A device for the circulation of hot gas and reaction liquid of a water bath method, which comprises a reaction tank, a hot air circulation blast device, a pumping unit, an intake unit, and a heating device. The reaction tank consists of a reaction tank and an upper cover of the reaction slot, and the hot air circulating blast device is located outside the reaction tank and is included in the heat gas cycle. A hot air circulation blower, a valve for adjusting the air volume, a pressure gauge for measuring the air pressure, and a multi pipe air discharge for air separation. The pumping unit is set above the side of the reaction tank, including the suction hole, the suction pipe, the exhaust air volume regulating valve, the heat resistant pipe and the tube bundle; the intake unit is set below the reaction tank. It includes air inlet, intake pipe, intake air volume regulating valve, heat resistant pipe and tube bundle; heating device is located above the reaction trough; heater is installed on the upper part of the reaction tank, and reacting liquid is heated by radiation heating; then the flexible substrate is transported to the reaction liquid in the reaction tank through the conveying device to realize the film deposition.
【技术实现步骤摘要】
一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置
本技术涉及的是一种新型环保的太阳能电池制造中的缓冲层薄膜的制备方法,特别是一种适用于铜铟镓硒柔性薄膜电池无污染的水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及方法,属于第二代太阳能电池生产制作
的重要部分。
技术介绍
在未来的20到25年内,石油产量将达到高峰,之后便会开始下滑。开发中国家的发展,将加速石油消耗,全世界将面临石油能源耗竭、成本高昂及环保问题。因此,再生能源如太阳能电池的发展及需求与日俱增,在未来数十年内扮演重要角色。铜铟镓硒(Cu(In,Ga)Se2,简称CIGS)薄膜太阳能电池具有低成本、高效率、稳定性好等优点,是公认的最具有发展和市场潜力的第二代太阳能电池;采用CIGS吸收层的光伏模组可以高效的将光能直接转换为电能,目前小面积电池的研发效率世界纪录达到22.6%,组件效率达到16.5%,是目前公认的最具有前景的一种低成本高效率的光伏技术。铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制作成本中,缓冲层的成本约占电池成本的20%,因此缓冲层扮演相当重要的角色,制作缓冲层的方法很多,其中化学水浴沉积法使用最普遍,其优点为设备和工艺简单,成本低廉,成膜均匀致密;但水浴法中的原料之一氨水在高温条件下极易损失,导致原料浪费和废气处理等一系列问题,限制了水浴法制备薄膜的发展和应用。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的不足,而提供一种结构组成简单,使用操作方便,节省成本,提高工作效率,能大幅缩短柔性衬底和反应液加热所需要的时间,热能能够充分再利用从而达到节能省电效果的水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及 ...
【技术保护点】
一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置,包括反应槽体(1)、热气循环鼓风装置(2)、抽气单元(3)、进气单元(4)和加热装置(5),其特征在于所述的反应槽体(1)包括反应槽(101)及反应槽上盖(102);所述热气循环鼓风装置(2)位于反应槽体(1)外部,包含用于热气循环的热气循环鼓风机(201)、用于调整气量的风门(202)、用于测量风压的压力表(203)、用于分气的多管路气排(204);所述抽气单元(3)设置于反应槽体两侧上方,包括抽气孔(301)、抽气管(302)、抽气风量调节阀门(303)、耐热风管(304)和管束(305);所述进气单元(4)设置于反应槽体两侧下方,包括进气孔(401)、进气管(402)、进气风量调节阀门(403)、耐热风管(304)和管束(305);且抽气单元与进气单元对应成对出现;所述加热装置(5)位于反应槽正上方,以便用于均匀加热衬底(6)和反应液(7)。
【技术特征摘要】
1.一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置,包括反应槽体(1)、热气循环鼓风装置(2)、抽气单元(3)、进气单元(4)和加热装置(5),其特征在于所述的反应槽体(1)包括反应槽(101)及反应槽上盖(102);所述热气循环鼓风装置(2)位于反应槽体(1)外部,包含用于热气循环的热气循环鼓风机(201)、用于调整气量的风门(202)、用于测量风压的压力表(203)、用于分气的多管路气排(204);所述抽气单元(3)设置于反应槽体两侧上方,包括抽气孔(301)、抽气管(302)、抽气风量调节阀门(303)、耐热风管(304)和管束(305);所述进气单元(4)设置于反应槽体两侧下方,包括进气孔(401)、进气管(402)、进气风量调节阀门(403)、耐热风管(304)和管束(305);且抽气单元与进气单元对应成对出现;所述加热装置(5)位于反应槽正上方,以便用于均匀加热衬底(6)和反应液(7)。2.根据权利要求1所述水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置,其特征在于所述的反应槽(101)入口处高度高于出口处高度,便于反应液...
【专利技术属性】
技术研发人员:李敏,钱喆瑜,张情情,钟华良,朱家宽,刘杰鹏,高锦龙,
申请(专利权)人:旭科新能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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