一种应用于单晶炉的隔离阀座制造技术

本实用新型专利技术提供一种应用于单晶炉的隔离阀座，包括隔离阀座主体和安装在隔离阀座主体中的隔离阀；隔离阀座主体包括上下两侧均设有开口的外筒和内筒，外筒套装在内筒外表面，外筒与内筒之间形成环形空腔Ⅰ；其中外筒和内筒顶端均与上法兰的下表面固定密封连接，底端均与下法兰的上表面固定密封连接；外筒上设有用于水循环的进水口和出水口，进水口和出水口均与环形空腔Ⅰ相连通；冷却水通过进水口注入环形空腔Ⅰ中，并从出水口流出，对隔离阀座主体进行通水冷却工作，增强了隔离阀座主体的承压和耐热性。

An isolated seat applied to a single crystal furnace

The utility model provides a separate valve seat for the single crystal furnace, including the isolating seat body and the isolation valve installed in the main body of the isolating valve seat; the main body of the isolating valve seat consists of an opening outer cylinder and an inner cylinder on both the upper and lower sides, the outer surface of the outer cylinder, and the annular cavity between the outer cylinder and the inner cylinder, in which the outer cylinder is formed. The top of the inner cylinder is fixed and sealed with the upper surface of the upper flange, and the bottom end is fixed and sealed with the upper surface of the lower flange; the outer cylinder is equipped with a water intake and a water outlet for the water circulation, the inlet and outlet are connected with the annular cavity I, and the cooling water is injected into the annular cavity I through the inlet and flows from the outlet. The main body of the isolation valve is cooled by water, and the bearing and heat resistance of the isolating seat body are enhanced.

