光阻过滤器制造技术

本发明专利技术公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。所述光阻过滤器结构精简且过滤性能佳。

Photoresist filter

The invention discloses an optical resistance filter. The optical resistance filter comprises a tank body, a groove cover and a filter bucket. The tank body has a holding tank. The groove cover is arranged at the top end of the trough body and seals the receiving slot. The filter bucket is accommodated in the accommodating tank. The filter barrel is connected with the trough body and / or the groove cover. The filter bucket has a chamber. The filter bucket is provided with a plurality of filter through holes. The filter through-hole communicates with the cavity and the receiving slot. The structure of the photoresist filter is simple and the filtration performance is good.

【技术实现步骤摘要】
光阻过滤器
本专利技术涉及一种半导体处理设备，特别是一种光阻过滤器。
技术介绍
在半导体加工处理过程中，往往需要采用诸如光阻的光敏材料。光阻，亦称光阻剂，可以应用于很多工业制程中。在对半导体部件进行处理后，往往需要将相应的光阻进行剥离。一般地，在进行光阻剥离过程中会产生体积不一、无法溶解在化学处理液中的块状光阻。块状光阻的积累容易导致循环管路堵塞。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种过滤性能佳的光阻过滤器。为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案实现：本专利技术提供一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。优选地，所述的光阻过滤器还包括第二过滤桶。所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内。所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述第二过滤桶具有第二容腔。所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔。所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔地设置。优选地，所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。优选地，所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。优选地，所述槽体的侧壁上设置有注液通孔。所述注液通孔与所述容纳槽连通，以可导入参杂有光阻的处理液。所述槽盖设置有出液通孔。所述出液通孔与所述第二容腔连通，以可导出滤除了光阻的处理液。优选地，所述槽体的底壁上设置有排放通孔。所述排放通孔与所述容纳槽连通，以可排出光阻。优选地，所述槽盖设置有减压部，以可减轻所述容纳槽内的气体压强。优选地，所述的光阻过滤器还包括液位传感器。所述液位传感器容置在所述容纳槽内，以可感测所述容纳槽内的处理液高度。优选地，所述过滤桶的顶端可拆卸地设置在所述槽盖的底端。优选地，所述的光阻过滤器还包括过滤器花篮。所述过滤器花篮具有容置腔。所述过滤器花篮设置在所述容纳槽内。所述过滤桶设置在所述过滤器花篮的容置腔内。优选地，在沿所述槽体的径向上，所述过滤器花篮与所述槽体之间的间距小于该过滤器花篮与所述过滤桶之间的间距。与现有技术相比，本专利技术光阻过滤器。所述光阻过滤器通过过滤桶与槽体的配合，替代了传统的过滤网，不仅整体结构较为简单、操作便利且过滤性能佳。进一步地，在所述过滤桶内再设置第二过滤桶实现再一次过滤，从而进一步提升过滤性能。附图说明图1为本专利技术提供的光阻过滤器的俯视示意图。图2为图1的光阻过滤器的立体剖视图。图3为图1的光阻过滤器沿E-E线的剖视图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术进行详细的描述：请参阅图1至图3，其为本专利技术提供的一种光阻过滤器101。所述光阻过滤器101包括槽体10及过滤桶20。所述过滤桶20容置在所述槽体10内，并可过滤光阻。所述槽体10作为容纳部件，用于容纳所述光阻过滤器101的其他部件。具体地，所述槽体10具有容纳槽12。所述容纳槽12用于提供存储空间。所述容纳槽12的具体形状及尺寸只要能够提供相应的存储空间即可。在本实施例中，为了提升过滤效率、便利于组装，所述容纳槽12为圆桶状。也即是，所述槽体10为桶状结构。相应地，所述槽体10的顶部具有开口14。所述槽体10可以为金属一体件或注塑一体件。所述过滤桶20用于过滤化学处理液内的光阻。所述过滤桶20容置在所述容纳槽12内。所述过滤桶20具有容腔22。所述过滤桶20具有多个过滤通孔24。所述过滤通孔24连通所述容腔22与所述容纳槽12地设置。相应地，所述过滤桶20通过所述过滤通孔24能够将所述容纳槽12内的化学处理液内的光阻进行过滤。相应地，所述容腔22内的经过过滤处理的化学处理液能够得到利用。