The invention discloses a high impact inertial micro fluid electrical switch and its manufacturing method, including a substrate, a cover plate, a metal electrode, a micro channel, a metal liquid drop, a cover plate located on the upper end of the base, a micro channel on the substrate, and a metal electrode on the cover plate, and a micro channel including a U reservoir, a capillary valve and a gas guide channel; The droplets are located in the U reservoir; the first capillary valve is connected to the U reservoir; the second capillary valve is connected to the first capillary valve, the other end is connected with the third wool fine valve; the third wool fine valve is connected with the second capillary valve, the other end is connected with the fourth capillary valve; the fourth capillary valve is connected with the third wool fine valve; and the fifth capillary valve and the sixth capillary valve are connected. The valve is connected; the other end of the sixth capillary valve is connected with the seventh capillary valve; the seventh capillary valve is connected with the sixth capillary valve, the other end is connected with the eighth capillary valve; the eighth capillary valve is connected to the seventh capillary valve, the other end is connected with the U type reservoir; the fourth capillary valve is connected with the fifth capillary valve through the air channel; the switch can be identified and cited. Believe in environmental force. One
【技术实现步骤摘要】
一种高冲击惯性微流体接电开关及其制造方法
本专利技术属于微流控芯片
,特别是一种高冲击惯性微流体接电开关及其制造方法。
技术介绍
微流体惯性接电开关,是在微机械惯性开关与微流控技术的基础下提出的一种新型的开关。微流体惯性接电开关是一种操纵微小体积的流体在微小通道或构件中流通的系统,其中通道和构件的尺寸为几十到几百微米。与传统的微机械开关不同在于,微流体惯性接电开关一般采用金属液滴作为工作流体,其工作原理为金属液滴受到一定的加速度载荷时,会通过微通道到达固定信号电极的位置,进而导通开关。这种工作模式能克服传统微机械在触点处接触电阻大、触点容易氧化、接触不稳定等问题,同时增大了开关触点的有效接触面积。2011年,浦项科技大学的YooK在DevelopmentandcharacterizationofanovelconfigurableMEMSinertialswitchusingamicroscaleliquid-metaldropletinamicrostructuredchannel的论文中设计了一种微流体惯性接电开关。该开关受到大于阈值的加速度时,能突破毛细阀,导通电极。当受到小于阈值的加速度时,不能突破毛细阀,不导通电极。但是其开关的阈值很小,受到较大的加速度作用时容易发生液滴分离,且只能区分加速度的幅值大小,不能区分加速度的脉宽。引信中常用微机械惯性开关在响应后坐加速度载荷,进而使引信上电。但引信在意外跌落的情况下,开关可能会闭合,不利于引信的安全性。
技术实现思路
本专利技术所解决的技术问题在于提供一种高冲击惯性微流体接电开关及其制造方法,以解决 ...
【技术保护点】
1.一种高冲击惯性微流体接电开关,其特征在于,包括基底(1)、盖板(2)、两个金属电
【技术特征摘要】
1.一种高冲击惯性微流体接电开关,其特征在于,包括基底(1)、盖板(2)、两个金属电极(3)、微通道(5)、金属液滴;所述盖板(2)位于基底(1)上端,两者之间密封;所述基底(1)上设有微通道(5),所述金属电极(3)设置在盖板(2)上;所述微通道(5)包括U型储液池(6)、第一毛细阀(7)、第二毛细阀(8)、第三毛细阀(9)、第四毛细阀(10)、导气通道(11)、第五毛细阀(12)、第六毛细阀(13)、第七毛细阀(14)、第八毛细阀(15);所述金属液滴位于U型储液池(6)内;所述第一毛细阀(7)为收缩型毛细阀,其与U型储液池(6)一端相连;所述第二毛细阀(8)为扩张型毛细阀,其一端与第一毛细阀(7)相连,另一端与第三毛细阀(9)相连;所述第三毛细阀(9)为收缩型毛细阀,其一端与第二毛细阀(8)相连,另一端与第四毛细阀(10)相连;所述第四毛细阀(10)为直线型毛细阀,其一端与第三毛细阀(9)相连;所述第五毛细阀(12)为直线型毛细阀,其一端与第六毛细阀(13)相连;所述第六毛细阀(13)为收缩型毛细阀,其一端与第五毛细阀(12)相连,另一端与第七毛细阀(14)相连;所述第七毛细阀(14)为扩张型毛细阀,其一端与第六毛细阀(13)相连,另一端与第八毛细阀(15)相连;所述第八毛细阀(15)为收缩型毛细阀,其一端与第七毛细阀(14)相连,另一端与U型储液池(6)相连;所述第四毛细阀(10)与第五毛细阀(12)之间通过导气通道(11)相连;所述U型储液池(6)与第八毛细阀(15)相连端到U型储液池(6)底部的高度要大于U型储液池(6)与第一毛细阀(7)相连端到U型储液池(6)底部的高度;其中一个金属电极(3)的一端触点位于第三毛细阀(9)内,且靠近第四毛细阀(10),...
【专利技术属性】
技术研发人员:聂伟荣,李嘉杰,黄刘,刘国伟,
申请(专利权)人:南京理工大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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