【技术实现步骤摘要】
一种制冷CCD真空杜瓦密封装置
本专利技术属于光电探测领域,具体涉及一种制冷CCD真空杜瓦密封装置。
技术介绍
科学级CCD(chargecoupleddevice)在天文观测、科学研究、工业生产等领域有着广泛的应用。热生暗电流是影响CCD信噪比的一个关键因素并且是与CCD工作温度有关的,CCD工作温度每降低7~8度,其热生暗电流大约降低一个数量级,因此,必须对CCD进行深度制冷。受半导体制冷器的性能所限制,要想实现深度制冷,CCD漏热量必需要严格控制到可忽略的程度,因此,必须对制冷CCD进行真空封装以彻底消除杜瓦内气体的传导漏热。国内外对CCD真空杜瓦普遍采用的结构形式是在杜瓦上焊接一根铜管,通过铜管抽真空后用夹封钳将铜管夹封进行密封,铜管的伸出导致杜瓦结构不利于相机的整体设计,且夹封处存在泄露,同时,由于吸气剂不适于长时间暴露于大气中,此种结构也给吸气剂的安装造成一定的困难。为解决这个问题,本专利提出将杜瓦上壳和杜瓦底座放置在一个真空腔体中,通过螺杆直接拧紧螺栓,用银丝进行最后一步的密封。
技术实现思路
本专利技术要解决技术问题为:针对目前制冷CCD真空杜瓦结构复杂且不易于维修的缺点,提供一种制冷CCD真空杜瓦密封的装置,具有结构简单、漏率小且可拆卸的优点,适用于CCD相机制冷系统。本专利技术采用的技术方案如下:一种制冷CCD真空杜瓦密封装置,包括:杜瓦底座1、底座2、动密封橡胶圈3、上盖4、螺杆5、螺钉6、橡胶圈7、弹簧8、杜瓦上盖9、银丝密封圈10。杜瓦底座1、银丝密封圈10和杜瓦上盖9放置于底座2中,底座2将杜瓦底座1和杜瓦上盖9水平方向固定;用弹簧 ...
【技术保护点】
一种制冷CCD真空杜瓦密封装置,其特征在于:杜瓦底座(1)、底座(2)、动密封橡胶圈(3)、上盖(4)、螺杆(5)、螺栓(6)、橡胶圈(7)、弹簧(8)、杜瓦上盖(9)和银丝密封圈(10),杜瓦底座(1)、银丝密封圈(10)和杜瓦上盖(9)放置于底座(2)中,底座(2)将杜瓦底座(1)和杜瓦上盖(9)水平方向固定;用弹簧(8)将杜瓦上盖(9)顶起一定的距离,使杜瓦内部与外部连通以进行排气;然后用橡胶圈(7)将上盖(4)和底座(2)密封起来;在真空泵接口(401)连接真空泵将腔体内抽真空,通过真空计接口(402)处连接的真空计监测装置内的压强;当腔内压强达到0.001Pa以下后排气一段时间,最后用力矩扳手通过螺杆(5)将杜瓦上的螺栓拧紧,对杜瓦进行密封,银丝密封圈(10)可保证杜瓦的漏率相较于杜瓦内部器件的放气量忽略不计,从而在杜瓦内吸气剂的作用下保证杜瓦内部的高真空度。
【技术特征摘要】
1.一种制冷CCD真空杜瓦密封装置,其特征在于:杜瓦底座(1)、底座(2)、动密封橡胶圈(3)、上盖(4)、螺杆(5)、螺栓(6)、橡胶圈(7)、弹簧(8)、杜瓦上盖(9)和银丝密封圈(10),杜瓦底座(1)、银丝密封圈(10)和杜瓦上盖(9)放置于底座(2)中,底座(2)将杜瓦底座(1)和杜瓦上盖(9)水平方向固定;用弹簧(8)将杜瓦上盖(9)顶起一定的距离,使杜瓦内部与外部连通以进行排气;然后用橡胶圈(7)将上盖(4)和底座(2)密封起来;在真空...
【专利技术属性】
技术研发人员:聂山钧,王明富,高晓东,廖靖宇,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:四川,51
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