压力辊和使用其的压印方法技术

提供了一种压力辊和一种使用其的压印方法。用于压印方法的所述压力辊包括：辊体，具有沿第一方向延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在辊体的曲面上，能量产生部包括被配置为单独控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在能量产生部上，补偿层包括当施加能量时体积膨胀的材料。

Pressure roll and the imprinting method used in it

A pressure roller and a method of imprinting using it are provided. The pressure roll used for the imprint method includes the roll body, a cylindrical shape that extends along the first direction; the energy generating unit is set on the surface of the roll body, and the energy generating unit includes a plurality of energy generating units configured to be separately controlled to emit energy; the compensation layer is set on the energy generating unit and the compensation layer includes the energy generating unit. A material that expands when the energy is applied.

【技术实现步骤摘要】
压力辊和使用其的压印方法
示例性实施例涉及一种用于压印方法的压力辊和一种使用该压力辊的压印方法。更具体地，示例性实施例涉及用于使用印模形成树脂图案的压印方法的一种压力辊和一种使用该压力辊的压印方法。
技术介绍
最近，已经研究了用于形成精细图案的纳米压印光刻的使用。例如，液晶显示设备可以包括线栅偏振器。在基板的金属层上形成树脂层，然后在树脂层上通过将印模压印到树脂层上来形成压印图案，然后通过将已压印的树脂层用作掩模使金属层图案化来将金属层图案化成线栅偏振器。然而，根据传统的压印方法，当基板的在其上形成树脂层并执行压印方法的上表面不平坦时，会以不平坦的方式(包括一部分被形成为比另一部分厚)形成在台阶部处的剩余层，或者压印图案会不准确地形成，压印方法的质量会劣化。在该
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于促进对专利技术构思的背景的理解，因此，它可包含不形成对本领域普通技术人员来讲在该国已经知晓的现有技术的信息。
技术实现思路
示例性实施例提供了一种用于压印方法的压力辊，所述压力辊能够在其上形成压印图案的表面具有台阶部时改善压印质量。示例性实施例还提供了一种使用该压力辊的压印方法。另外的方面将在随后的详细描述中进行阐述，并且部分地，通过公开将是明显的，或者可通过专利技术构思的实践而被获知。根据示例性实施例，用于压印方法的压力辊可以包括：辊体，具有在第一方向上延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在辊体的曲面上，能量产生部包括被配置为单独控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在能量产生部上，补偿层包括当施加能量时体积膨胀的材料。补偿层可以包括第一聚合物粘合剂和第二聚合物粘合剂，其中，第一聚合物粘合剂的第一玻璃转变温度比第二聚合物粘合剂的第二玻璃转变温度高至少20摄氏度。第一聚合物粘合剂可以包括从由聚苯乙烯及其共聚物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种，其中，第二聚合物粘合剂可以包括从由丙烯酸丁酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种。多个能量产生单元可以被配置为产生热或微波。多个能量产生单元可以沿第一方向布置，其中，多个能量产生单元中的每个在与第一方向垂直的第二方向上沿着曲面延伸。多个能量产生单元中的每个可以以矩阵的形式在第一方向上和与第一方向垂直的方向上布置在曲面上。压力辊还可以包括设置在补偿层上的保护层以保护补偿层。根据示例性实施例，一种压印方法可以包括：提供基板，基板包括设置在其上的图案，基板在上表面中具有由图案形成的台阶部；在基板上设置树脂层；提供压力辊、膜和设置在膜上的印模，压力辊包括具有沿第一方向延伸的圆柱形形状的辊体、设置在辊体的曲面上的能量产生部和设置在能量产生部上的补偿层，其中，能量产生部可以包括被配置为单独控制以发出能量的多个能量产生单元，补偿层可以包括当施加能量时体积膨胀的材料；通过操作多个能量产生单元来控制补偿层的一部分的厚度；通过使用压力辊将印模压到树脂层上来形成压印图案；将印模与树脂层分离。