一种波纹管及有机电致发光器加工设备制造技术

本实用新型专利技术涉及显示器生产设备领域，公开了一种波纹管及有机电致发光器加工设备，该波纹管中包括：内层管体和直径大于内层管体直径的外层管体，其中，外层管体套设在内层管体外侧，外层管体与内层管体间形成封闭的管壁腔，管壁腔内填充有缓冲介质。上述波纹管中，通过设置外层管体和内层管体，且在管壁腔中填充缓冲介质，实现了真空压、填充介质压力和水压的逐级递减，从而实现了波纹管中由外层管体至内层管体受力的梯级减小，降低了波纹管损坏的几率，避免了因波纹管损坏漏水造成的真空度下降的现象发生，也避免了设备宕机的现象发生，提高了波纹管的使用寿命，节省了设备的使用成本。

【技术实现步骤摘要】
一种波纹管及有机电致发光器加工设备
本技术涉及显示器生产设备领域，特别涉及一种波纹管及有机电致发光器加工设备。
技术介绍
精细金属掩膜模式，是通过蒸镀方式将有机电致发光显示材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅背板上，利用高精度金属掩模板上的图形，形成红绿蓝器件。蒸镀是在真空腔体中进行，蒸发源、玻璃加载和遮罩加载的对位机构，都需要波纹管，以确保运动部件间冷凝水的连通，但波纹管波纹段长期运动易损坏，波纹管损坏主要由于波纹管内冷却水系统有一定的水压，波纹管处于真空中受一定的真空压力，水压与真空压的压力方向相同，即波纹管受到的力为水压与真空压的数值总和，使得波纹管因承受压力过大而损坏漏水，导致工作环境真空度下降，甚至引起设备宕机现象的发生。
技术实现思路
本技术提供了一种波纹管及有机电致发光器加工设备，该波纹管中，采用双层管体，并在管壁腔中填充缓冲介质，减小波纹管管壁承受的压力值，解决了波纹管因承受压力过大而损坏漏水，导致工作环境真空度下降，甚至引起设备宕机的问题。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案：一种波纹管，包括：内层管体和直径大于所述内层管体直径的外层管体，其中，所述外层管体套设在所述内层管体外侧，所述外层管体与所述内层管体间形成封闭的管壁腔，所述管壁腔内填充有缓冲介质。上述波纹管中，外层管体与内层管体间形成封闭的管壁腔，在管壁腔中填充有缓冲介质，当波纹管处于真空环境中工作时，缓冲介质对内层管体的压力值小于水压的大小，内层管体受到的力为水压与缓冲介质对内层管体的压力的合力，二者方向相反，即内层管体所受的合力值小于水压的大小，外层管体受到的压力为缓冲介质对外层管体的压力和真空压力的合力，缓冲介质对外层管体的压力与真空压力方向相同，则外层管体所受压力值为缓冲介质对外层管体的压力值与真空压力值的和，由于缓冲介质对外层管体的压力值小于水压的压力值，则内层管体与外层管体所受的压力均小于现有技术中单层波纹管管壁所受的压力，且外层管体所受压力大于内层管体所受压力，即通过设置外层管体和内层管体，且在管壁腔中填充缓冲介质，实现了真空压、填充介质压力和水压的逐级递减，从而实现了波纹管中由外层管体至内层管体受力的梯级减小，降低了波纹管损坏的几率，避免了因波纹管损坏漏水造成的真空度下降的现象发生，也避免了设备宕机的现象发生，提高了波纹管的使用寿命，节省了设备的使用成本；另外，波纹管包括内层管体和外层管体，当内层管体发生损坏时，波纹管中的冷却水流入管壁腔中，由于管壁腔封闭，可有效防止冷却水泄露。因此，波纹管采用内层管体和外层管体，实现了波纹管受力的梯级减小，降低了波纹管损坏的几率，防止了冷却水的泄露，避免了因波纹管损坏漏水造成的真空度下降的现象发生，也避免了设备宕机的现象发生，提高了波纹管的使用寿命，节省了设备的使用成本。优选地，所述缓冲介质为惰性气体。优选地，所述惰性气体为氮气。优选地，所述缓冲介质为真空脂。优选地，所述外层管体包括由硬质材料制备的第一管体和第二管体，所述第一管体的直径小于所述第二管体的直径，所述第一管体的第一端自所述第二管体的第一端延伸至所述第二管体中，且所述第一管体的第一端通过由软质材料制备的连接管体与所述第二管体的第一端连接。优选地，所述连接管体为波纹管。优选地，所述连接管体为金属波纹管。优选地，所述第一管体、所述第二管体以及所述连接管体具有一体式结构。本技术还提供了一种有机电致发光器加工设备，包括上述技术方案中所述的任意一种波纹管。附图说明图1为本技术提供的波纹管的结构示意图；图2为本技术提供的波纹管中波纹段位置设置方式一的结构示意图；图3为本技术提供的波纹管中波纹段位置设置方式二的结构示意图。