The utility model relates to a semiconductor silicon rod diamond wire cutting technical field, involving a semiconductor silicon rod moving pair adjustment device, including a supporting platform on which at least one pair of adjusting mechanisms for placing silicon rods is provided, and the middle adjustment mechanism includes a left and right spiral wire mounted on a slide groove. The two ends of the left and right spiral rods have the opposite threads of rotation, and the two threads are connected with the left screw nut and the right screw nut respectively. The left screw nut and the right screw nut are used for reverse movement when the left and right spiral rods are rotated; the left screw nut and the right screw nut are respectively fitted with a wedge support block. A pair of wedge-shaped support blocks is symmetrical. The utility model can adapt to the cutting requirements of different length silicon rods. At the same time, the placement height of the silicon rod can be adjusted according to the actual situation, to ensure the horizontal degree of the axis of the silicon rod, and to solve the current problem of surface slanting.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体硅棒活动对中调节装置
本技术涉及半导体硅棒金刚线切割
,特别涉及一种半导体硅棒活动对中调节装置。
技术介绍
总所周知,单晶硅具有较高的光电转换效率,随着我国半导体技术的逐步成熟,中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体硅片件在制造时,需将硅棒进行切割截断,以便于通过后续的工序加工成硅片。在实际的生产过程中,由于生产出来的半导体硅棒不可能是标准的圆柱体,表面会出现凹凸不平的状态,目前大多是硅棒都采用固定的楔形块支撑,这种支撑方式结构简单,但是不能够调节,因而无法满足需求。有人在楔形块支撑的此基础上,增加一根丝杆滑块等结构,能够实现楔形块活动可调,但是这种结构由于是单向的,调节起来比较费时。还有一些采用气缸支撑方式,这种支撑方式可以实现自动化,但是由于气体具有可压缩性,因而这种支撑并不能是很牢固,会出现一定程度的压缩倒退现象。综上所述,硅棒对中调节技术一直是硅棒切割领域中的一个难题,如何克服硅棒表面的不规则形状,设计一种方便可靠的对中调节机构,对提升产品切割质量、提升材料利用率有很大的帮助。
技术实现思路
本技术针对现有技术中在支撑硅棒时硅棒轴线的水平度低,硅棒倾斜导致硅棒后续生产质量低的问题,而提供一种半导体硅棒活动对中调节装置。一种半导体硅棒活动对中调节装置,包括一个支撑平台,所述支撑平台上至少设有一对用于放置硅棒的对中调节机构,所述对中调节机构包括安装在滑槽上的左右旋梯形丝杆;所述左右旋梯形丝杆两端分别具有旋转方向相反的螺纹,该两处螺纹分别与左旋螺母和右旋螺母配合连接,所述左旋螺母和右旋螺母用于在左右旋梯形丝杆转动时反向运动;所述左旋螺母和右旋螺 ...
【技术保护点】
一种半导体硅棒活动对中调节装置,其特征在于:包括一个支撑平台,所述支撑平台上至少设有一对用于放置硅棒的对中调节机构,所述对中调节机构包括安装在滑槽上的左右旋梯形丝杆;所述左右旋梯形丝杆两端分别具有旋转方向相反的螺纹,该两处螺纹分别与左旋螺母和右旋螺母配合连接,所述左旋螺母和右旋螺母用于在左右旋梯形丝杆转动时反向运动;所述左旋螺母和右旋螺母上分别装有楔形支撑块,所述一对楔形支撑块相对称。
【技术特征摘要】
1.一种半导体硅棒活动对中调节装置,其特征在于:包括一个支撑平台,所述支撑平台上至少设有一对用于放置硅棒的对中调节机构,所述对中调节机构包括安装在滑槽上的左右旋梯形丝杆;所述左右旋梯形丝杆两端分别具有旋转方向相反的螺纹,该两处螺纹分别与左旋螺母和右旋螺母配合连接,所述左旋螺母和右旋螺母用于在左右旋梯形丝杆转动时反向运动;所述左旋螺母和右旋螺母上分别装有楔形支撑块,所述一对楔形支撑块相对称。2.根据权利要求1所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置,其特征在于:所述对中调节机构至少设有三个,其两端的对中调节机构分别固定在所述支撑平台上,处于中间的对中调节机构用于在所述支撑平台的长度方向上水平移动。3.根据权利要求2所述的一种半导体硅棒活动对中调节装置,其特征在于:所述用于水平移动的对中调节机构下方相应的安装有活动机构,所述活动机构包括与对中调节机构固定连接的结构件,可转动的安装在所述结构件上的转轴及与转轴连接的手轮;所述转轴上配合固定装有齿轮,该齿轮与固定在支撑平台上的一齿条啮合传动,所述活动机构的结构件与安装在所述支撑平台上的导轨滑块组件...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,傅林坚,谢永旭,李林,卢嘉彬,徐开涛,沈文杰,杨铁明,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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