全自动硅片清洗机制造技术

技术编号:17893170 阅读:100 留言:0更新日期:2018-05-10 07:40
本发明专利技术公开了一种全自动硅片清洗机,其技术方案要点是:包括架体,架体内清洗层,清洗层内设有固定架,固定架内设有若干个清洗槽,清洗槽内设有摆放硅片的承接架,固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。本发明专利技术的优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦,提高硅片的清洗效果。

Automatic silicon wafer cleaning machine

The invention discloses a fully automatic silicon wafer cleaning machine, which includes a frame, a cleaning layer in the body, a fixing frame in the cleaning layer, a number of cleaning grooves in the fixing frame, a receiving frame in the cleaning tank, and a driving mechanism to drive the swinging of the bearing frame on the fixing rack. The advantage of the invention is that the silicon wafer can be fully contacted with the cleaning fluid to collide and rub, and the cleaning effect of the silicon wafer can be improved.

【技术实现步骤摘要】
全自动硅片清洗机
本专利技术涉及一种硅片清洗设备,更具体的说涉及到一种全自动硅片清洗机。
技术介绍
随着社会的发展,硅片的应用越来越广泛,有的应用于太阳能发电,有的应用于制作半导体的材料。当前国内太阳能硅片厂商还普遍使用单槽或多槽式组合手工清洗,将硅片放到清洗液中进行浸泡,浸泡一段时间后将硅片取出。这种清洗方式下的硅片与清洗液之间是相对静止不动的,相互之间碰撞摩擦非常少,进而硅片清洗的效果不是非常好。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种全自动硅片清洗机,其优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦,提高硅片的清洗效果。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种全自动硅片清洗机,包括架体,架体内清洗层,清洗层内设有固定架,固定架内设有若干个清洗槽,清洗槽内设有摆放硅片的承接架,固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。通过上述技术方案,先将清洗槽中放入清洗液,在将硅片放入到清洗槽中的承接架上,最后开启驱动机构,带动承接架摆动,让清洗液与硅片之间相互碰撞摩擦,进而使硅片清洗的更加干净。本专利技术进一步设置为:驱动机构包括第三电机、转动杆、承接板、滑轨、滑板和L型提升臂,清洗槽两侧的固定架上固定有所述承接板,滑轨固定在承接板上,滑板滑动连接在滑轨上,L型提升臂长边深入到清洗槽中固定在承接架上,L型提升臂的短边固定在滑板的上表面上,转动杆设在清洗槽的一侧,转动杆固定在固定架上的轴承座内,承接杆的一端连接在第三电机上,承接杆的两端固定有带轮,清洗槽远离转动杆一端的两侧设有固定台,固定台上设有带轮,清洗槽两侧对应的带轮之间通过皮带连接,滑板侧壁上设有侧板,侧板上设有固定板,固定板将皮带压紧咋侧板的下表面上。通过上述技术方案,当需要带动承接架左右摆动时,启动第二电机,第二电机带动连接杆运动,连接杆转动带动带轮转动,进而带动皮带转动,皮带运动就会带动侧板和滑板移动,进而就会带动承接架左右移动,进而使承接架上的硅片更好的与清洗液接触,提高硅片的清洗效果。