【技术实现步骤摘要】
一种基于高低温冲击系统的智能气罩
本专利技术涉及高低温冲击系统测试气罩自动控制装置,且特别涉及一种基于高低温冲击系统的智能气罩。
技术介绍
目前半导体业界使用的高低温冲击系统采用高低温气流直接冲击测试样品,这样造成测试样品各部分温度分布不均匀,导致各部分受力不均匀,影响测试样品良率和测试数据的准确性。一些测试工程师给单孔喷头加装多孔喷头减少气流对测试样品直接冲击的影响。但并没有多大改善,测试样品各部分存在温度差,无法模拟测试样品工作环境。目前高低温测试系统的气罩与测试板接触的密封性要通过测试工程师的反复的调节,费时费力。当遇到大规模样品测试时无法保证接触密封型,因密封不完善性导致高低温气流外泄引起噪声,高温气流(一百二十五度)烫伤测试员工。低温气流(零下四十度)液化产生水珠流入下方机台引起线路短路和漏电,进而危害测试员工和机台安全。
技术实现思路
本专利技术提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩,解决以下问题:(1)因高低温气流直接冲击测试样品,引发样品测试数据的不准确性。(2)减少因高温气流外泄引发的烫伤,低温气体液化引发的机台漏电和短路事故。(3)因高低温气流外泄,引发的测试噪声。为了达到上述目的,本专利技术提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。进一步的,所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。进一步的,所述气体流量传感器 ...
【技术保护点】
一种基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。
【技术特征摘要】
1.一种基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。2.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。3.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量为多个,均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环上。4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭伟,曹巍,陈雷刚,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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