The present invention provides a three-dimensional measuring device that can improve the measurement efficiency and reduce the reduction of measurement precision in three dimensional measurement based on phase shift method. The substrate inspection device (10) includes a conveyor (13) transporting a printed substrate (1), a lighting device (14) for a printed substrate (1) illuminating a pattern light above the oblique, and a camera (15) for taking a printed substrate (1) irradiated with the pattern light. The photographing element (15b), as a camera (15), uses a CCD region sensor that divides the shooting area two and carries out the output from the two regions in parallel from the different channels. Moreover, the printed substrate (1) is transported with a predetermined quantity every time, and obtains four data photographed under the change of the phase according to each predetermined quantity. After that, a number of data obtained from the same channel from the photographing element (15b) are measured on the basis of each coordinate position on the printed substrate (1) based on the phase shift method.
【技术实现步骤摘要】
三维测量装置
本专利技术涉及通过相移法进行三维测量的三维测量装置。
技术介绍
通常,当在印刷基板上安装电子部件时,首先在配设于印刷基板上的预定的电极图案上印刷焊膏。接着,基于该焊膏的粘性而将电子部件临时固定在印刷基板上。之后,所述印刷基板被引导至回流炉,并经过预定的回流工序来进行焊接。如今,在被引导到回流炉的之前阶段需要检查焊膏的印刷状态,在进行该检查时有时使用三维测量装置。以往,已提出了各种使用光的非接触式三维测量装置,例如有使用相移法的三维测量装置。作为使用了相移法的三维测量装置,已知有例如包括移动被测量物的移动机构、对该被测量物照射条纹状的图案光的照射装置、以及对该照射图案光的被测量物进行拍摄的拍摄装置(例如,参照专利文献1)。在该三维测量装置中,通过将被测量物相对于包括照射装置以及拍摄装置的测量头进行相对移动,能够获取被测量物上的光强度分布按照每个图案光的预定相位而不同的多个图像数据。并且,能够基于这些多个图像数据通过相移法进行被测量物的三维测量。例如在获取被测量物上的光强度分布以图案光的每90°相位而不同的四种图像数据的情况下,该四种图像数据中的被测量物上的预定的坐标位置的亮度值I0、I1、I2、I3能够分别通过下式(1)、(2)、(3)、(4)来表示。这里,α:偏移、β:增益、图案光的相位。若针对相位而求解上述式(1)、(2)、(3)、(4),则能够导出下式(5)。并且,能够使用如上述计算出的相位基于三角测量的原理求出被测量物上的各坐标(X、Y)上的高度Z。作为用于上述拍摄装置的拍摄元件已知有CCD(ChargeCoupledDevices:电 ...
【技术保护点】
一种三维测量装置,其特征在于,包括:照射单元,所述照射单元能够对被测量物照射预定的图案光;拍摄单元,所述拍摄单元具有拍摄元件,并能够对照射所述图案光的所述被测量物进行拍摄,所述拍摄元件将预定的拍摄区域划分为多个区域,并从分别不同的通道并行地进行来自该被划分的多个区域的输出;移动单元,所述移动单元能够使所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物沿预定方向进行相对移动;数据获取单元,所述数据获取单元能够获取多个数据,所述多个数据是在从所述照射单元照射的所述图案光下按照每次所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物以预定量进行相对移动而在所述拍摄元件的所述多个区域中的同一区域拍摄的所述被测量物上的各坐标位置所涉及的多个数据;以及数据处理单元,所述数据处理单元能够基于由所述数据获取单元获取的所述多个数据并通过相移法执行所述被测量物上的各坐标位置所涉及的三维测量。
【技术特征摘要】
2016.10.14 JP 2016-2024321.一种三维测量装置,其特征在于,包括:照射单元,所述照射单元能够对被测量物照射预定的图案光;拍摄单元,所述拍摄单元具有拍摄元件,并能够对照射所述图案光的所述被测量物进行拍摄,所述拍摄元件将预定的拍摄区域划分为多个区域,并从分别不同的通道并行地进行来自该被划分的多个区域的输出;移动单元,所述移动单元能够使所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物沿预定方向进行相对移动;数据获取单元,所述数据获取单元能够获取多个数据,所述多个数据是在从所述照射单元照射的所述图案光下按照每次所述照射单元以及所述拍摄单元与所述被测量物以预定量进行相对移动而在所述拍摄元件的所述多个区域中的同一区域拍摄的所述被测量物上的各坐标位置所涉及的多个数据;以及数据处理单元,所述数据处理单元能够基于由所述数据获取单元获取的所述多个数据并通过相移法执行所述被测量物上的各坐标位置所涉及的三维测量。2.如权利要求1所述的三维测量装置,其特征在于,所述拍摄元件被设置为使得划分所述多个区域的划分线沿所述预定方向。3.一种三维测量装置,其特征在于,包括:第一照射单元,所述第一照射单元能够对被测量物照射预定的图案光;第二照射单元,所述第二照射单元能够对所述被测量物照射与所述图案光不同的第二光;拍摄单元,所述拍摄单元具有拍摄元件,并能够对所述照射各种光的所述被测量物进行拍摄,所述拍摄元件将预...
【专利技术属性】
技术研发人员:梅村信行,大山刚,坂井田宪彦,
申请(专利权)人:CKD株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。