本专利技术进一步设置为:驱动机构可以同时带动一组清洗槽中的承接架上升和下降,动力机构包括导向座、固定在向座内导向杆、第一矩形板、第二矩形板、L型的提升臂、铰接部、第一异型铰接板、第二异型铰接板、长铰接柱、第一短铰接柱、第二短铰接柱、转动轴、第三电机、减速器和转动杆,固定架在与每组槽中的第一个清洗槽和最后一个清洗槽侧壁对应的位置设有固定板,第一个清洗槽两侧的固定板外表面上部设有两个平行的所述导向座,最后一个清洗槽两侧的固定板外表面上部设有两个平行所述导向座,导向杆设置在导向座内,导向杆的上端设有第一矩形板,导向杆的下端设有第二矩形板,第一矩形板的上表面分别设有承接件,L型的提升臂的长边固定在承接架上,L型的提升臂的短边固定在承接件上,铰接部设在固定板外表面的下端,铰接部上铰接有第一异型铰接板,第一异型铰接板上端铰接有与第一矩形板抵触的滚轮,长铰接柱铰接在第一异型铰接板的下部,长铰接柱将两个同一侧的第一异型铰接板连接在一起,第一固定板上的第一异型铰接柱下端设有两根铰接点,两根铰接点一上一下,长铰接柱铰接在上铰接点内,短铰接柱铰接在下端的铰接点上,转动杆转动连接第一个清洗槽前方的固定架上,第二异型铰接部铰接在转动杆的两端,第一短铰接柱水平铰接在第二异型铰接板的下部,第二短铰接柱水平铰接在第二异型铰接板的上部,第二短铰接柱的另一端与套接在减速器的输出轴上的转动件铰接,减速器与第三电机连接。通过上述技术方案,当需要带动承接架上下摆动时,启动第三电机,减速器的输送轴转动,进而带动准滚动杆转动,转动杆转动带动第二短铰接柱倾斜的上下运动,进而带动第二异型铰接板转动,第二异型铰接板来回转动带动转动轴来回转动,转动轴来回转动就将动力传导到固定架的另一侧,这样固定架两侧固定板上的第一异型铰接板就可以转动,第一异型铰接板来回转动滚轮就会上下运动,进而推动矩形板上下运动,第一矩形板就会推动导向杆上下运动,进而就可以带动承接架和承接架上的硅片在槽内上下运动,进而让硅片更好的与清洗液接触,将硅片清洗的更加干净。本专利技术进一步设置为:所述驱动结构包括蜗杆、涡轮、带轮、皮和第四电机,固定架与清洗槽两侧对应的部位设有固定板,固定板的外表面设有三个平行的导向座,三个导向座中两侧导向座中设有导向杆,蜗杆设在中间的导向座内,蜗杆和导向杆的上端固定有驱动板,承接架两侧的上表面上固定有L型的提升臂,L型的提升臂的长边固定在承接架上,L型的提升臂的短边固定在驱动板上,固定板的中部设有固定轴承座,轴承座内设有滚动轴,涡轮套接在滚动轴上且与蜗杆啮合,滚动轴靠近清洗槽一侧套接有带轮,清洗槽的端部设有转动杆,转动杆的两端设有带轮,同一侧的转动轴上带轮与滚动轴上带轮通过皮带连接,转动轴固定在减速器内,减速器与第四电机连接。通过上述技术方案,当硅片放在清洗槽中清洗完后,启动第四电机,第四电机转动,带动减速器内的滚动轴转动,转动轴转动带动带轮转动,进带动滚动轴转动,滚动轴转动带动涡轮转动,涡轮转动带动蜗杆上升,蜗杆上升带动清洗槽中的承接架上升,慢慢上升的提升架,让硅片上的水慢慢流走,然后放到输送机构上,输送到烘干奇机构内进行烘干。本专利技术进一步设置为:所述清洗层的侧壁上设有若干个排风口,排风口上设有风门。通过上述技术方案,可以将清洗槽中挥发出来的气体排出去,减少气体溢散到空气中的可能。本专利技术进一步设置为:所述风门为两个,两个风门法兰式连接。通过上述技术方案,通过相互转动两个风门可以调节排气面积,进而控制排气能力。本专利技术进一步设置为:所述架体外包覆德国进口米黄色PVC层。通过上述技术方案,德国进口米黄色PVC层具有完全无毒无味的、耐腐蚀和抗氧化的特点,既可以增长架体的使用寿命,又非常环保。本专利技术进一步设置为:所述清洗部一侧设有对清洗完的硅片进行烘干的烘干部。通过上述技术方案,烘干部可以快速的将清洗完的硅片烘干。本专利技术进一步设置为:所述清洗槽中有一个为碱槽,碱槽是由NPP材料焊接而成的。通过上述技术方案,NPP材料制成的碱槽具有卫生、无毒耐腐蚀、不结垢、耐高温保温节能和使用寿命长等优点。本专利技术进一步设置为:所述清洗槽中除碱槽外其他清洗槽为不锈钢制成。通过上述技术方案,不锈钢具有耐腐蚀的特点,可以减少清洗液对清洗槽的腐蚀。综上所述,本专利技术具有以下有益效果:1、本专利技术的硅片夹取机构包括两个夹取部,每个夹取部上设有3对U型夹紧杆,每对U型夹紧杆可以夹取一个硅片,进而夹取机构一次可以夹取六个硅片进行清洗,进而大大加快了硅片的清洗效率;2、本专利技术包括清洗部和烘干部,当硅片在清洗部中清洗完后,可以直接运送到烘干部中进行烘干;3、本专利技术清洗部中的清洗槽内设有承接架,承接架都可以在驱动机构的驱动下上下运动,进而可以带动承接架上的硅片在清洗液中上下运动,进而可以让硅片与清洗液更好的接触,使硅片的清洗效果更好。附图说明图1是本专利技术的结构示意图;图2是体现夹取机构横向驱动结构的示意图;图3是体现夹取机构结构的示意图;图4是体现带动升降杆升降机构的示意图;图5是体现夹紧部结构的示意图;图6是体现驱动台结构的示意图;图7是体现竖直夹取板和U型夹紧杆结构示意图;图8是体现清洗层结构的示意图;图9是体现清洗槽中承接架第一种运动结构的示意图;图10是体现清洗槽中承本文档来自技高网...
全自动硅片清洗机