补偿层可以包括第一聚合物粘合剂和第二聚合物粘合剂，其中，第一聚合物粘合剂的第一玻璃转变温度可以比第二聚合物粘合剂的第二玻璃转变温度高至少20摄氏度。第一聚合物粘合剂可以包括从由聚苯乙烯及其共聚物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种，其中，第二聚合物粘合剂可以包括从由丙烯酸丁酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种。多个能量产生单元可以沿第一方向布置，其中，多个能量产生单元中的每个在与第一方向垂直的第二方向上沿着曲面延伸。基板的台阶部可以在第二方向上延伸。基板可以包括在其中未形成图案的第一区域和在其中形成有图案的第二区域，其中，图案具有第一厚度，其中，控制补偿层的部分的厚度的步骤可以包括：将补偿层的与第一区域对应的第一部分的厚度控制为比补偿层的与第二区域对应的第二部分的厚度厚第一厚度。基板还可以包括在其中未形成有图案的第三区域，第二区域设置在第一区域与第三区域之间，其中，控制补偿层的部分的厚度的步骤还可以包括将补偿层的与第三区域对应的第三部分的厚度控制为比补偿层的与第二区域对应的第二部分的厚度厚第一厚度。多个能量产生单元可以以矩阵的形式在第一方向上和与第一方向垂直的第二方向上布置在曲面上。基板的台阶部可以在第一方向上延伸。基板可以包括在其中未形成图案的第一区域和在其中形成有图案的第二区域，其中，图案具有第一厚度，其中，控制补偿层的部分的厚度的步骤可以包括：将补偿层的与第一区域对应的第一部分的厚度控制为比补偿层的与第二区域对应的第二部分的厚度厚第一厚度。图案可以包括具有第一厚度的第一图案部和具有第二厚度的第二图案部，其中，控制补偿层的部分的厚度的步骤可以包括：将补偿层控制为具有与由第一图案部和第二图案部形成的台阶部对应的各种厚度。根据专利技术构思的示例性实施例，一种压印方法可以包括：在基板上设置树脂层，树脂层包括在基板的上表面上形成台阶部的图案；通过使用压力辊来按压设置在膜上的印模来在树脂层上形成压印图案，其中，压力辊可以包括：能量产生部，包括被配置为单独控制的多个能量产生单元；补偿层，设置在能量产生部上，补偿层包括当施加能量时体积膨胀的材料。所述压印方法还可以包括：将补偿层的至少一部分的厚度控制为具有与由图案形成的台阶部对应的各种厚度。前面的总体描述和下面的详细描述是示例性的和解释性的，并意图提供对要求保护的主题的进一步解释。附图说明包括附图以提供专利技术构思的进一步理解，附图包括在本说明书中并构成本说明书的一部分，附图示出了专利技术构思的示例性实施例，并与描述一起用于解释专利技术构思的原理。图1A、图1B和图1C是示出根据示例性实施例的压印方法的透视图。图2A、图2B和图2C是根据示例性实施例的用于压印方法的压力辊的透视图。图3是根据示例性实施例的用于压印方法的基板的平面图。图4A、图4B和图4C是沿着图3的剖面线I-I'截取的示出使用压印方法在图3的基板上形成压印图案的剖视图。图5是根据示例性实施例的用于压印方法的基板的平面图。图6A、图6B和图6C是沿着图5的剖面线II-II'截取的示出使用压印方法在图5的基板上形成压印图案的剖视图。图7是根据示例性实施例的用于压印方法的基板的平面图。图8A、图8B、图8C、图8D和图8E是沿图7的剖面线III-III'和IV-IV'截取的示出使用压印方法在图7的基板上形成压印图案的剖视图。图9是根据示例性实施例的用于压印方法的基板的平面图。图10A、图10B和图10C是沿着图9的剖面线V-V'截取的示出使用压印方法在图9的基板上形成压印图案的剖视图。具体实施方式在下面的描述中，为了解释的目的，阐述了许多具体细节，以提供对各种示例性实施例的彻底理解。然而，显而易见的是，各种示例性实施例可以在没有这些具体细节或者在一个或更多个等同布置的情况下实施。在其它情况下，公知的结构和装置以框图的形式示出以避免使各种示例性实施例不必要地模糊。在附图中，为了清晰和描述的目的，可夸大层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺寸。另外，相同的附图标记表示相同的元件。当元件或层被称作“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“结合到”另一元件或层时，该元件或层可直接在其它元件或层上、直接连接到或结合到其它元件或层，或者可以存在中间元件或中间层。然而，当元件或层被称作“直接在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于压印方法的压力辊，所述压力辊包括：辊体，具有在第一方向上延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在所述辊体的曲面上，所述能量产生部包括被配置为被单独地控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在所述能量产生部上，所述补偿层包括当施加所述能量时体积膨胀的材料。

