The invention provides an elastic wave device with a sound reflecting layer, which can reduce the possibility of deterioration of characteristics. The elastic wave device (1) is provided with a supporting substrate (2); a sound multilayer film (3) set on the supporting substrate (2); a piezoelectric substrate (4) set on the sound multilayer film (3); and a IDT electrode (5) set on the piezoelectric substrate (4); the sound multilayer film (3) has at least 4 layers of acoustic impedance layer, and at least the 4 layer acoustic impedance layer contains at least one layer of low sound resistance. The anti layer (3a, 3C, 3e, 3G) and at least one layer of high acoustic impedance layer (3b, 3D, 3f) higher than the low acoustic impedance layer (3a, 3C, 3e, 3G), and also has a bonding layer (9), which is set up in the fourth layer of acoustic impedance layer (3D) from the piezoelectric substrate (4) side toward the supporting substrate (2) side until the sound multilayer (3) and the supporting substrate (2). Any position at the interface.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及用于谐振器、带通滤波器等的弹性波装置。
技术介绍
以往,作为谐振器、带通滤波器,广泛使用弹性波装置。在这样的弹性波装置中,利用了瑞利波、SH波等各种各样的弹性波。在下述的专利文献1公开了利用了板波的弹性波装置。在专利文献1的弹性波装置中,在支承基板上依次层叠有声音反射层、压电体层以及IDT电极。上述声音反射层包含低声阻抗层和声阻抗比该低声阻抗层高的高声阻抗层。在下述的专利文献2公开了在支承基板上依次层叠了高声速膜、低声速膜以及压电膜的弹性波装置。在该弹性波装置中,设为能够提高Q值。在先技术文献专利文献专利文献1:WO2012/086441Al
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1记载了通过对预先设置了声音反射层的支承基板和压电体进行接合,从而制造弹性波装置的方法。然而,根据设置了声音反射层的支承基板与压电体的接合位置,存在产生特性的劣化的情况。因此,本专利技术的目的在于,在具备声音反射层的弹性波装置中,降低特性劣化的可能性。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置具备:支承基板;声音多层膜,设置在所述支承基板上;压电基板,设置在所述声音多层膜上;以及IDT电极,设置在所述压电基板上,所述声音多层膜具有至少4层声阻抗层,所述至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层和声阻抗比该低声阻抗层高的至少一层高声阻抗层,所述弹性波装置还具备接合层,所述接合层设置在从由所述压电基板侧朝向所述支承基板侧的第四层所述声阻抗层中起直到所述声音多层膜与所述支承基板的界面为止的任一位置。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的局面中,所述接合层 ...
【技术保护点】
一种弹性波装置,具备:支承基板;声音多层膜,设置在所述支承基板上;压电基板,设置在所述声音多层膜上;以及IDT电极,设置在所述压电基板上,所述声音多层膜具有至少4层声阻抗层,所述至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层和声阻抗比该低声阻抗层高的至少一层高声阻抗层,所述弹性波装置还具备接合层,所述接合层设置在从由所述压电基板侧朝向所述支承基板侧的第四层所述声阻抗层中起直到所述声音多层膜与所述支承基板的界面为止的任一位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.23 JP 2015-2088011.一种弹性波装置,具备:支承基板;声音多层膜,设置在所述支承基板上;压电基板,设置在所述声音多层膜上;以及IDT电极,设置在所述压电基板上,所述声音多层膜具有至少4层声阻抗层,所述至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层和声阻抗比该低声阻抗层高的至少一层高声阻抗层,所述弹性波装置还具备接合层,所述接合层设置在从由所述压电基板侧朝向所述支承基板侧的第四层所述声阻抗层中起直到所述声音多层膜与所述支承基板的界面为止的任一位置。2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,所述接合层设置在所述第四层声阻抗层中。3.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,所述声音多层膜具有至少5层所述声阻抗层,所述接...
【专利技术属性】
技术研发人员:岸本谕卓,大村正志,木村哲也,
申请(专利权)人:株式会社村田制作所,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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