【技术保护点】
一种全自动硅片清洗机,包括架体(1),其特征是:架体(1)内清洗层(111),清洗层(111)内设有固定架(114),固定架(114)内设有若干个清洗槽(2),清洗槽(2)内设有摆放硅片(4126)的承接架(26),固定架(114)上设有带动承接架(26)摆动的驱动机构。

【技术特征摘要】
1.一种全自动硅片清洗机,包括架体(1),其特征是:架体(1)内清洗层(111),清洗层(111)内设有固定架(114),固定架(114)内设有若干个清洗槽(2),清洗槽(2)内设有摆放硅片(4126)的承接架(26),固定架(114)上设有带动承接架(26)摆动的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机,其特征是:驱动机构包括第三电机(63)、转动杆(62)、承接板(1141)、滑轨(1142)、滑板(1143)和L型提升臂(261),清洗槽(2)两侧的固定架(114)上固定有所述承接板(1141),滑轨(1142)固定在承接板(1141)上,滑板(1143)滑动连接在滑轨(1142)上,L型提升臂(261)长边深入到清洗槽(2)中固定在承接架(26)上,L型提升臂(261)的短边固定在滑板(1143)的上表面上,转动杆(62)设在清洗槽(2)的一侧,转动杆(62)固定在固定架(114)上的轴承座(1144)内,转动杆(62)的一端连接在第三电机(63)上,转动杆(62)的两端固定有带轮(7),清洗槽(2)远离转动杆(62)一端的两侧设有固定台(4121),固定台(4121)上设有带轮(7),清洗槽(2)两侧对应的带轮(7)之间通过皮带(71)连接,滑板(1143)侧壁上设有侧板(11431),侧板(11431)上设有固定板(9),固定板(9)将皮带(71)压紧在侧板(11431)的下表面上。3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机,其特征是:驱动机构可以同时带动一组清洗槽(2)中的承接架(26)上升和下降,动力机构(42)包括导向座(92)、固定在导向座(92)内的导向杆(921)、第一矩形板(9211)、第二矩形板(9212)、L型提升臂(261)、铰接部(91)、第一异型铰接板(911)、第二异型铰接板(94)、长铰接柱(96)、第一短铰接柱(95)、第二短铰接柱(941)、转动件(81)、第三电机(63)、减速器(8)和转动杆(62),固定架(114)在与每组槽中的第一个清洗槽(2)和最后一个清洗槽(2)侧壁对应的位置设有固定板(9),第一个清洗槽(2)两侧的固定板(9)外表面上部设有两个平行的所述导向座(92),最后一个清洗槽(2)两侧的固定板(9)外表面上部设有两个平行所述导向座(92),导向杆(921)设置在导向座(92)内,导向杆(921)的上端设有第一矩形板(9211),导向杆(921)的下端设有第二矩形板(9212),第一矩形板(9211)的上表面分别设有承接件(93),L型提升臂(261)的长边固定在承接架(26)上,L型提升臂(261)的短边固定在承接件(93)上,铰接部(91)设在固定板(9)外表面的下端,铰接部(91)上铰接有第一异型铰接板(911),第一异型铰接板(911)上端铰接有与第一矩形板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:轩云喜
申请(专利权)人:北京南轩兴达电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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