【技术实现步骤摘要】
一种应用于单晶炉的隔离阀座
本技术涉及单晶炉设备领域，具体涉及一种应用于单晶炉的隔离阀座。
技术介绍
现在国家极度重视新能源的开发及应用，并投入大量资金对光伏行业进行扶持，国内单晶硅的需求不断增加，国内现进的设备制造商已经提出了单晶硅的自动化生产线，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在单晶炉中段设有一个隔离阀座，为隔离阀提供了安装及活动空间。隔离阀主要用于隔离主炉室和副炉室，同时可以维持上下炉室的局部压力和温度，实现两个炉室不同的工作要求。因此隔离阀座需能承受两个炉室不同压力和温度，因此需要一种承压和耐温效果更好的隔离阀座。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于提供一种承压和耐温效果好的，且应用于单晶炉的隔离阀座。为解决上述技术问题，本技术提供一种应用于单晶炉的隔离阀座，包括隔离阀座主体和安装在隔离阀座主体中的隔离阀；所述隔离阀座主体包括上下两侧均设有开口的外筒和内筒，外筒套装在内筒外表面，外筒与内筒之间形成环形空腔Ⅰ；所述隔离阀座主体还包括操作口组件、上法兰和下法兰；所述隔离阀安装在内筒的内腔Ⅰ中；所述外筒上设有用于水循环的进水口和出水口；所述进水口和出水口均与环形空腔Ⅰ相连通；所述外筒和内筒顶端均与上法兰的下表面固定密封连接，底端均与下法兰的上表面固定密封连接；所述操作口组件部分嵌入环形空腔Ⅰ并与内筒的内腔Ⅰ相接通；所述操作口组件分别与内筒和外筒均固定密封连接。作为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座的改进：所述内筒是由一个外凸的半圆内壁和3个方形内壁构成的前圆后方形的内筒；所述方形内壁和半圆内壁顶部均与上法兰的下表面垂直固定密封连接，底部均与下法兰的上表面垂直固定密封连接；所述外筒是由一个外凸的半圆外壁和3个方形外壁构成的前圆后方形的外筒；所述方形外壁和半圆外壁顶部均与上法兰的下表面垂直固定密封连接，底部均与下法兰的上表面垂直固定密封连接；所述半圆内壁正对半圆外壁。作为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座的进一步改进：所述操作口组件包括操作口外筒、操作口内筒和中心处设有观察窗的操作口法兰；所述操作口外筒套装在操作口内筒外表面，操作口外筒与操作口内筒的顶端均与操作口法兰密封固定相连；所述操作口外筒的底端与半圆外壁密封固定相连，操作口内筒的底端与半圆内壁密封固定相连。作为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座的进一步改进：所述隔离阀座主体还包括两个观察窗玻璃座，在两个相互面对的方形外壁上各设置一个观察窗玻璃座，每个观察窗玻璃座的结构如下：所述观察窗玻璃座嵌入环形空腔Ⅰ中，在方形外壁上设有外观察口，在方形内壁上设有内观察口，所述观察窗玻璃座的两端分别与外观察口和内观察口密封固定相连。作为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座的进一步改进：在两个相互面对的方形外壁中的一个上设置用于安装激光传感器的侧法兰，在另一个上设置用于安装掺杂器的安装法兰和用于启动封口密封的真空法兰；所述侧法兰固定在方形外壁上，安装法兰和真空法兰均密封的贯穿方形内壁和方形外壁，并与内腔Ⅰ相接通。作为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座的进一步改进：所述真空法兰为KF25X40法兰。作为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座的进一步改进：所述隔离阀内嵌翻板阀。与现有技术相比，本技术的技术优势在于：1、本技术为由内筒和外筒形成双层结构，还可在其之间的环形空腔Ⅰ中注以冷水，增强了承压和耐热性；2、本技术操作口组件中心处设有观察窗，外筒中两个相互面对的方形外壁上设有观察窗玻璃座，能够对籽晶进行观察和定位。附图说明下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细说明。图1为本技术一种应用于单晶炉的隔离阀座立体结构示意图；图2为图1的主视示意图；图3为图1的俯视示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术进行进一步描述，但本技术的保护范围并不仅限于此。实施例1、一种应用于单晶炉的隔离阀座，如图1-3所示，包括隔离阀座主体和位于隔离阀座主体内的隔离阀。其中隔离阀座主体包括上下两侧均设有开口的外筒和内筒，以及操作口组件1、观察窗玻璃座2、上法兰3、真空法兰4、安装法兰5、下法兰6和侧法兰7；隔离阀位于内筒的内腔Ⅰ中，用于隔离主炉室和副炉室，本实施例中隔离阀内嵌翻板阀(隔离阀的工作方式为现有技术，因此不再此处详述)。内筒是由一个外凸的半圆内壁和3个方形内壁构成的前圆后方形的内筒；方形内壁和半圆内壁顶部均与上法兰3的下表面垂直固定密封连接，底部均与下法兰6的上表面垂直固定密封连接；外筒是由一个外凸的半圆外壁和3个方形外壁构成的前圆后方形的外筒；方形外壁和半圆外壁顶部均与上法兰3的下表面垂直固定密封连接，底部均与下法兰6的上表面垂直固定密封连接；上述外筒套装在内筒的外表面，且半圆内壁正对半圆外壁，外筒与内筒之间形成环形空腔Ⅰ；具体连接方式如下：上法兰3和下法兰6与内筒和外筒组对焊接；首先通过四周电焊将方形内壁固定在上法兰3和下法兰6之间，此时上法兰3和下法兰6相平行且均与方形内壁相垂直，之后再在上法兰3和下法兰6之间安装半圆内壁，用拉紧带包紧方形内壁和半圆内壁，使方形内壁和半圆内壁间保持间隙2-3mm，并分段点固定(坡口60°，钝边1mm，余高0-1mm，外壁厚5mm)；最后将方形内壁和半圆内壁构成的内筒与上法兰3和下法兰6环缝，先点焊预制(角焊，焊缝5X45°)最后采用双面焊(坡口45°，角焊，焊缝5X45°)将其焊接成一个整体。由方形外壁和半圆外壁所构成的外筒与上法兰3和下法兰6的连接方式与上述相同，故不重复描述；隔离阀座主体采用双层结构，提高了承压性，避免隔离阀座主体在切换炉室时由于压力变化损坏并带来安全隐患，提高了单晶炉工作的安全性和稳定性。操作口组件1用于进行拆卸和更换籽晶夹头的工作，操作口组件1包括操作口法兰、操作口内筒和操作口外筒；操作口外筒套装在操作口内筒外表面，操作口外筒与操作口内筒的顶端均与操作口法兰密封相连；操作口外筒的底端与半圆外壁密封相连，操作口内筒的底端与半圆内壁密封固定相连。上述固定方式均为双面焊(内：坡口60°，余高0-1mm外：角焊，焊缝3X45°)操作口内筒的内腔Ⅱ与内腔Ⅰ相连通，操作口内筒与操作口外筒之间的环形空腔Ⅱ与环形空腔Ⅰ相连通；外筒上还设有两个用于进行水循环的通孔，分别为进水口和出水口，进水口和出水口均与环形空腔Ⅰ相连通；本实施例中进水口和出水口设在方形外壁上；冷水从进水孔进入环形空腔Ⅰ和环形空腔Ⅱ后再由出水口流出，实现冷水进热水出的水流循环，不仅提高了隔离阀座主体的耐热性，还使单晶硅加速冷却，提高产量。操作口法兰中心处设有透明的观察窗，该观察窗为圆形，工作人员可通过观察窗对单晶硅的生产情况进行观察。在两个相互面对的方形外壁上各设置一个观察窗玻璃座2，每个观察窗玻璃座2的结构如下：观察窗玻璃座2嵌入环形空腔Ⅰ中；在方形外壁上设有外观察口，方形内壁上设有内观察口，每个观察窗玻璃座2均与外观察口和内观察口密封固定相连。工作人员能够通过观察窗玻璃座2对籽晶位置进行定位和监控。在两个相互面对的方形外壁中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于单晶炉的隔离阀座，包括隔离阀座主体和安装在隔离阀座主体中的隔离阀；其特征在于：所述隔离阀座主体包括上下两侧均设有开口的外筒和内筒，外筒套装在内筒外表面，外筒与内筒之间形成环形空腔Ⅰ；所述隔离阀座主体还包括操作口组件(1)、上法兰(3)和下法兰(6)；所述隔离阀安装在内筒的内腔Ⅰ中；所述外筒上设有用于水循环的进水口和出水口；所述进水口和出水口均与环形空腔Ⅰ相连通；所述外筒和内筒顶端均与上法兰(3)的下表面固定密封连接，底端均与下法兰(6)的上表面固定密封连接；所述操作口组件(1)部分嵌入环形空腔Ⅰ并与内筒的内腔Ⅰ相接通；所述操作口组件(1)分别与内筒和外筒均固定密封连接。

【技术特征摘要】
1.一种应用于单晶炉的隔离阀座，包括隔离阀座主体和安装在隔离阀座主体中的隔离阀；其特征在于：所述隔离阀座主体包括上下两侧均设有开口的外筒和内筒，外筒套装在内筒外表面，外筒与内筒之间形成环形空腔Ⅰ；所述隔离阀座主体还包括操作口组件(1)、上法兰(3)和下法兰(6)；所述隔离阀安装在内筒的内腔Ⅰ中；所述外筒上设有用于水循环的进水口和出水口；所述进水口和出水口均与环形空腔Ⅰ相连通；所述外筒和内筒顶端均与上法兰(3)的下表面固定密封连接，底端均与下法兰(6)的上表面固定密封连接；所述操作口组件(1)部分嵌入环形空腔Ⅰ并与内筒的内腔Ⅰ相接通；所述操作口组件(1)分别与内筒和外筒均固定密封连接。2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的隔离阀座，其特征在于：所述内筒是由一个外凸的半圆内壁和3个方形内壁构成的前圆后方形的内筒；所述方形内壁和半圆内壁顶部均与上法兰(3)的下表面垂直固定密封连接，底部均与下法兰(6)的上表面垂直固定密封连接；所述外筒是由一个外凸的半圆外壁和3个方形外壁构成的前圆后方形的外筒；所述方形外壁和半圆外壁顶部均与上法兰(3)的下表面垂直固定密封连接，底部均与下法兰(6)的上表面垂直固定密封连接；所述半圆内壁正对半圆外壁。3.根据权利要求2所述的一种应用于单晶炉的隔离阀座，其特征在于：所述操作口组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：王巍，曹建伟，傅林坚，葛达富，陈杭，韦韬，樊德隆，
申请(专利权)人：浙江晶鸿精密机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33