氯硅烷净化回收设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氯硅烷净化回收设备。其中，该设备包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在过滤单元的下游，用于处理残液。应用本实用新型专利技术的技术方案，氯硅烷净化回收设备设置有动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力，从而实现精密过滤器的良好冲洗，能够彻底解决多晶硅生产氯硅烷中固体杂质处理问题，在净化系统和环保方面效果显著。过滤单元为多个并联设置的精密过滤器，可以互为备用过滤器，保证系统的连续稳定运行。

【技术实现步骤摘要】
氯硅烷净化回收设备
本专利技术涉及多晶硅生产
，具体而言，涉及一种氯硅烷净化回收设备。
技术介绍
在多晶硅生产过程中，还原工段尾气中会含有大量的无定型硅，同时氢化工段产品中也易引入细硅粉，容易在后续的工艺设备例如提纯塔、换热器和储罐中积聚，造成设备或管道堵塞，或影响设备使用性能和产品质量。目前，大多采用提纯塔将氯硅烷中无定型硅富集在塔釜，再进行集中处理，主要采用干法焚烧和湿法水解处理，前者需要辅助燃烧，产物中含有二氧化硅和废气，容易堵塞管路和造成环境污染，湿法水解需要消耗石灰和水，且二者都增加了多晶硅系统的硅消耗。在专利CN205495086U中提出了一种氯硅烷过滤器，设置多个并联过滤器，设置反冲洗口和底部排渣口，渣液直接进入污水罐水解，沉淀后排出，一方面沉淀时间长，另一方面渣料量大时水解设备容量跟不上，影响设备运行。另外，设置滤芯蒸汽加热，其中的水存在于滤芯中残留氯硅烷反应，堵塞滤芯孔隙，运行时压差增大。专利204735022U提出了一种氯硅烷废液净化回收装置，过滤器底部设置固体渣出口，但是当滤芯为金属或陶瓷时，对空排渣时空气中水分会进入设备内部与滤芯中残留氯硅烷反应，造成滤芯堵塞，影响后续使用。另外，上述两种氯硅烷过滤后浆料处理也不彻底，没有完全解决过滤残液处理问题。
技术实现思路
本技术旨在提供一种氯硅烷净化回收设备，以解决现有技术中多晶硅生产氯硅烷中固体杂质处理困难的技术问题。为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种氯硅烷净化回收设备。该设备包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在过滤单元的下游，用于处理残液。进一步地，动力单元包括氮气缓冲罐及配套的程控阀。进一步地，精密过滤器设置有：物料入口，位于精密过滤器的滤芯末端位置以下；过滤器花盘，位于精密过滤器的滤芯顶部；过滤液出口以及氮气反冲洗口，设置在过滤器花盘位置以上；排液口，设置在精密过滤器的底部正下方；以及有氯硅烷循环管线，位于精密过滤器的滤芯末端位置以下。进一步地，精密过滤器内设置有压差计。进一步地，精密过滤器包括：精密过滤器壳体和设置在精密过滤器壳体内部的花盘和滤芯，滤芯安装在花盘上。进一步地，滤芯为多根，滤芯为金属滤芯、陶瓷滤芯或聚四氟乙烯滤芯。进一步地，残液处理单元为一台或多台残液过滤器。进一步地，残液过滤器包括残液过滤器壳体和设置在残液过滤器壳体内部的滤布、滤布安装骨架和夹套，残液过滤器设置有物料入口，顶部设置有过滤液出口，底部设置有排渣口、氮气压料口、尾气管口和夹套热原进出口。应用本技术的技术方案，氯硅烷净化回收设备设置有动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力，从而实现精密过滤器的良好冲洗，能够彻底解决多晶硅生产氯硅烷中固体杂质处理问题，在净化系统和环保方面效果显著。过滤单元为多个并联设置的精密过滤器，可以互为备用过滤器，保证系统的连续稳定运行。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本技术实施例1的氯硅烷净化回收设备的结构示意图。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。针对现有技术存在的多晶硅生产氯硅烷中固体杂质处理困难的技术问题，本技术提出了下列技术方案。根据本技术一种典型的实施方式，提供一种氯硅烷净化回收设备。该氯硅烷净化回收设备包括：动力单元、过滤单元以及残液处理单元，其中，动力单元提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；过滤单元包括由一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在过滤单元的下游，用于处理残液。氯硅烷净化回收设备设置有动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力，从而实现精密过滤器的良好冲洗，能够彻底解决多晶硅生产氯硅烷中固体杂质处理问题，在净化系统和环保方面效果显著。过滤单元为多个并联设置的精密过滤器，可以互为备用过滤器，保证系统的连续稳定运行。根据本技术一种典型的实施方式，动力单元包括氮气缓冲罐及配套的程控阀，从而实现自动化操作，降低现场操作强度。优选的，精密过滤器设置有：物料入口，位于精密过滤器的滤芯末端位置以下；过滤器花盘，位于精密过滤器的滤芯顶部；过滤液出口以及氮气反冲洗口，设置在过滤器花盘位置以上；排液口，设置在精密过滤器的底部正下方；以及有氯硅烷循环管线，位于精密过滤器的滤芯末端位置以下。氯硅烷循环管线用于精密过滤器中液体的小循环。在反冲洗前，进行小循环冲洗先带走一部分渣浆，可以有效的避免直接从设备顶部进行反冲洗时，附着在滤芯外表面大量滤饼瞬间剥离落入过滤器锥形底部时堵塞底部管口。优选的，精密过滤器内设置有压差计，方便压差的读取。根据本技术一种典型的实施方式，精密过滤器包括：精密过滤器壳体和设置在精密过滤器壳体内部的花盘和滤芯，滤芯安装在花盘上。根据本技术一种典型的实施方式，滤芯为多根，滤芯为金属滤芯、陶瓷滤芯或聚四氟乙烯滤芯。根据本技术一种典型的实施方式，残液处理单元为一台或多台残液过滤器。优选的，残液过滤器包括残液过滤器壳体和设置在残液过滤器壳体内部的滤布、滤布安装骨架和夹套，残液过滤器设置有物料入口，顶部设置有过滤液出口，底部设置有排渣口、氮气压料口、尾气管口和夹套热原进出口。过滤器加热置换，可以极大的缩短氮气置换时间，热源可以是热水，蒸汽或导热油。本技术一种典型的实施方式，采用上述任一种氯硅烷净化回收装置实现氯硅烷净化回收。优选的，包括以下步骤：S1，将待过滤的氯硅烷原料进料到过滤单元进行过滤；S2，当过滤单元的滤芯前后压差达到预定值，进行反冲洗；S3，残液进入残液过滤器进行处理。优选的，S2中，当精密过滤器的滤芯前后压差达到0.5～3bar，进行反冲洗。优选的，过滤单元为精密过滤器，精密过滤器设置有氯硅烷循环管线，在反冲洗前，打开所述精密过滤器的氯硅烷循环管线，进行小循环，然后关闭氯硅烷循环管线，再进行所述反冲洗。在反冲洗前进行小循环冲洗先带走一部分渣浆，可以有效的避免直接从设备顶部进行反冲洗时，附着在滤芯外表面大量滤饼瞬间剥离落入过滤器锥形底部时堵塞底部管口。下面将结合实施例进一步说明本技术的有益效果。实施例1如图1所示，氯硅烷净化回收设备包括动力单元、过滤单元和残液处理单元，其中，动力单元包括一台氮气缓冲罐10及其配套的程控阀，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力，过滤单元包括多个并联的精密过滤器，例如第一精密过滤器21、第二精密过滤器22、第三精密过滤器23，过滤器设置有物料入口，顶部过滤液出口，底部排液口，下部设置有氯硅烷循环管线以及氮气反冲洗口。滤芯为金属滤芯，当然在其他实施例中也可以选用陶瓷滤芯或聚四氟乙烯滤芯。过滤器包括精密过滤器壳体和设置在精密过滤器壳体内部的花盘和滤芯，滤芯安装在花盘上。残液处理单元由一台残液过滤器30组成，残液过滤器壳体和设置在残液过滤器壳体内部的滤布、滤布安装骨架和夹套，残液过滤器设置有物料入口，顶部设置有过滤液出口，底部设置有排渣口、氮气压料口、尾气管口和夹套热原进出口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷净化回收设备，其特征在于，包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；所述过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在所述过滤单元的下游，用于处理残液。

【技术特征摘要】
1.一种氯硅烷净化回收设备，其特征在于，包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；所述过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在所述过滤单元的下游，用于处理残液。2.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述动力单元包括氮气缓冲罐及配套的程控阀。3.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述精密过滤器设置有：物料入口，位于所述精密过滤器的滤芯末端位置以下；过滤器花盘，位于所述精密过滤器的滤芯顶部；过滤液出口以及氮气反冲洗口，设置在所述过滤器花盘位置以上；排液口，设置在所述精密过滤器的底部正下方；以及氯硅烷循环管线，位于所述精密过滤器的滤芯末端位置以下。4.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵雄，刘见华，万烨，赵宇，常欣，章莉，郭树虎，王磊，严大洲，吕东，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，中国恩菲工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41