The utility model relates to the detection technology field of semiconductor silicon rods, in particular to a semiconductor silicon rod full automatic alignment detection mechanism. An automatic pair of semiconductor silicon rods, including an mounting bracket, is fitted with a pair of electric cylinders on the mounting bracket. The pair of electric cylinders is used to move up and down relative to the mounting bracket respectively. The electric cylinder is connected with a servo motor, and the cylinder is equipped with a cylinder. The cylinder is equipped with a cylinder. Contact sensor, cylinder driven contact sensor to do telescopic movement. The beneficial effect of the utility model is as follows: the full automatic alignment of the semiconductor silicon rod is realized, the whole process does not need manual measurement, reduces the measurement error and improves the measurement accuracy, reduces the surface slope after the cutting of the silicon rod, and improves the utilization ratio of the raw material.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体硅棒全自动对中检测机构
本技术涉及半导体硅棒检测
,特别涉及一种半导体硅棒全自动对中检测机构。
技术介绍
在《国家集成电路产业发展推进纲要》和国家集成电路产业投资基金的推动下,中国半导体市场已成为全球增长引擎,2016年销售额超过4300亿元,增长率达到19%。在国内设计、制造和封测三业并举、协调发展的格局下,预计2017年国内半导体产业增速区间为18%-25%。目前国内生产的直径在450mm以上的硅棒还不多,但是随着科技的进步,可以预见,在未来几年,更大直径的硅棒将能够生产出来。硅棒直径越大,对其面斜的要求也越来越高,而目前在硅棒的切割过程中缺少一种能够自动检测面斜的工具,大多数的还是采用人工目测或者人工测量的方式,这种测量方式由于存在人为的测量误差以及其他干扰因素,误差较大,而硅棒的面斜又在一个很小的范围之内,肉眼很难以区分。综上所述,半导体硅棒全自动检测技术是未来半导体硅棒截断领域的一项重要技术,如何进行自动检测来提升检测精度,保证切割面的质量,提升材料的利用率,是困扰企业的一个难题,也是企业竞争力的直接体现。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本技术提供了一种半导体硅棒全自动对中检测机构,检测两个不同截面的中心位置,通过差值判断出硅棒是否放置水平,方便操作人员对其进行水平摆正,从而达到减少面斜、提升材料利用率的目的。一种半导体硅棒全自动对中检测机构,能够实时检测硅棒的中心位置变化情况,方便操作人员进行硅棒的对中调节,保证单晶硅棒在切割中切割面与切割线之间的垂直度,包括安装支架,所述安装支架上相对称的安装有一对电缸,所述一对电缸用于分别 ...
【技术保护点】
一种半导体硅棒全自动对中检测机构,其特征在于:包括安装支架,所述安装支架上相对称的安装有一对电缸,所述一对电缸的滑块可分别在安装支架上相对的上下移动,所述电缸与伺服电机连接,所述电缸的滑块上安装气缸安装支架,气缸安装支架上装有气缸,所述气缸伸出端装有接触式传感器,气缸带动接触式传感器做来回伸缩运动。
【技术特征摘要】
1.一种半导体硅棒全自动对中检测机构,其特征在于:包括安装支架,所述安装支架上相对称的安装有一对电缸,所述一对电缸的滑块可分别在安装支架上相对的上下移动,所述电缸与伺服电机连接,所述电缸的滑块上安装气缸安装支架,气缸安...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,傅林坚,谢永旭,沈文杰,卢嘉彬,徐开涛,李林,杨铁明,
申请(专利权)人:绍兴上虞晶信机电科技有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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