冷氢化硅粉放空系统技术方案

技术编号:18136946 阅读:124 留言:0更新日期:2018-06-06 10:51
本实用新型专利技术公开了一种冷氢化硅粉放空系统,包括硅粉储罐、放空过滤器和缓冲罐,所述硅粉储罐的出口与缓冲罐的入口连通,所述缓冲罐的出口与放空过滤器的入口连通,所述缓冲罐上设置压力传感器,所述缓冲罐的入口处设置第一电磁阀,所述缓冲罐的出口处设置第二电磁阀,所述压力传感器采集的信号传输至控制器后,控制器根据接收的信号控制第一电磁阀和第二电磁阀的开闭。以实现减少对陶瓷滤芯损坏,降低更换成本,确保清洁生产的优点。

Cold hydrogenated silica powder release system

The utility model discloses a cold hydrogenated silicon powder emptying system, including a silicon powder storage tank, a free filter and a buffer tank. The outlet of the silicon powder storage tank is connected with the entrance of a buffer tank, the outlet of the buffer tank is connected with the entrance of a free filter, the pressure sensor is arranged on the buffer tank, and the entrance of the buffer tank is at the entrance. The first solenoid valve is set up, and the exit of the buffer tank is provided with a second solenoid valve. The signal collected by the pressure sensor is transmitted to the controller, and the controller controls the opening and closing of the first solenoid valve and the second solenoid valve according to the received signal. In order to reduce the damage to ceramic filter elements, reduce the replacement cost, and ensure the advantages of cleaner production.

【技术实现步骤摘要】
冷氢化硅粉放空系统
本技术涉及多晶硅生产领域,具体地,涉及一种冷氢化硅粉放空系统。
技术介绍
目前,在多晶硅生产中大多企业都采用改良西门子法,即一个闭路循环系统,所以必须有一个冷氢化系统消耗四氯化硅生产三氯氢硅,冷氢化生产过程控制压力在2.5mpa以上,必须消耗的原料其中之一就有硅粉,而硅粉加入流化床中需要高压氢气推动硅粉进入硫化床,添加完硅粉后硅粉储罐中的高压氢气需要放空,而氢气中会带有硅粉需要放空过滤器进行过滤,而高压氢气对放空过滤器的陶瓷滤芯有很大的冲击力损坏滤芯。现有技术如图1所示,硅粉放到硅粉储罐中,打开输送氢气的阀门,保证管道畅通,打开氢气冲压阀门冲压达到预定压力,打开下料阀门给流化床补充硅粉,补充完硅粉后关闭所有阀门,打开硅粉放空阀门进行放空,而氢气中会带有硅粉需要过滤器进行过滤进行排放。而高压氢气放空由于压差太大造成流速过快,对放空过滤器中的陶瓷滤芯有很大的冲击力损坏滤芯,如果滤芯坏会造成粉尘污染。
技术实现思路
本技术的目的在于,针对上述问题,提出一种冷氢化硅粉放空系统,以实现减少对陶瓷滤芯损坏,降低更换成本,确保清洁生产的优点。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种冷氢化硅粉放空系统,包括硅粉储罐、放空过滤器和缓冲罐,所述硅粉储罐的出口与缓冲罐的入口连通,所述缓冲罐的出口与放空过滤器的入口连通,所述缓冲罐上设置压力传感器,所述缓冲罐的入口处设置第一电磁阀,所述缓冲罐的出口处设置第二电磁阀,所述压力传感器采集的信号传输至控制器后,控制器根据接收的信号控制第一电磁阀和第二电磁阀的开闭。进一步地,所述缓冲罐的横截面为6.2m2。进一步地,当压力传感器测量的缓冲罐内的压力达到0.3mpa时,控制器控制第二电磁阀开启。本技术的技术方案具有以下有益效果:本技术的技术方案通过在硅粉储罐和放空过滤器添加缓冲罐,以减小氢气放空压差降低氢气流速,从而达到减少对陶瓷滤芯损坏,降低更换成本,确保清洁生产的目的。附图说明图1为现有技术的冷氢化硅粉放空系统的结构示意图;图2为本技术实施例所述的冷氢化硅粉放空系统的结构示意图。结合附图,本技术实施例中附图标记如下:1-硅粉储罐;2-放空过滤器;3-缓冲罐。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术,并不用于限定本技术。如图2所示,一种冷氢化硅粉放空系统,包括硅粉储罐、放空过滤器和缓冲罐,硅粉储罐的出口与缓冲罐的入口连通,缓冲罐的出口与放空过滤器的入口连通,缓冲罐上设置压力传感器,缓冲罐的入口处设置第一电磁阀,缓冲罐的出口处设置第二电磁阀,压力传感器采集的信号传输至控制器后,控制器根据接收的信号控制第一电磁阀和第二电磁阀的开闭。其中,缓冲罐的横截面为6.2m2。当压力传感器测量的缓冲罐内的压力达到0.3mpa时,控制器控制第二电磁阀开启。即当压力传感器测量的压力达到0.3mpa时,控制器控制第一电磁阀闭合,然后控制第二电磁阀打开,从而将缓冲罐内的气体放入到放空过滤器中,而当气体放空后,控制器控制第二电磁阀闭合,然后控制第一电磁阀打开,继续为缓冲罐充气。最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
冷氢化硅粉放空系统

【技术保护点】
一种冷氢化硅粉放空系统,其特征在于,包括硅粉储罐、放空过滤器和缓冲罐,所述硅粉储罐的出口与缓冲罐的入口连通,所述缓冲罐的出口与放空过滤器的入口连通,所述缓冲罐上设置压力传感器,所述缓冲罐的入口处设置第一电磁阀,所述缓冲罐的出口处设置第二电磁阀,所述压力传感器采集的信号传输至控制器后,控制器根据接收的信号控制第一电磁阀和第二电磁阀的开闭。

【技术特征摘要】
1.一种冷氢化硅粉放空系统,其特征在于,包括硅粉储罐、放空过滤器和缓冲罐,所述硅粉储罐的出口与缓冲罐的入口连通,所述缓冲罐的出口与放空过滤器的入口连通,所述缓冲罐上设置压力传感器,所述缓冲罐的入口处设置第一电磁阀,所述缓冲罐的出口处设置第二电磁阀,所述压力传感器采集的信号传输至控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员:方仕林方红承隋宝勋鲁瑞尧张金宝蒋前舟
申请(专利权)人:新疆合晶能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:新疆,65

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