The invention discloses a preparation device and a preparation method of a micron grade quartz film, including a pressure device, a quartz tube, a top heating device, a motion control device, a light coupling device, a light source device and a spectral collection device. The pressure device is pressurized at the first end of the quartz tube, and the top is heated and installed to the second end of the quartz tube to form a package. A quartz tube containing a spherical film structure, the motion control device controls the alignment of the side end of a spherical thin film structure with the first end of the optical coupling device, forming a Fabri refractive Perot interferometer. The light source emitted by the light source device is introduced into the Fabri refractive Perot interferometer to form a spectrum, and transmitted to the spectral collection device and the spectral collection. The thickness of the side end film is determined and the side end film of the thickness is determined to be micrometer quartz film. The micrometer quartz film prepared by the above method is evenly leveled. Because of no grinding, simple operation, no inflammable, explosive or toxic gas, no environmental pollution prevention measures are needed. Ben.
【技术实现步骤摘要】
一种微米级石英薄膜制备装置及其制备方法
本专利技术属于光纤传感
,尤其涉及一种微米级石英薄膜制备装置及其制备方法。
技术介绍
石英薄膜多用于光纤器件,现有的石英薄膜的制备方法是利用端面研磨或气相沉积的方法制备超薄的石英薄膜,端面研磨方法需要使用研磨机对制备材料进行研磨,一旦研磨的某一部位不符合要求,就需要重新研磨,操作繁琐;气相沉积方法需要进行化学反应,化学反应得到的石英薄膜可能存在不平整的现象,且化学反应后的余气易燃、易爆或有毒,因此还需要采取防止环境污染的措施,操作复杂且成本较高。因此,现有的石英薄膜的制备方法存在着一旦研磨的某一部位不符合要求,就需要重新研磨,操作繁琐,化学反应得到的石英薄膜可能存在不平整的现象,且化学反应后的余气易燃、易爆或有毒,需要采取防止环境污染的措施,操作复杂且成本较高的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提出一种微米级石英薄膜制备装置及其制备方法,旨在解决现有的石英薄膜的制备方法存在的一旦研磨的某一部位不符合要求,就需要重新研磨,操作繁琐,化学反应得到的石英薄膜可能存在不平整的现象,且化学反应后的余气易燃、易爆或有毒,需要采取防止环境污染的措施,操作复杂且成本较高的技术问题。为实现上述目的,本专利技术第一方面提供一种微米级石英薄膜制备装置,所述制备装置包括:压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置;所述压力装置与所述石英管的第一端相连接,所述石英管的第二端置于所述顶端加热装置内,所述顶端加热装置用于向所述石英管的第二端进行加热处理,使所述石英管的第二端受热熔融封闭,所述 ...
【技术保护点】
一种微米级石英薄膜制备装置,其特征在于,所述制备装置包括:压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置;所述压力装置与所述石英管的第一端相连接,所述石英管的第二端置于所述顶端加热装置内,所述顶端加热装置用于向所述石英管的第二端进行加热处理,使所述石英管的第二端受热熔融封闭,所述压力装置向第二端受热熔融封闭的石英管的第一端进行加压处理,同时所述顶端加热装置向石英管的受热熔融封闭的一端进行加热处理,形成包含球形薄膜结构的石英管;所述运动控制装置的第一端与包含球形薄膜结构的石英管的侧端夹持连接,所述运动控制装置的第二端与所述光耦合装置的第一端夹持连接,所述运动控制装置用于控制包含球形薄膜结构的石英管的侧端与所述光耦合装置的第一端水平对齐,以形成法布里‑珀罗干涉仪,其中,所述侧端为球形薄膜结构的顶端,所述法布里‑珀罗干涉仪包括所述侧端、所述光耦合装置的第一端、及之间的立体空间;所述光耦合装置的第二端与所述光源装置相连接,所述光耦合装置的第三端与所述光谱采集装置相连接,所述光源装置向所述光耦合装置发射光源,所述光源经过所述光耦合装置的第二端导入所述法布里‑珀罗 ...
【技术特征摘要】
1.一种微米级石英薄膜制备装置,其特征在于,所述制备装置包括:压力装置、石英管、顶端加热装置、运动控制装置、光耦合装置、光源装置及光谱采集装置;所述压力装置与所述石英管的第一端相连接,所述石英管的第二端置于所述顶端加热装置内,所述顶端加热装置用于向所述石英管的第二端进行加热处理,使所述石英管的第二端受热熔融封闭,所述压力装置向第二端受热熔融封闭的石英管的第一端进行加压处理,同时所述顶端加热装置向石英管的受热熔融封闭的一端进行加热处理,形成包含球形薄膜结构的石英管;所述运动控制装置的第一端与包含球形薄膜结构的石英管的侧端夹持连接,所述运动控制装置的第二端与所述光耦合装置的第一端夹持连接,所述运动控制装置用于控制包含球形薄膜结构的石英管的侧端与所述光耦合装置的第一端水平对齐,以形成法布里-珀罗干涉仪,其中,所述侧端为球形薄膜结构的顶端,所述法布里-珀罗干涉仪包括所述侧端、所述光耦合装置的第一端、及之间的立体空间;所述光耦合装置的第二端与所述光源装置相连接,所述光耦合装置的第三端与所述光谱采集装置相连接,所述光源装置向所述光耦合装置发射光源,所述光源经过所述光耦合装置的第二端导入所述法布里-珀罗干涉仪内,在被所述侧端的薄膜反射后,形成光谱,所述光谱返回所述光耦合装置内,并经过所述光耦合装置的第三端传送至所述光谱采集装置,所述光谱采集装置对所述光谱进行分析处理,确定所述侧端的薄膜的厚度,将满足预设厚度条件的侧端的薄膜确定为所述微米级石英薄膜。2.根据权利要求1所述的制备装置,其特征在于,所述压力装置包括双通道微量注射泵及注射器,所述双通道微量注射泵置于所述注射器内,所述双通道微量注射泵用于对所述注射器施加压力。3.根据权利要求2所述的制备装置,其特征在于,使用紫外固化胶将所述石英管的第一端与所述注射器的注射口密封连接。4.根据权利要求1所述的制备装置,其特征在于,所述石英管的内径为10um~800um,所述石英管的外径为100um~1000um。5.一种微米级石英薄膜制备方法,所述制备方法用于权利要求1至4任意一项所述的制备装置,其特征在于,所述方法包括:对石英管进行加压处理及加热处理,得到包含球形薄膜结构的石英管;利用运动控制装置将包含球形薄膜结构的石英管的侧端与光耦合装置的第一端水平对齐,以形成法布里-珀罗干涉仪,其中,所述侧端为所述石英管经过加压处理及加热处理形成的球形薄膜结构的顶端,所述法布里-珀罗干涉仪包括所述侧端、所述光耦合装置的第一端、及之间的立体空间;光源装...
【专利技术属性】
技术研发人员:王义平,何俊,许金山,
申请(专利权)人:深圳市光子传感技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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