一种湿式尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种湿式尾气处理装置，包括箱体，箱体顶端左右两侧分别设有工艺废气进口、气体排放口，箱体内工艺废气进口下方依次设置有喷淋口、集尘分水隔板、汇流分水板，箱体内气体排放口下方依次设置有气液分离装置、隔板一、喷淋头二、PP填料球、隔板二，箱体内底部设有沉淀水箱，沉淀水箱设置在汇流分水板以及隔板二的下方，喷淋口通过管道连接喷淋循环泵的出水口，喷淋循环泵的抽水口通过管道连接至沉淀水箱内，沉淀水箱内安装有液位计，沉淀水箱一侧安装有补水阀，液位计与补水阀之间电连接；本实用新型专利技术适用于可溶于水的酸碱性气体，使排放的气体达到环保标准，解决了现有处理装置所存在的沉淀物堵塞以及处理后端气液分离的问题。

A wet tail gas treatment device

The utility model relates to a wet tail gas treatment device, including a box body, and a process exhaust inlet and a gas discharge port are arranged on the left and right sides of the box top, and a spray mouth, a dust separation partition board and a confluence water separation plate are arranged under the inlet of the process waste gas of the box. From the device, the partition board one, the spray head two, the PP packing ball and the baffle two, the bottom of the box is equipped with a sedimentation tank, the sedimentation tank is set under the flow dividing board and the partition plate two. The spray mouth connects the outlet of the spray circulating pump through the pipe, and the pumping port of the spray circulating pump is connected through the pipe to the sedimentation tank and precipitates the water tank. A liquid level meter is installed inside, and a water supplement valve is installed on one side of the sedimentation tank. The liquid level meter and the water supplement valve are electrically connected. The utility model is suitable for the acid and alkali gas soluble in water, so that the discharge gas reaches the environmental protection standard, solves the problem of the sediment clogging existing in the existing treatment device and the separation of the gas and liquid at the back end.

【技术实现步骤摘要】
一种湿式尾气处理装置[
]本技术涉及工艺废气处理
，具体地说是一种湿式尾气处理装置。[
技术介绍
