The utility model provides an abrasive spray device in a substrate grinding process, which includes a liquid feed pipe, a moving adjustment block and a fixed bracket. The abrasive liquid supply pipe is connected with a moving adjustment block, and the moving adjustment block is connected with a fixed bracket. The fixed bracket is provided with a guide groove, and the mobile adjusting block is embedded in the guide groove, and the mobile adjusting block moves freely and freely along the length of the fixed bracket in the guide groove. The abrasive liquid spraying device in the substrate grinding process disclosed by the utility model has less attrition, simple method, simple operation and low cost. The distribution of abrasive liquid is greatly improved by controlling the position of the liquid supply pipe automatically and continuously, and avoids the accumulation efficiency of the abrasive fluid during the grinding process. It can effectively prevent chip fragmentation, scratches and dark cracks, improve the thickness uniformity and yield of wafer grinding, and reduce production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种衬底研磨工艺中研磨液喷洒装置
本技术属于衬底研磨
,具体涉及一种衬底研磨工艺中研磨液喷洒装置。
技术介绍
GaAs衬底是红黄光LED的主流衬底材料,与红黄光系列的LED外延层具有良好的晶格匹配,GaAs基LED具有低能耗、长寿命、高安全性等优势,目前,GaAs基LED已广泛应用于高效固态照明领域中,如显示屏、汽车用灯、背光源、交通信号灯、景观照明等市场。在现代GaAs基LED芯片生产和使用过程中也存在一些缺点,如资源稀缺、价格昂贵,衬底的机械强度较低等。由于GaAs衬底较低的机械强度导致其在LED芯片生产过程中极其容易碎裂,特别是在衬底研磨过程中,由于施加的外力作用大,容易导致GaAs衬底材料明显的机械损伤和内应力增加,直接导致发生碎裂和损伤,影响芯片成品率和生产效率,造成浪费,增加产品成本。因此,降低GaAs基LED芯片衬底研磨工艺过程中的碎片率和损伤率,不仅可以直接提高芯片研磨工序的成品率和降低成本,还可以避免在后续芯片加工过程中产品的二次碎裂,从而提高芯片最终成品率。目前GaAs基LED衬底研磨工艺中主要首先采用固体蜡加热熔化、冷却后凝固的方法将晶片粘附在研磨工件表面上,而后进行衬底研磨,研磨时采用滴加研磨液的方式,把一定量的研磨液不断滴加在研磨盘的表面,通过研磨盘的不断转动,研磨工件表面上的衬底和研磨盘之间不断进行磨削,从而将衬底减薄。为了确保粘结蜡分布的均匀性,一般会控制蜡层的厚度在微米量级,由于研磨盘和晶片之间蜡层间隙有限,这也就对于研磨的供给和分布的均匀性要求较高。现有的研磨机装置,其中的研磨液滴加管在使用过程中通常是固定放置在某一 ...
【技术保护点】
一种衬底研磨工艺中研磨液喷洒装置,其特征在于:包括研磨液供液管(100)、移动调节块(200)和固定托架(300),所述研磨液供液管(100)与所述移动调节块(200)连接,所述移动调节块(200)与所述固定托架(300)连接;所述固定托架(300)上设有导槽(301),所述移动调节块(200)嵌入导槽(301)中,所述移动调节块(200)在导槽(301)中沿着所述固定托架(300)的长度方向往返自由移动。
【技术特征摘要】
1.一种衬底研磨工艺中研磨液喷洒装置,其特征在于:包括研磨液供液管(100)、移动调节块(200)和固定托架(300),所述研磨液供液管(100)与所述移动调节块(200)连接,所述移动调节块(200)与所述固定托架(300)连接;所述固定托架(300)上设有导槽(301),所述移动调节块(200)嵌入导槽(301)中,所述移动调节块(200)在导槽(301)中沿着所述固定托架(300)的长度方向往返自由移动。2.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张银桥,白继锋,
申请(专利权)人:南昌凯迅光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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