The invention relates to a device and a method for generating turbulent flow and flow outside the pipe in a plastic pipe. When the fluid flows in the pipeline, turbulence will occur when the cross-section shape and / or area change. Using this phenomenon, the cross section shape and / or area adjustment device is set outside the pipeline to produce turbulence, and the fluid particles are mixed evenly. The fluid pipeline often needs to reduce the flow rate. At present, the current technology is to series the flow regulating valve into the pipeline. In the flow line of the semiconductor processing equipment, the valve moves to regulate the flow rate. Friction produces a lot of small particles mixed into the fluid, affecting the quality of processing, the use of special and very expensive materials to make valves, reduce the production of particles, increase the cost. The invention sets a extrusion device on the plastic pipe to reduce the cross section area of the plastic tube, which can produce the homogeneous turbulence and adjust the flow, and the device will not produce the particles mixed with the fluid outside the tube. It is simple and reliable, reduces the cost and improves the quality of the equipment.
【技术实现步骤摘要】
流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置与方法
本专利技术涉及流体管路,尤其是用塑胶管作为流体管道的管路,很多工业加工设备用到流体管路,比如半导体湿法工艺设备。
技术介绍
很多流体设备,例如半导体湿法工艺设备,晶圆的镀膜、清洗、蚀刻、去胶等等设备,需要使用气体或者液体作为工作物质,设备里面很多粗细不一的塑胶管道,流体在设备里面通过塑胶管道流通。目前,很多用流体作为工作物质的设备,需要把流体掺混均匀,比如把化学药液掺混均匀,使流体各处浓度一致,就需要泵驱动在管路中快速循环,泵的功率大,流体循环速度才能快,循环速度慢了流体均匀性达不到要求,循环速度快就使泵转速快多耗能源,泵磨损老化加快,寿命缩短,泵用几年就要换新的;很多流体循环管路需要调节流量,流量都有设计余量,从最大流量开始,把流量调小到刚好能满足使用要求,节省流体,又减少流体循环动力消耗,现有技术是在流体管路中串联流量调节阀,在半导体加工设备的流体管路中,转动流量调节阀调节流量时,零件之间会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体,影响流体纯度与设备加工质量,就用特别好非常贵的材料做阀,减少颗粒物的产生,这样的流量调节阀很贵,主要靠进口外国货,一个几千元人民币,增加了成本,管路中串联流量调节阀还增加了管接头数量,占用设备内空间增多,不利于设备结构紧凑化。
技术实现思路
本专利技术提供流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置与方法,紊流能使流体质点掺混均匀,达到浓度一致,因为紊流掺混流体效果增强了,适当降低泵的转速,降低流体循环速度,也能达到之前的效果,节能增加泵的寿命;同时本方法与装置还可以从塑胶管外部调节流体在塑胶管 ...
【技术保护点】
流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:包括挤压装置和塑胶管,挤压装置嵌套在塑胶管上,可以把塑胶管挤压变形并保持变形不能回复原状,流体在塑胶管内流通。
【技术特征摘要】
1.流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:包括挤压装置和塑胶管,挤压装置嵌套在塑胶管上,可以把塑胶管挤压变形并保持变形不能回复原状,流体在塑胶管内流通。2.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:所述的挤压装置如果用在腐蚀性环境中,挤压装置用防腐材料制造或者表面做涂塑或者其它防腐处理。3.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:所述的挤压装置是间接挤压装置,是用金属制造的套筒形状的O型紊流发生与流量调节圈,其内壁两端加工平滑的弧线型倒角,可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角;或者是用金属制造的手镯形状的O型紊流发生与流量调节圈,其表面做的光滑无棱角。4.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:所述的挤压装置是间接挤压装置,是用金属制造的C型紊流发生与流量调节圈,就是在上述O型紊流发生与流量调节圈上开一个缺口;套筒形状的C型紊流发生与流量调节圈其内壁两端与缺口边沿加工平滑的弧线型倒角,可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角;手镯形状的C型紊流发生与流量调节圈其缺口端面加工平滑的弧线型倒角,可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角。5.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:所述的挤压装置是直接挤压装置,包括两套螺栓螺母或者两个螺钉,两个长条形夹板,夹板两端打通孔或者螺孔,夹板的楞做成平滑的弧线型倒角,可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角;两套螺栓螺母或者两个螺钉串起正对着的两个夹板的孔拧在一起。6.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:所述的挤压装置是直接挤压装置,包括一套螺栓螺母或者一个螺钉,两个长条形夹板,夹板的楞做成平滑的弧线型倒角,可以是圆倒角或者是其它平滑的弧线型倒角;两个夹板之间一端铰接在一起,另一端打通孔或者螺孔,螺栓螺母或者螺钉通过正对着的两个夹板的孔串起来拧在一起。7.根据权利要求1所述的流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置,其特征是:所述的挤压装置是直接挤压装置,包括一套螺栓螺母或者一个螺钉,一个长条形夹板;夹板两端打通孔或者螺孔,夹板的楞做成平滑的弧线型倒角,可...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘现营,
申请(专利权)人:新阳硅密上海半导体技术有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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