]在处理半导体制程原物料与副产物中会产生多种废气和危害性有毒气体，这些危害物有些有腐蚀燃烧室的危险，因此这些危害性有毒气体不能直接排放到大气中，所以就会涉及到处理这些废气和危害性有毒气体的装置。而且，IC/LED/Solarcell/TFT-LCD各产业规模都成集群化发展，电子级特殊气体应用也是越来越广泛，从而在工艺反应过程中产生的废气则是一个需要完善解决的环节。废气种类又分为：酸碱类、烷类、有机类等等。目前，现有的湿式尾气处理装置大致存在以下几点问题：(1)喷淋头和泵腔体以及设备内部的死角的沉淀物堵塞：由于大量反应生成物的形成，沉淀池中的水又是做循环使用，使得喷淋头和泵及设备内部死角极容易堵塞；(2)腔体内部结构：一般设计无法保证腔体内部的沉积物质的清除；(3)处理后端的气液分离：随着处理量的提升，无法保证一般排气端的尾气不含有腐蚀性液体，会对后段管路产生积液和腐蚀。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种湿式尾气处理装置，能够适用于可溶于水的酸碱性气体，使排放的气体达到环保标准，解决了现有湿式尾气处理装置所存在的沉淀物堵塞以及处理后端气液分离的问题。为实现上述目的设计一种湿式尾气处理装置，包括箱体16，所述箱体16顶端左右两侧分别设有工艺废气进口1、气体排放口14，所述箱体内工艺废气进口1下方依次设置有喷淋口2、集尘分水隔板3、汇流分水板4，所述箱体16内气体排放口14下方依次设置有气液分离装置13、隔板一12a、喷淋头二15、PP填料球11、隔板二12b，所述箱体16内底部设有沉淀水箱9，所述沉淀水箱9设置在汇流分水板4以及隔板二12b的下方，所述喷淋口2通过管道连接喷淋循环泵5的出水口，所述喷淋循环泵5的抽水口通过管道连接至沉淀水箱9内，所述沉淀水箱9内安装有液位计8，所述沉淀水箱9一侧安装有补水阀10，所述液位计8与补水阀10之间电连接。进一步地，所述沉淀水箱9内底部靠边位置处设有沉淀物隔离挡块7，所述沉淀物隔离挡块7顶部设有一向上延伸的围岸，所述喷淋循环泵5的抽水口高于沉淀物隔离挡块7底部。进一步地，还包括污水泵6，所述污水泵6通过管道连接至沉淀水箱9内底端处，所述污水泵6用于将沉积在沉淀水箱9底部的污浊物抽送到中央洗涤塔。进一步地，所述集尘分水隔板3呈V型结构，所述集尘分水隔板3与水平面之间的坡度角为5度。进一步地，所述喷淋口2设置有三段，三段喷淋口2自上而下均匀布置。进一步地，所述汇流分水板4呈向下倾斜状，所述汇流分水板4左右交叉布置，所述汇流分水板4自上而下设置有五道以形成五道水幕墙。本技术同现有技术相比，具有如下优点：(1)工艺废气进入后经由三段喷淋口喷水后，使得废气中的可溶性卤族元素溶解与水中，集尘分水隔板形成一个V型模块，设计成5度坡度角，则可以使初步溶解与水中杂质顺角度往中间汇集，经由喷淋口不停地冲刷，防止杂质的堆积；(2)汇流分水板形成5道水幕墙，能够扩大可溶性气体与水的接触面积，让尚未溶解的卤族元素进一步反应，往下的角度也可以把反应物冲刷到底部沉淀水箱；(3)通过设置有沉淀物隔离挡块，循环水泵的取水口略高于底部，且有围岸，再加上第五道汇流分水板形成的水幕下来的水流在另外一侧，从而有效避免沉淀物进入取水口，保护了泵和喷淋头，大大降低了堵塞的概率；(4)PP填料球由上方的一道喷淋头喷洒下来的水附着在球体表面，大大增加了气体通过时候的接触面积，有效增加了残余废气与之接触的面积，保证反应充分；(5)气液分离装置能够有效防止液体被抽风系统通过气体排放口带离到排气系统里面去，腐蚀之后的管路，实现了处理后端的气液分离。[附图说明]图1是本技术的结构示意图；图中：1、工艺废气进口2、喷淋口3、集尘分水隔板4、汇流分水板5、喷淋循环泵6、污水泵7、沉淀物隔离挡块8、液位计9、沉淀水箱10、补水阀11、PP填料球12a、隔板一12b、隔板二13、气液分离装置14、气体排放口15、喷淋头二16、箱体。[具体实施方式]下面结合附图对本技术作以下进一步说明：如附图1所示，本技术包括：箱体16，箱体16顶端左右两侧分别设有工艺废气进口1、气体排放口14，箱体内工艺废气进口1下方依次设置有喷淋口2、集尘分水隔板3、汇流分水板4，箱体16内气体排放口14下方依次设置有气液分离装置13、隔板一12a、喷淋头二15、PP填料球11、隔板二12b，箱体16内底部设有沉淀水箱9，沉淀水箱9设置在汇流分水板4以及隔板二12b的下方，喷淋口2通过管道连接喷淋循环泵5的出水口，喷淋循环泵5的抽水口通过管道连接至沉淀水箱9内，该喷淋循环泵抽取沉淀水箱中的水做一个循环喷淋的动作，沉淀水箱9内安装有液位计8，沉淀水箱9一侧安装有补水阀10，液位计8与补水阀10之间电连接；还包括污水泵6，污水泵6通过管道连接至沉淀水箱9内底端处，污水泵6作为定期将沉积在沉淀水箱9底部的污浊物抽送到中央洗涤塔做处理。其中，沉淀水箱9内底部靠边位置处设有沉淀物隔离挡块7，沉淀物隔离挡块7顶部设有一向上延伸的围岸，喷淋循环泵5的抽水口高于沉淀物隔离挡块7底部。集尘分水隔板3呈V型结构，集尘分水隔板3与水平面之间的坡度角为5度。喷淋口2设置有三段，三段喷淋口2自上而下均匀布置。汇流分水板4呈向下倾斜状，汇流分水板4左右交叉布置，汇流分水板4自上而下设置有五道以形成五道水幕墙。本技术的工作原理为：工艺废气进入后经由三段喷淋口喷水后，使得废气中的可溶性卤族元素溶解与水中；集尘分水隔板形成一个V型模块，设计成5度坡度角，可以使初步溶解与水中杂质顺角度往中间汇集，经由喷淋口不停地冲刷，防止杂质的堆积；汇流分水板形成5道水幕墙扩大可溶性气体与水的接触面积；喷淋循环泵抽取水箱中的水做一个循环喷淋的动作，污水泵作为定期把沉积在水箱底部的污浊物抽送到中央洗涤塔做处理；沉淀物隔离挡块，循环水泵的取水口略高于底部，且有围岸；沉淀水箱中的液位计是和补水阀做联动控制，在污水泵定期把沉淀物推送到中央洗涤塔的时候，一旦液位下降到设定位置，补水阀自动打开，进行补液，如果液位计侦测到液位高于设定值，污水泵也会开始作业，使得沉淀箱中的水位维持在一个稳定的范围内；PP填料球由上方的一道喷淋头喷洒下来的水附着在球体表面，大大增加了气体通过时候的接触面积，有效增加了残余废气与之接触的面积，保证反应充分；气液分离装置有效防止液体被抽风系统通过气体排放口带离到排气系统里面去，腐蚀之后的管路。本技术适用于可溶于水的酸碱性气体，废气进入腔体后，经过几段喷雾细化吸收，稀释溶解如水中，顺着腔体隔断流入到底部水箱，再排入主系统进行二级稀释及酸碱中和处理，使排放的气体达到环保标准。本技术的基本原理为：a.通过喷淋头使得工艺废气中的卤族元素初步溶解在水中，集尘分水隔板汇集生成物向下倒流；b.汇流分水板形成5道水幕墙有效增加反应面积；c.PP填料球的区域，由于喷淋头喷洒出来的水附着在球体表面，气体通过时能进一步与之接触反应；d.气液分离装置能够有效防止液体被抽风系统通过气体排放口带离到排气系统里面去，进而腐蚀之后的管路。本技术并不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿式尾气处理装置，包括箱体(16)，其特征在于：所述箱体(16)顶端左右两侧分别设有工艺废气进口(1)、气体排放口(14)，所述箱体内工艺废气进口(1)下方依次设置有喷淋口(2)、集尘分水隔板(3)、汇流分水板(4)，所述箱体(16)内气体排放口(14)下方依次设置有气液分离装置(13)、隔板一(12a)、喷淋头二(15)、PP填料球(11)、隔板二(12b)，所述箱体(16)内底部设有沉淀水箱(9)，所述沉淀水箱(9)设置在汇流分水板(4)以及隔板二(12b)的下方，所述喷淋口(2)通过管道连接喷淋循环泵(5)的出水口，所述喷淋循环泵(5)的抽水口通过管道连接至沉淀水箱(9)内，所述沉淀水箱(9)内安装有液位计(8)，所述沉淀水箱(9)一侧安装有补水阀(10)，所述液位计(8)与补水阀(10)之间电连接。

【技术特征摘要】
1.一种湿式尾气处理装置，包括箱体(16)，其特征在于：所述箱体(16)顶端左右两侧分别设有工艺废气进口(1)、气体排放口(14)，所述箱体内工艺废气进口(1)下方依次设置有喷淋口(2)、集尘分水隔板(3)、汇流分水板(4)，所述箱体(16)内气体排放口(14)下方依次设置有气液分离装置(13)、隔板一(12a)、喷淋头二(15)、PP填料球(11)、隔板二(12b)，所述箱体(16)内底部设有沉淀水箱(9)，所述沉淀水箱(9)设置在汇流分水板(4)以及隔板二(12b)的下方，所述喷淋口(2)通过管道连接喷淋循环泵(5)的出水口，所述喷淋循环泵(5)的抽水口通过管道连接至沉淀水箱(9)内，所述沉淀水箱(9)内安装有液位计(8)，所述沉淀水箱(9)一侧安装有补水阀(10)，所述液位计(8)与补水阀(10)之间电连接。2.如权利要求1所述的湿式尾气处理装置，其特征在于：所述沉淀水...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌晨华，姚辉，简建至，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31