The invention relates to the field of steam plating, and discloses a steam plating counterposition detection device, including a clean chamber in a simulated vacuum evaporation environment and a counterposition device and a counterpart effect detection device in the clean chamber. The counterposition detection device is set under the mask plate, and the counterposition detection device includes a detection camera. The machine, the camera fixed part, the moving guide axis of the camera fixed part, and the moving guide rail of the fixed part of the camera are detected. The guide rail is fixed in the clean chamber. Adopting this technology scheme can improve the evaporation and plating yield, reduce waste and save production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀对位效果检测装置及方法
本专利技术涉及蒸镀领域,特别涉及一种蒸镀对位效果检测装置及方法。
技术介绍
近年来,有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode,OLED)显示器已经成为国内外非常热门的新兴平板显示器产品,OLED显示器具有自发光、广视角、反应速度快、广色域、低工作电压、面板薄、易于做成柔性面板、工作温度范围广等优势。OLED器件的制备通常采用的真空蒸镀法,将蒸镀材料在真空中加热、蒸发,使蒸发出来的原子或原子基团在温度较低的衬底基板上冷却析出并形成薄膜。蒸镀工艺的稳定性对成膜质量的好坏有很大影响的。为了实现彩色化显示,在蒸镀工艺中要分别蒸镀红、绿、蓝三基色对应的材料,常用的方法为掩膜法,即在衬底基板的前面覆盖一层很薄的金属掩膜板,只在金属掩膜板的开口位置蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料。而用来蒸镀红、绿、蓝三基色对应的有机材料的位置(也即像素电极的位置)已经被精确的定义,所以在蒸镀工艺中金属掩膜板的开口要和像素电极位置对应,不允许有超出误差范围之内的偏移,否则将会出现两种发光材料重合在一起或者发光材料没有正确的沉积在对应的阳极图案上的情况,发生混色或者色偏。蒸镀对位过程通过机械手传送到蒸镀腔室内的衬底基板放在衬底基板支撑平台上。平台下降将衬底基板完全放到金属掩膜板上,然后由对位系统中的CCD摄像机抓取衬底基板的对位标将得到的对位数据与金属掩膜板对位标数据进行套合。如对位标不重合则提升衬底基板支撑平台将衬底基板提起,对位系统控制衬底基板支撑平台将对位数据偏离值进行补偿,然后再次下降进行对位,直至对位标完全重合。有机材料 ...
【技术保护点】
一种蒸镀对位效果检测装置,其特征在于,包括模拟真空蒸镀环境的洁净腔室及位于所述洁净腔室内的对位装置和对位效果检测装置,所述对位效果检测装置设置在掩膜板下方,所述对位效果检测装置包括检测摄像机、检测摄像机固定件、检测摄像机固定件移动导向轴、检测摄像机固定件导向轴移动导轨,所述导轨固定在所述洁净腔室中。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀对位效果检测装置,其特征在于,包括模拟真空蒸镀环境的洁净腔室及位于所述洁净腔室内的对位装置和对位效果检测装置,所述对位效果检测装置设置在掩膜板下方,所述对位效果检测装置包括检测摄像机、检测摄像机固定件、检测摄像机固定件移动导向轴、检测摄像机固定件导向轴移动导轨,所述导轨固定在所述洁净腔室中。2.如权利要求1所述的一种蒸镀对位效果检测装置,其特征在于,所述检测摄像机固定件导向轴在伺服电机驱动下沿所述导轨前后方向移动。3.如权利要求2所述的一种蒸镀对位效果检测装置,其特征在于,所述检测摄像机固定件在伺服电机驱动下沿所述导向轴水平方向移动。4.如权利要求3所述的一种蒸镀对位效果检测装置,其特征在于,所述检测摄像机在伺服电机驱动下沿所述检测摄像机固定件上下移动。5.如权利要求1-4中任一所述的一种蒸镀对位效果检测装置,其特征在于,所述导轨为齿轮导轨。6.一种蒸镀对位效果检测方法,其特征在于,包括:采用对位装置将掩膜板与衬底基板对位;采用能够在三维空间移动的对位效果检测装置对对位完成的所述掩膜板与所述衬底基板进行图案识别,将...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈聪,周扬川,吴俊雄,柯贤军,苏君海,李建华,
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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