与所述报警模块的第二电源信号输入端电连接；所述黄色指示灯的第一端与所述第四热继电器的第一常开触点的第一端电连接，所述第四热继电器的第一常开触点的第二端与所述报警模块的第一电源信号输入端电连接，所述黄色指示灯的第二端与所述报警模块的第二电源信号输入端电连接；所述报警模块还包括消音按钮、第六热继电器和蜂鸣器，所述第六热继电器包括第六线圈、第六常开触点和第六常闭触点，所述消音按钮的正极与所述第六线圈的第一端电连接，所述消音按钮的负极与所述报警模块的第二电源信号输入端电连接，所述第六线圈的第二端分别与所述第四热继电器的第二常开触点的第一端和所述第五热继本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阀件分流箱，其特征在于，包括：开关模块，所述开关模块包括N个电磁阀，所述N为大于或等于1的整数；气路组件模块，所述气路组件模块包括N个气路组件，每个所述气路组件的出口对应连接一个电磁阀，所述电磁阀用于导通或者截止所述气路组件组成的气体通路；电源模块，所述电源模块的第一电源信号输出端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电源模块的第二电源信号输出端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第一电源信号输入端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第二电源信号输入端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接；监控模块，所述监控模块的第一电源信号输入端与所述电源模块的第一电源信号输出端电连接，所述监控模块的第二电源信号输入端与所述电源模块的第二电源信号输出端电连接；所述监控模块包括M个检测器件，所述M为大于或等于1的整数，用于检测所述气体通路内的环境参数；所述监控模块还包括控制单元，所述控制单元分别与所述检测器件和所述开关模块电连接，用于根据所述气体通路内的环境参数切断所述开关模块的电源信号。

【技术特征摘要】
1.一种阀件分流箱，其特征在于，包括：开关模块，所述开关模块包括N个电磁阀，所述N为大于或等于1的整数；气路组件模块，所述气路组件模块包括N个气路组件，每个所述气路组件的出口对应连接一个电磁阀，所述电磁阀用于导通或者截止所述气路组件组成的气体通路；电源模块，所述电源模块的第一电源信号输出端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电源模块的第二电源信号输出端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第一电源信号输入端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第二电源信号输入端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接；监控模块，所述监控模块的第一电源信号输入端与所述电源模块的第一电源信号输出端电连接，所述监控模块的第二电源信号输入端与所述电源模块的第二电源信号输出端电连接；所述监控模块包括M个检测器件，所述M为大于或等于1的整数，用于检测所述气体通路内的环境参数；所述监控模块还包括控制单元，所述控制单元分别与所述检测器件和所述开关模块电连接，用于根据所述气体通路内的环境参数切断所述开关模块的电源信号。2.根据权利要求1所述的阀件分流箱，其特征在于，所述控制单元包括M个第一热继电器；所述第一热继电器与所述检测器件一一对应设置，所述第一热继电器包括第一线圈和至少一个常开触点；所述检测器件的第一端与所述第一线圈的第一端电连接，所述检测器件的第二端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述第一线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接，所述检测器件检测指示灯与所述第一线圈并联连接，所述第一热继电器的第一常开触点与所述检测器件并联连接；所述控制单元还包括N个远程开关，每个所述远程开关对应设置一个第二热继电器，所述第二热继电器包括第二线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点；所述远程开关的第一端与所述第二线圈的第一端电连接，所述远程开关的第二端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述第二线圈的第二端与所述监控模块的第二电源信号输入端电连接；所述第二热继电器的第一常开触点与所述远程开关并联连接；所述开关模块还包括N个第三热继电器、N个电磁阀按钮和N个电磁阀工作状态指示灯，每一个所述电磁阀对应设置一个所述第三热继电器、一个所述电磁阀按钮和一个所述电磁阀工作状态指示灯，每一个所述第三热继电器包括一个第三线圈和至少一个常开触点；所述第三线圈的第一端与所述第二热继电器的第一常闭触点的第一端电连接，所述第二热继电器的第一常闭触点的第二端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述第三线圈的第二端与所述第三热继电器的第一常开触点的第一端电连接，所述第三热继电器的第一常开触点的第二端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀按钮与所述第三热继电器的第一常开触点并联连接；所述电磁阀的第一电源信号输入端与所述开关模块的第一电源信号输入端电连接，所述电磁阀的第二电源信号输入端与所述第三热继电器的第二常开触点的第一端电连接，所述第三热继电器的第二常开触点的第二端与所述开关模块的第二电源信号输入端电连接，所述电磁阀工作状态指示灯与所述电磁阀并联连接。3.根据权利要求1所述的阀件分流箱，其特征在于，所述检测器件包括负压开关、火烟传感器、压力传感器以及高温传感器中的任意一种。4.根据权利要求2所述的阀件分流箱，其特征在于，还包括重置按钮，所述重置按钮的第一端分别与所述检测器件的第一端和所述远程开关的第一端电连接，所述重置按钮的第二端作为所述监控模块的第一端。5.根据权利要求2所述的阀件分流箱，其特征在于，所述控制单元还包括：第四热继电器和第五热继电器，所述第四热继电器包括第四线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点，所述第五热继电器包括第五线圈、至少一个常开触点和至少一个常闭触点以及M+N个单刀双掷开关；急停按钮，所述急停按钮的第一端与所述监控模块的第一电源信号输入端电连接，所述急停按钮的第二端与急停按钮指示灯的第一端电连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚华，张慧，蔡可辉，
申请(专利权)人：上海正帆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31