【技术特征摘要】
2016.10.14 KR 10-2016-01336751.一种用于压印方法的压力辊，所述压力辊包括：辊体，具有在第一方向上延伸的圆柱形形状；能量产生部，设置在所述辊体的曲面上，所述能量产生部包括被配置为被单独地控制以发出能量的多个能量产生单元；补偿层，设置在所述能量产生部上，所述补偿层包括当施加所述能量时体积膨胀的材料。2.如权利要求1所述的压力辊，其中，所述补偿层包括第一聚合物粘合剂和第二聚合物粘合剂，其中，所述第一聚合物粘合剂的第一玻璃转变温度比所述第二聚合物粘合剂的第二玻璃转变温度高至少20摄氏度。3.如权利要求2所述的压力辊，其中，所述第一聚合物粘合剂包括从由聚苯乙烯及其共聚物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种，其中，所述第二聚合物粘合剂包括从由丙烯酸丁酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种。4.如权利要求1所述的压力辊，其中，所述多个能量产生单元被配置为产生热或微波。5.如权利要求4所述的压力辊，其中，所述多个能量产生单元沿所述第一方向布置，其中，所述多个能量产生单元中的每个在与所述第一方向垂直的第二方向上沿着所述曲面延伸。6.如权利要求4所述的压力辊，其中，所述多个能量产生单元中的每个以矩阵的形式在所述第一方向上和与所述第一方向垂直的方向上布置在曲面上。7.如权利要求1所述的压力辊，所述压力辊还包括设置在所述补偿层上的保护层以保护所述补偿层。8.一种压印方法，所述压印方法包括：提供基板，所述基板包括设置在其上的图案，所述基板在上表面中具有由所述图案形成的台阶部；在所述基板上设置树脂层；提供压力辊、膜和设置在所述膜上的印模，所述压力辊包括具有沿第一方向延伸的圆柱形形状的辊体、设置在所述辊体的曲面上的能量产生部和设置在所述能量产生部上的补偿层，其中，所述能量产生部包括被配置为单独控制以发出能量的多个能量产生单元，所述补偿层包括当施加所述能量时体积膨胀的材料；通过操作所述多个能量产生单元来控制所述补偿层的一部分的厚度；通过使用所述压力辊将所述印模压到所述树脂层上来形成压印图案；将所述印模与所述树脂层分离。9.如权利要求8所述的压印方法，其中，所述补偿层包括第一聚合物粘合剂和第二聚合物粘合剂，其中，所述第一聚合物粘合剂的第一玻璃转变温度比所述第二聚合物粘合剂的第二玻璃转变温度高至少20摄氏度。10.如权利要求9所述的压印方法，其中，所述第一聚合物粘合剂包括从由聚苯乙烯及其共聚物、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及其共聚物组成的组中选择的至少一种，其中，所述第二聚合...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔成永，金旻首，金武谦，金圣哲，赵国来，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR