包括体声波谐振器的滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种包括体声波谐振器的滤波器。所述滤波器包括：串联谐振器组；以及分路谐振器组，设置在所述串联谐振器组和地之间，其中，所述串联谐振器组和所述分路谐振器组中的任一个或两者包括：第一谐振器和第二谐振器，在所述第一谐振器和所述第二谐振器的C轴方向彼此相反的状态下彼此连接；第三谐振器，串联连接到所述第一谐振器；以及第四谐振器，串联连接到所述第二谐振器。

Filters including sonic resonators

The present invention provides a filter comprising a bulk acoustic resonator. The filter includes: a series resonator group, and a shunt resonator set, set between the series and the ground, wherein the series resonator group and the shunt resonator group are either of the first resonators and the second resonators, and the first resonator and the second resonator. The C axis is connected to each other in a state of opposite direction; the third resonator is connected in series to the first resonator; and the fourth resonator is connected in series to the second resonator.

【技术实现步骤摘要】
包括体声波谐振器的滤波器本申请要求于2016年10月31日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0143705号以及于2017年4月11日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0046859号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
以下描述涉及一种包括体声波谐振器的滤波器。
技术介绍
近来，根据移动通信装置、化学和生物装置等的飞速发展，对在这些装置中使用的小、轻的滤波器、振荡器、谐振元件或声谐振质量传感器的需求已经增加。膜体声波谐振器(FBAR)是实现这样的小、轻的滤波器、振荡器、谐振元件或声谐振质量传感器的已知的装置。膜体声波谐振器可以以最小的成本大批量生产，并可实现为具有超小型尺寸。此外，FBAR可实现作为滤波器的主要特性的高品质因子(Q)值，甚至可被使用在微波频带中，并且可被使用在个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的频带中。通常，FBAR包括通过在基板上依次堆叠第一电极、压电层和第二电极而实现的谐振部。在操作FBAR时，通过施加到第一电极和第二电极的电能而在压电层中诱发电场，通过诱发的电场而在压电层中产生压电现象，使得谐振部在预定方向上振动。结果，在沿着与谐振部振动的方向相同的方向上产生体声波，从而导致谐振。
技术实现思路
提供本
技术实现思路
以按照简化形式介绍选择的构思，以下在具体实施方式中进一步描述所述构思。本
技术实现思路
并不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。在一个总体方面，一种滤波器包括：串联谐振器组；以及分路谐振器组，设置在所述串联谐振器组和地之间，其中，所述串联谐振器组和所述分路谐振器组中的任一个或两者包括：第一谐振器和第二谐振器，在所述第一谐振器和所述第二谐振器的C轴方向彼此相反的状态下彼此连接；第三谐振器，串联连接到所述第一谐振器；以及第四谐振器，串联连接到所述第二谐振器。所述第一谐振器和所述第三谐振器可并联连接到所述第二谐振器和所述第四谐振器。所述第一谐振器和所述第三谐振器可彼此反串联连接。所述第一谐振器的尺寸和所述第三谐振器的尺寸可大体上相同。所述第二谐振器和所述第四谐振器可彼此反串联连接。所述第二谐振器的尺寸和所述第四谐振器的尺寸可大体上相同。所述第一谐振器的尺寸和所述第二谐振器的尺寸可大体上相同。所述串联谐振器组可连接在信号输入端子和信号输出端子之间。在另一总体方面，一种滤波器包括：串联谐振器组；以及分路谐振器组，设置在所述串联谐振器组和地之间，其中，所述串联谐振器组和所述分路谐振器组中的任一个或两者包括：第一谐振器和第二谐振器，在所述第一谐振器和所述第二谐振器的C轴方向彼此相反的状态下彼此连接；第三谐振器，并联连接到所述第一谐振器，以及第四谐振器，并联连接到所述第二谐振器。所述第一谐振器和所述第三谐振器可串联连接到所述第二谐振器和所述第四谐振器。所述第一谐振器和所述第三谐振器可彼此反并联连接。所述第一谐振器的尺寸和所述第三谐振器的尺寸可大体上相同。所述第二谐振器和所述第四谐振器可彼此反并联连接。所述第二谐振器的尺寸和所述第四谐振器的尺寸可大体上相同。所述第一谐振器的尺寸和所述第二谐振器的尺寸可大体上相同。所述串联谐振器组可连接在信号输入端子和信号输出端子之间。通过以下具体实施方式、附图以及权利要求，其他特征和方面将显而易见。附图说明图1是示出根据实施例的体声波谐振器的截面图。图2是示出根据实施例的滤波器的示意性电路图。图3是示出根据实施例的彼此反并联连接的体声波谐振器的电路图。图4是示出根据实施例的彼此反串联连接的体声波谐振器的电路图。图5是示出根据实施例的串联谐振器组的电路图。图6是示出根据另一实施例的串联谐振器组的电路图。