譬如，可以采用相应的泵抽取所述容腔22内的化学处理液。在本实施例中，所述过滤桶20容置在下述过滤器花篮40的容置腔42内。为了进一步便利于化学处理液的流动，所述过滤桶20与所述槽体10的底部间隔设置。所述过滤桶20可固定设置在所述槽盖50的顶端52上。在本实施例中，为了便利于清除光阻，所述过滤桶20可拆卸地设置于所述槽盖50。所述容腔22的形状及尺寸只要满足相应的过滤需要即可。在本实施例中，所述容腔22为圆筒状。相应地，所述过滤桶20为圆桶构造。为了便利于所述过滤桶20保持在预设的位置而不发生移动，在本实施例中，所述过滤桶20的顶端25设置在下述槽盖50的底端52上。为了提升过滤效率，在本实施例中，所述过滤桶20与所述槽体10同轴设置。也即是，所述过滤桶20的中心轴与所述槽体10的中心轴重合。所述过滤通孔24的分布密度根据需要而选择。在本实施例中，为了兼顾化学处理液的流动速度及过滤性能，所述过滤通孔24的密度为数十目。也即是，所述过滤通孔24在每平方英寸的面积上的分布数目为数十个为了进一步提升过滤性能，所述光阻过滤器101还包括第二过滤桶30。所述第二过滤桶30设置在所述过滤桶20的容腔22内，以进入所述容腔22内的化学处理液进行进一步地光阻过滤。相应地，所述第二过滤桶30具有第二容腔32。所述第二过滤桶30设置有多个第二过滤通孔34。所述第二过滤通孔34连通所述第二容腔32及所述过滤桶20的容腔22地设置。所述第二过滤桶30可以具有与所述过滤桶20相同的形状及构造。相应地，所述第二过滤桶30为圆桶构造。所述第二容腔32为圆桶形状。进一步地，所述第二过滤桶30与所述过滤桶20同轴设置。所述第二过滤桶30可固定设置在所述槽盖50的顶端52上。在本实施例中，为了便利于清除光阻，所述第二过滤桶30可拆卸地设置于所述槽盖50。所述第二过滤通孔34的分布密度根据需要而选择。为了提升过滤性能，在本实施例中，所述第二过滤通孔34的密度大于所述过滤桶20的过滤通孔24的密度。更具体地，所述第二过滤通孔34的密度为上百目。也即是，所述第二过滤通孔34在单位平方英寸的面积上分布的数目为上百个。为了进一步提升过滤性能，所述光阻过滤器101还包括过滤器花篮40。所述过滤器花篮40具有容置腔42。所述过滤器花篮40设置在所述槽体10的容纳槽12内。所述过滤桶20设置在所述过滤器花篮40的容置腔42内。所述过滤器花篮40可以对化学处理液进行首先过滤，然后依次通过所述过滤桶20、所述第二过滤桶30对化学处理液进行过滤。为了提升过滤性能，在沿所述槽体10的径向方向，所述过滤器花篮40与所述槽体10之间的间距小于该过滤器花篮40与所述过滤桶20之间的间距。也即是，所述过滤器花篮40靠近所述槽体10而远离所述过滤桶20。为了便利于提升所述过滤器花篮40的稳固性能，所述过滤器花篮40可以通过紧固件(图中未示出)连接至所述槽体10的顶部。在沿所述槽体10的径向方向，部分或全部所述过滤器花篮40可与所述槽体10接触设置。为了便利拆装、提升密封性能，所述光阻过滤器101还包括槽盖50。所述槽盖50设置在所述槽体10的顶部，并密封所述槽体10地设置。也即是，所述槽盖50密封所述容纳槽12在所述槽体10的顶部形成的开口。在本实施例中，所述槽盖50大致为圆板形的盖子。更具体地，所述槽盖50的底端52用于支撑所述过滤桶20及所述第二过滤桶30。在本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光阻过滤器，其特征在于，包括：槽体，所述槽体具有容纳槽；槽盖，所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置；及过滤桶，所述过滤桶容置在所述容纳槽内；所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；所述过滤桶具有容腔；所述过滤桶设置有多个过滤通孔；所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。

【技术特征摘要】
1.一种光阻过滤器，其特征在于，包括：槽体，所述槽体具有容纳槽；槽盖，所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置；及过滤桶，所述过滤桶容置在所述容纳槽内；所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；所述过滤桶具有容腔；所述过滤桶设置有多个过滤通孔；所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。2.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：第二过滤桶，所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内；所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；所述第二过滤桶具有第二容腔；所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔；所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔地设置。3.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。4.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。5.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：所述槽体的侧壁上设置有注液通孔；所述注液通孔与所述容纳槽连通，以可导入参...

【专利技术属性】
技术研发人员：许峯嘉，王铮，
申请(专利权)人：新阳硅密上海半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31