一种基于高低温冲击系统的智能气罩技术方案

技术编号:18049232 阅读:40 留言:0更新日期:2018-05-26 07:35
本发明专利技术提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。本发明专利技术提出的基于高低温冲击系统的智能气罩,能够减少高低温气流直接冲击测试样品,提高测试数据准确性,减少高低温气流外泄,降低测试噪声,减少因高低温气流外泄引发二次伤害,提高测试安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于高低温冲击系统的智能气罩
本专利技术涉及高低温冲击系统测试气罩自动控制装置,且特别涉及一种基于高低温冲击系统的智能气罩。
技术介绍
目前半导体业界使用的高低温冲击系统采用高低温气流直接冲击测试样品,这样造成测试样品各部分温度分布不均匀,导致各部分受力不均匀,影响测试样品良率和测试数据的准确性。一些测试工程师给单孔喷头加装多孔喷头减少气流对测试样品直接冲击的影响。但并没有多大改善,测试样品各部分存在温度差,无法模拟测试样品工作环境。目前高低温测试系统的气罩与测试板接触的密封性要通过测试工程师的反复的调节,费时费力。当遇到大规模样品测试时无法保证接触密封型,因密封不完善性导致高低温气流外泄引起噪声,高温气流(一百二十五度)烫伤测试员工。低温气流(零下四十度)液化产生水珠流入下方机台引起线路短路和漏电,进而危害测试员工和机台安全。
技术实现思路
本专利技术提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩,解决以下问题:(1)因高低温气流直接冲击测试样品,引发样品测试数据的不准确性。(2)减少因高温气流外泄引发的烫伤,低温气体液化引发的机台漏电和短路事故。(3)因高低温气流外泄,引发的测试噪声。为了达到上述目的,本专利技术提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。进一步的,所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。进一步的,所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量为多个,均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环上。进一步的,所述气体流量传感器和水平驱动机构一一对应,每个气体流量传感器和对应的水平驱动机构形成一组机构,设置于所述耐高低温密封环上。进一步的,所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量分别为6个,形成6组机构均匀对称地设置于所述耐高低温密封环上。进一步的,当所述气体流量传感器检测到异常气流存在时,根据传感器输出信号,相对应位置的水平驱动机构工作推动气罩边缘的所述耐高低温密封环,增加气罩的密封性。本专利技术提出的基于高低温冲击系统的智能气罩,能够减少高低温气流直接冲击测试样品,提高测试数据准确性,减少高低温气流外泄,降低测试噪声,减少因高低温气流外泄引发二次伤害,提高测试安全性。附图说明图1所示为本专利技术较佳实施例的基于高低温冲击系统的智能气罩结构示意图。图2所示为本专利技术较佳实施例的智能气罩仰视结构示意图。具体实施方式以下结合附图给出本专利技术的具体实施方式,但本专利技术不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书,本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率,仅用于方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。请参考图1和图2,图1所示为本专利技术较佳实施例的基于高低温冲击系统的智能气罩结构示意图。图2所示为本专利技术较佳实施例的智能气罩仰视结构示意图。本专利技术提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩,包括耐高低温密封环100,气体流量传感器200,水平驱动机构300,搅拌风扇400,电机500,固定支撑座600,其中所述耐高低温密封环100设置于所述固定支撑座600底部,所述气体流量传感器200和水平驱动机构300设置于所述耐高低温密封环100上,所述搅拌风扇400通过电机500设置于智能气罩内部。根据本专利技术较佳实施例,所述搅拌风扇400将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀,使气罩内的气流不存在较大温差,避免了因高低温气流直接冲击测试样品产生的良率下降和测试数据的不准确性。所述气体流量传感器200和水平驱动机构300的数量为多个,均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环100上。所述气体流量传感器200和水平驱动机构300一一对应,每个气体流量传感器200和对应的水平驱动机构300形成一组机构,设置于所述耐高低温密封环100上。在本专利技术较佳实施例中,所述气体流量传感器200和水平驱动机构300的数量分别为6个,形成6组机构均匀对称地设置于所述耐高低温密封环100上。当所述气体流量传感器200检测到异常气流存在时,根据传感器输出信号,相对应位置的水平驱动机构300工作推动气罩边缘的所述耐高低温密封环100,增加气罩和测试板的密封性,从而减少密封罩气体外泄,进而实现减少测试噪声,节约能源和减少因高低温气流外泄引发的事故。综上所述,本专利技术提出的基于高低温冲击系统的智能气罩,在密封罩内用搅拌风扇替代传统的单管和多管喷头,由此避免高低温气流直接冲击测试样品。在密封罩上加装水平驱动机构和气体流量传感器实现密封罩与测试板充分接触,减少高低温气体外泄,降低测试噪声,减少因高低温气流外泄引发二次伤害,提高测试安全性。虽然本专利技术已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本专利技术。本专利技术所属
中具有通常知识者,在不脱离本专利技术的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰。因此,本专利技术的保护范围当视权利要求书所界定者为准。本文档来自技高网
...
一种基于高低温冲击系统的智能气罩

【技术保护点】
一种基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。

【技术特征摘要】
1.一种基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,包括耐高低温密封环,气体流量传感器,水平驱动机构,搅拌风扇,电机,固定支撑座,其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部,所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上,所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。2.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。3.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩,其特征在于,所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量为多个,均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环上。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭伟曹巍陈雷刚
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1