图7是示出根据实施例的分路谐振器组的电路图。图8是示出根据另一实施例的分路谐振器组的电路图。在整个附图和具体实施方式中，相同的标号指示相同的元件。附图可不按照比例绘制，为了清楚、说明以及方便起见，可夸大附图中元件的相对尺寸、比例和描绘。具体实施方式提供以下具体实施方式，以帮助读者获得对在此描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解了本申请的公开内容后，在此所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、变型及等同物将是显而易见的。例如，在此描述的操作顺序仅仅是示例，且不限于在此所阐述的示例，而是除了必须按照特定顺序发生的操作外，可在理解了本申请的公开内容后做出显而易见的改变。此外，为了增加清楚性和简洁性，可省略本领域中已知的特征的描述。在此描述的特征可按照不同的形式实施，并且将不被解释为局限于在此描述的示例。更确切地说，已经提供在此描述的示例，仅仅为了示出在理解了本申请的公开内容后将是显而易见的实现在此描述的方法、设备和/或系统的多种可行方式中的一些可行方式。在整个说明书中，当元件(诸如层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下，当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时，可不存在介于它们之间的其他元件。如在此使用的术语“和/或”包括相关所列项中的任何一个和任何两个或更多个的任何组合。虽然诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语可在此用于描述各种构件、组件、区域、层或部分，但是这些构件、组件、区域、层或部分不受这些术语限制。更确切地说，这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例的教导的情况下，在此描述的示例中涉及到的第一构件、组件、区域、层或部分还可被称为第二构件、组件、区域、层或部分。为了方便描述，在此可使用诸如“在……之上”、“上方”、“在……之下”以及“下方”的空间相关术语来描述如附图中所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间相关术语意在包含除了附图中描绘的方位之外的装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为相对于另一元件位于“之上”或“上方”的元件将随后被描述为相对于另一元件位于“之下”或“下方”。因此，术语“在……之上”根据装置的空间方位包括“在……之上”和“在……之下”两种方位。装置还可以以其他的方式被定位(例如，旋转90度或处于其他方位)，并对在此使用的空间相关术语做出相应的解释。在此使用的术语仅是为了描述各种示例，而不被用来限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数冠词也意在包含复数形式。术语“包含”、“包括”以及“具有”列举存在所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。由于制造技术和/或公差，可发生附图中所示出的形状的变化。因此，在此描述的示例并不限于附图中示出的特定的形状，而是包括制造期间发生的形状上的变化。在此描述的示例的特征可以以在理解了本申请的公开内容后将显而易见的各种方式进行组合。此外，虽然在此描述的示例具有多种构造，但是在理解了本申请的公开内容后将显而易见的其他构造是可行的。在下文中，将参照附图详细地描述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤波器，包括：串联谐振器组；以及分路谐振器组，设置在所述串联谐振器组和地之间，其中，所述串联谐振器组和所述分路谐振器组中的任一个或两者包括：第一谐振器和第二谐振器，在所述第一谐振器和所述第二谐振器的C轴方向彼此相反的状态下彼此连接，第三谐振器，串联连接到所述第一谐振器，以及第四谐振器，串联连接到所述第二谐振器。

【技术特征摘要】
2016.10.31 KR 10-2016-0143705;2017.04.11 KR 10-2011.一种滤波器，包括：串联谐振器组；以及分路谐振器组，设置在所述串联谐振器组和地之间，其中，所述串联谐振器组和所述分路谐振器组中的任一个或两者包括：第一谐振器和第二谐振器，在所述第一谐振器和所述第二谐振器的C轴方向彼此相反的状态下彼此连接，第三谐振器，串联连接到所述第一谐振器，以及第四谐振器，串联连接到所述第二谐振器。2.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述第一谐振器和所述第三谐振器并联连接到所述第二谐振器和所述第四谐振器。3.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述第一谐振器和所述第三谐振器彼此反串联连接。4.根据权利要求3所述的滤波器，其中，所述第一谐振器的尺寸和所述第三谐振器的尺寸大体上相同。5.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述第二谐振器和所述第四谐振器彼此反串联连接。6.根据权利要求5所述的滤波器，其中，所述第二谐振器的尺寸和所述第四谐振器的尺寸大体上相同。7.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述第一谐振器的尺寸和所述第二谐振器的尺寸大体上相同。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊圭，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR