一种带有加固结构的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有加固结构的石墨舟，包括若干个平行设置且交错分布的石墨舟上连接片和石墨舟下连接片，石墨舟上连接片的两端部分别设有上电极，石墨舟下连接片的两端部分别设有下电极；位于同一侧的所有上电极之间通过第一石墨杆串接后形成上电极组件；位于同一侧的所有下电极之间通过第二石墨杆串接后形成下电极组件；还包括加固板，加固板设置于下电极组件上，并且加固板包覆下电极组件的顶面及两侧面；第二石墨杆的两端贯穿加固板的两个侧壁向外伸出，每个第二石墨杆的两端通过第二石墨螺母紧固。本实用新型专利技术具有电极固定强度好、电极受力均匀不易损坏的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种带有加固结构的石墨舟
本技术涉及一种石墨舟，具体涉及一种带有加固结构的石墨舟。
技术介绍
石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。现有技术中，申请号为201120072784.0的技术公开了一种石墨舟,包括石墨舟片、上电极以及与所述上电极对应设置的下电极，下电极两端设有支撑脚,支撑脚上部紧靠下电极的槽垫块，石墨舟片至少为15片；两个支撑脚之间的距离为与真空镀膜设备腔体匹配的预定距离；石墨舟片之间的间距为10-13mm。这种结构的石墨舟虽然能够增加载片数量，但是存在如下缺点：下电极两端通过支撑脚进行支撑，存在电极的固定强度差、电极受力不均匀的缺点，位于中间位置的电极容易损坏。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种带有加固结构的石墨舟，它具有电极固定强度好、电极受力均匀不易损坏的特点。本技术的目的采用如下技术方案实现：一种带有加固结构的石墨舟，包括若干个平行设置且交错分布的石墨舟上连接片和石墨舟下连接片，石墨舟上连接片的两端部分别设有上电极，石墨舟下连接片的两端部分别设有下电极；其特征在于，位于同一侧的所有上电极之间通过第一石墨杆串接后形成上电极组件，每相邻的两个所述上电极之间的第一石墨杆上套装有第一导电块，每个所述第一石墨杆的两端通过第一石墨螺母紧固；位于同一侧的所有下电极之间通过第二石墨杆串接后形成下电极组件，每相邻的两个所述下电极之间的第二石墨杆上套装有第二导电块；还包括加固板，所述加固板设置于所述下电极组件上，并且所述加固板包覆所述下电极组件的顶面及两侧面；所述第二石墨杆的两端贯穿所述加固板的两个侧壁向外伸出，每个所述第二石墨杆的两端通过第二石墨螺母紧固。进一步地，所述加固板的纵向截面为n字形。进一步地，每个下电极组件的下部设有支撑脚。进一步地，所有石墨舟上连接片和石墨舟下连接片之间通过第三石墨杆串接，每个所述第三石墨杆的两端通过第三石墨螺母紧固。进一步地，石墨舟上连接片和石墨舟下连接片的数量之和大于21个。进一步地，石墨舟上连接片和石墨舟下连接片的数量之和为23个，其中，石墨舟上连接片的数量为12个，石墨舟上连接片的数量为11个。相比现有技术，本技术的有益效果在于：本技术的石墨舟设有加固板，加固板设置于所述下电极组件上，并且加固板包覆所述下电极组件的顶面及两侧面；第二石墨杆的两端贯穿加固板的两个侧壁向外伸出，每个第二石墨杆的两端通过第二石墨螺母紧固。通过这样设计，能够提高下电极组件的固定强度，并且使得每个下电极的受力更加均匀不易损坏。附图说明图1为本技术的石墨舟的正视结构示意图；图2为本技术的石墨舟的侧视结构示意图。图中：10、石墨舟上连接片；11、上电极；12、第一石墨杆；13、第一导电块；14、第一石墨螺母；20、石墨舟下连接片；21、下电极；22、第二石墨杆；23、第二导电块；24、第二石墨螺母；30、加固板；40、支撑脚；51、第三石墨杆；52、第三石墨螺母。具体实施例方式下面，结合附图以及具体实施例方式，对本技术做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。除特殊说明的之外，本实施例中所采用到的材料及设备均可从市场购得。实施例1：参照图1-2，一种带有加固结构的石墨舟，包括若干个平行设置且交错分布的石墨舟上连接片10和石墨舟下连接片20，石墨舟上连接片10的两端部分别设有上电极11，石墨舟下连接片20的两端部分别设有下电极21；位于同一侧的所有上电极11之间通过第一石墨杆12串接后形成上电极组件，每相邻的两个上电极11之间的第一石墨杆12上套装有第一导电块13，每个第一石墨杆12的两端通过第一石墨螺母紧固14；位于同一侧的所有下电极21之间通过第二石墨杆22串接后形成下电极组件，每相邻的两个下电极21之间的第二石墨杆22上套装有第二导电块23；还包括加固板30，加固板30设置于下电极组件上，并且加固板30包覆下电极组件的顶面及两侧面；第二石墨杆22的两端贯穿加固板30的两个侧壁向外伸出，每个第二石墨杆22的两端通过第二石墨螺母24紧固。作为优选的实施方式，加固板30的纵向截面为n字形。作为优选的实施方式，每个下电极组件的下部设有支撑脚40。作为优选的实施方式，所有石墨舟上连接片10和石墨舟下连接片20之间通过第三石墨杆51串接，每个第三石墨杆51的两端通过第三石墨螺母52紧固。作为优选的实施方式，石墨舟上连接片10和石墨舟下连接片20的数量之和为23个，其中，石墨舟上连接片的数量为12个，石墨舟上连接片的数量为11个。实施例2：本实施例的特点是：石墨舟上连接片的数量为14个，石墨舟上连接片的数量为13个。其它与实施例1相同。其它实施例：石墨舟上连接片和石墨舟下连接片的数量之和为11个、12个、13个、15个、17个、19个、21个、25个、27个或更多个。上述实施例方式仅为本技术的优选实施例方式，不能以此来限定本技术保护的范围，本领域的技术人员在本技术的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本技术所要求保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有加固结构的石墨舟，包括若干个平行设置且交错分布的石墨舟上连接片和石墨舟下连接片，石墨舟上连接片的两端部分别设有上电极，石墨舟下连接片的两端部分别设有下电极；其特征在于，位于同一侧的所有上电极之间通过第一石墨杆串接后形成上电极组件，每相邻的两个所述上电极之间的第一石墨杆上套装有第一导电块，每个所述第一石墨杆的两端通过第一石墨螺母紧固；位于同一侧的所有下电极之间通过第二石墨杆串接后形成下电极组件，每相邻的两个所述下电极之间的第二石墨杆上套装有第二导电块；还包括加固板，所述加固板设置于所述下电极组件上，并且所述加固板包覆所述下电极组件的顶面及两侧面；所述第二石墨杆的两端贯穿所述加固板的两个侧壁向外伸出，每个所述第二石墨杆的两端通过第二石墨螺母紧固。

【技术特征摘要】
1.一种带有加固结构的石墨舟，包括若干个平行设置且交错分布的石墨舟上连接片和石墨舟下连接片，石墨舟上连接片的两端部分别设有上电极，石墨舟下连接片的两端部分别设有下电极；其特征在于，位于同一侧的所有上电极之间通过第一石墨杆串接后形成上电极组件，每相邻的两个所述上电极之间的第一石墨杆上套装有第一导电块，每个所述第一石墨杆的两端通过第一石墨螺母紧固；位于同一侧的所有下电极之间通过第二石墨杆串接后形成下电极组件，每相邻的两个所述下电极之间的第二石墨杆上套装有第二导电块；还包括加固板，所述加固板设置于所述下电极组件上，并且所述加固板包覆所述下电极组件的顶面及两侧面；所述第二石墨杆的两端贯穿所述加固板的两个侧壁向外伸出，每个所述第二石墨杆的两...

【专利技术属性】
技术研发人员：石志勇，朱雨，许华慧，
申请(专利权)人：东方日升新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33