图标：1-内层管体；2-外层管体；21-第一管体；22-第二管体；23-连接管体；3-管壁腔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1，本技术实施例提供的波纹管，包括：内层管体1和直径大于内层管体1直径的外层管体2，其中，外层管体2套设在内层管体1外侧，外层管体2与内层管体1间形成封闭的管壁腔3，管壁腔3内填充有缓冲介质。上述波纹管中，外层管体2与内层管体1间形成封闭的管壁腔3，在管壁腔3中填充有缓冲介质，当波纹管处于真空环境中工作时，缓冲介质对内层管体1的压力值小于水压的大小，内层管体1受到的力为水压与缓冲介质对内层管体1的压力的合力，二者方向相反，即内层管体1所受的合力值小于水压的大小，外层管体2受到的压力为缓冲介质对外层管体2的压力和真空压力的合力，缓冲介质对外层管体2的压力与真空压力方向相同，则外层管体2所受压力值为缓冲介质对外层管体2的压力值与真空压力值的和，由于缓冲介质对外层管体2的压力值小于水压的压力值，则内层管体1与外层管体2所受的压力均小于现有技术中单层波纹管管壁所受的压力，且外层管体2所受压力大于内层管体1所受压力，即通过设置外层管体2和内层管体1，且在管壁腔3中填充缓冲介质，实现了真空压、填充介质压力和水压的逐级递减，从而实现了波纹管中由外层管体2至内层管体1受力的梯级减小，降低了波纹管损坏的几率，避免了因波纹管损坏漏水造成的真空度下降的现象发生，也避免了设备宕机的现象发生，提高了波纹管的使用寿命，节省了设备的使用成本；另外，波纹管包括内层管体1和外层管体2，当内层管体1发生损坏时，波纹管中的冷却水流入管壁腔3中，由于管壁腔3封闭，可有效防止冷却水泄露。因此，波纹管采用内层管体1和外层管体2，实现了波纹管受力的梯级减小，降低了波纹管损坏的几率，防止了冷却水的泄露，避免了因波纹管损坏漏水造成的真空度下降的现象发生，也避免了设备宕机的现象发生，提高了波纹管的使用寿命，节省了设备的使用成本。具体地，缓冲介质为惰性气体或真空脂。上述管壁腔3中可填充惰性气体，当管壁腔3中填充的缓冲介质为惰性气体时，即使波纹管的管壁发生损坏，产生泄露，由于惰性气体的化学性质不活泼，极难与其他材料产生化学反应，可有效避免波纹管损坏发生泄露后对其他部件产生损伤。具体地，惰性气体为氮气。上述惰性气体采用氮气，由于氮气为空气的组成部分之一，无毒无害，当波纹管被损坏时，氮气泄露不会对环境产生污染。作为上述外层管体2的一种实施方式，外层管体2包括由硬质材料制备的第一管体21和第二管体22，第一管体21的直径小于第二管体22的直径，第一管体21的第一端自第二管体22的第一端延伸至第二管体22中，且第一管体21的第一端通过由软质材料制备的连接管体23与第二管体22的第一端连接。上述外层管体2包括为第一管体21、第二管体22和连接第一管体21与第二管体22的连接管体23，第一管体21的第一端延伸至第二管体22中，第二管体22有效防止异物对第一管体21和连接管体23的的损坏，提高波纹管的使用寿命。根据外层管体2上的波纹段极易被异物损坏，波纹段的位置有以下两种设置方式：方式一：参考图2，第一管体21延伸至第二管体22内的部分为波纹管。上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波纹管，其特征在于，包括：内层管体和直径大于所述内层管体直径的外层管体，其中，所述外层管体套设在所述内层管体外侧，所述外层管体与所述内层管体间形成封闭的管壁腔，所述管壁腔内填充有缓冲介质。

【技术特征摘要】
1.一种波纹管，其特征在于，包括：内层管体和直径大于所述内层管体直径的外层管体，其中，所述外层管体套设在所述内层管体外侧，所述外层管体与所述内层管体间形成封闭的管壁腔，所述管壁腔内填充有缓冲介质。2.根据权利要求1所述的波纹管，其特征在于，所述缓冲介质为惰性气体。3.根据权利要求2所述的波纹管，其特征在于，所述惰性气体为氮气。4.根据权利要求1所述的波纹管，其特征在于，所述缓冲介质为真空脂。5.根据权利要求1所述的波纹管，其特征在于，所述外层管体包括由硬质材料制备的第一管体和第二管体，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：关立伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11