The invention discloses a fully automatic silicon wafer cleaning machine, which includes a frame, a cleaning layer in the body, a fixing frame in the cleaning layer, a number of cleaning grooves in the fixing frame, a receiving frame in the cleaning tank, and a driving mechanism to drive the swinging of the bearing frame on the fixing rack. The advantage of the invention is that the silicon wafer can be fully contacted with the cleaning fluid to collide and rub, and the cleaning effect of the silicon wafer can be improved.
【技术实现步骤摘要】
全自动硅片清洗机
本专利技术涉及一种硅片清洗设备,更具体的说涉及到一种全自动硅片清洗机。
技术介绍
随着社会的发展,硅片的应用越来越广泛,有的应用于太阳能发电,有的应用于制作半导体的材料。当前国内太阳能硅片厂商还普遍使用单槽或多槽式组合手工清洗,将硅片放到清洗液中进行浸泡,浸泡一段时间后将硅片取出。这种清洗方式下的硅片与清洗液之间是相对静止不动的,相互之间碰撞摩擦非常少,进而硅片清洗的效果不是非常好。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种全自动硅片清洗机,其优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦,提高硅片的清洗效果。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种全自动硅片清洗机,包括架体,架体内清洗层,清洗层内设有固定架,固定架内设有若干个清洗槽,清洗槽内设有摆放硅片的承接架,固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。通过上述技术方案,先将清洗槽中放入清洗液,在将硅片放入到清洗槽中的承接架上,最后开启驱动机构,带动承接架摆动,让清洗液与硅片之间相互碰撞摩擦,进而使硅片清洗的更加干净。本专利技术进一步设置为:驱动机构包括第三电机、转动杆、承接板、滑轨、滑板和L型提升臂,清洗槽两侧的固定架上固定有所述承接板,滑轨固定在承接板上,滑板滑动连接在滑轨上,L型提升臂长边深入到清洗槽中固定在承接架上,L型提升臂的短边固定在滑板的上表面上,转动杆设在清洗槽的一侧,转动杆固定在固定架上的轴承座内,承接杆的一端连接在第三电机上,承接杆的两端固定有带轮,清洗槽远离转动杆一端的两侧设有固定台,固定台上设有带轮,清洗槽两侧对应的带轮之间通过皮带连接,滑板侧壁上设有侧板, ...
【技术保护点】
一种全自动硅片清洗机,包括架体(1),其特征是:架体(1)内清洗层(111),清洗层(111)内设有固定架(114),固定架(114)内设有若干个清洗槽(2),清洗槽(2)内设有摆放硅片(4126)的承接架(26),固定架(114)上设有带动承接架(26)摆动的驱动机构。
【技术特征摘要】
1.一种全自动硅片清洗机,包括架体(1),其特征是:架体(1)内清洗层(111),清洗层(111)内设有固定架(114),固定架(114)内设有若干个清洗槽(2),清洗槽(2)内设有摆放硅片(4126)的承接架(26),固定架(114)上设有带动承接架(26)摆动的驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机,其特征是:驱动机构包括第三电机(63)、转动杆(62)、承接板(1141)、滑轨(1142)、滑板(1143)和L型提升臂(261),清洗槽(2)两侧的固定架(114)上固定有所述承接板(1141),滑轨(1142)固定在承接板(1141)上,滑板(1143)滑动连接在滑轨(1142)上,L型提升臂(261)长边深入到清洗槽(2)中固定在承接架(26)上,L型提升臂(261)的短边固定在滑板(1143)的上表面上,转动杆(62)设在清洗槽(2)的一侧,转动杆(62)固定在固定架(114)上的轴承座(1144)内,转动杆(62)的一端连接在第三电机(63)上,转动杆(62)的两端固定有带轮(7),清洗槽(2)远离转动杆(62)一端的两侧设有固定台(4121),固定台(4121)上设有带轮(7),清洗槽(2)两侧对应的带轮(7)之间通过皮带(71)连接,滑板(1143)侧壁上设有侧板(11431),侧板(11431)上设有固定板(9),固定板(9)将皮带(71)压紧在侧板(11431)的下表面上。3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机,其特征是:驱动机构可以同时带动一组清洗槽(2)中的承接架(26)上升和下降,动力机构(42)包括导向座(92)、固定在导向座(92)内的导向杆(921)、第一矩形板(9211)、第二矩形板(9212)、L型提升臂(261)、铰接部(91)、第一异型铰接板(911)、第二异型铰接板(94)、长铰接柱(96)、第一短铰接柱(95)、第二短铰接柱(941)、转动件(81)、第三电机(63)、减速器(8)和转动杆(62),固定架(114)在与每组槽中的第一个清洗槽(2)和最后一个清洗槽(2)侧壁对应的位置设有固定板(9),第一个清洗槽(2)两侧的固定板(9)外表面上部设有两个平行的所述导向座(92),最后一个清洗槽(2)两侧的固定板(9)外表面上部设有两个平行所述导向座(92),导向杆(921)设置在导向座(92)内,导向杆(921)的上端设有第一矩形板(9211),导向杆(921)的下端设有第二矩形板(9212),第一矩形板(9211)的上表面分别设有承接件(93),L型提升臂(261)的长边固定在承接架(26)上,L型提升臂(261)的短边固定在承接件(93)上,铰接部(91)设在固定板(9)外表面的下端,铰接部(91)上铰接有第一异型铰接板(911),第一异型铰接板(911)上端铰接有与第一矩形板(...
【专利技术属性】
技术研发人员:轩云喜,
申请(专利权)人:北京南轩兴达电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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