一种真空吸笔制造技术

本发明专利技术是一种真空吸笔，其结构包括真空吸头、真空吸头多角度调节机构和真空检测系统，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；真空检测系统包括真空指示灯、微型电源和真空检测传感器，真空指示灯、微型电源和真空检测传感器串联连接。优点：1、真空吸头多角度调节机构可以调节旋转固定，满足各种设备及人工搬运的需求。2.真空吸笔的真空检测系统，可避免因为真空管堵塞或者开关损坏造成的晶片报废。

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸笔
本专利技术涉及一种真空吸笔，属于晶片吸取

技术介绍
半导体制造业里，工艺制程必须要防污防尘，但在加工和产品流转时难免会接触或者手工搬运晶片，特别是在某些化合物工艺制程中，由于自动化程度较低，手动接触晶片的概率会大大增加。由于砷化镓、氮化镓的成本相对于硅片要高很多，所以不仅要保证防污防尘，更重要的是要保证晶片的安全。
技术实现思路
本专利技术提出了一种真空吸笔，旨在提供一种真空吸头可调节旋转固定、同时防止晶片破损的真空吸笔。本专利技术的技术方案：一种真空吸笔，其结构包括真空吸头9和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管10、B真空金属细管18、橡胶软管11、固定金属管12、螺丝13、旋转导轨14；其中，真空吸头9与A真空金属细管10的A端连接，A真空金属细管10的B端通过橡胶软管11与B真空金属细管18的A端连接，固定金属管12的A端与A真空金属细管10连接，B端设有螺丝13，固定金属管12的B端可沿着导轨14调节角度并通过螺丝13固定，导轨14与B真空金属细管18连接；所述B真空金属细管18的B端设有内螺纹链接接头15。本专利技术的有益效果：1、真空吸头多角度调节机构可以调节旋转固定，满足各种设备及人工搬运的需求。2.真空吸笔的真空检测系统，可避免因为真空管堵塞或者开关损坏造成的晶片报废。附图说明图1是一种真空吸笔的部分主视图。图2是一种真空吸笔的多角度调节机构。图3是一种真空吸笔的真空检测系统示意图。图中1是真空开关；2是真空指示灯；3是真空开关前端真空管路；4是分支管路；5是真空检测系统；6是真空开关后端真空管路；7是真空软管；8是真空吸头连接螺纹；9是真空吸头；10是真空金属细管；11是橡胶软管连接；12是固定金属管；13是锁紧螺丝；14是旋转导轨；15是内螺纹链接接头；16是微型电源；17是真空传感器；18是真空金属细管。具体实施方式一种真空吸笔，其结构包括真空吸头9和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管10、B真空金属细管18、橡胶软管11、固定金属管12、螺丝13、旋转导轨14；其中，真空吸头9与A真空金属细管10的A端连接，A真空金属细管10的B端通过橡胶软管11与B真空金属细管18的A端连接，固定金属管12的A端与A真空金属细管10连接，B端设有螺丝13，固定金属管12的B端可沿着导轨14调节角度并通过螺丝13固定，导轨14与B真空金属细管18连接；所述B真空金属细管18的B端设有内螺纹链接接头15。所述导轨14有两条，所述螺丝13有两个。所述真空吸笔还包括笔杆、真空开关1、真空开关前端真空管路3、真空开关后端真空管路6；其中，真空开关1设于笔杆杆身中部，笔杆中真空开关1的前端为真空开关前端真空管路3，真空开关1的后端为真空开关后端真空管路6，笔杆的真空开关前端真空管路3端设有真空吸头连接螺纹8，真空吸头连接螺纹8与所述内螺纹链接接头15通过螺纹连接，笔杆的真空开关后端真空管路6端连接真空软管。还包括分支管路4和真空检测系统，所述真空检测系统包括真空指示灯2、微型电源16和真空检测传感器17，真空指示灯2、微型电源16和真空检测传感器17串联连接；其中，分支管路4位于笔杆内，连接真空开关前端真空管路3和真空检测系统。所述微型电源16为外接电源。下面结合附图进一步说明本专利技术的技术方案。对照附图1，一种真空吸笔，包括笔杆、真空开关1、真空指示灯2、真空开关前端真空管路3、分支管路4、真空检测系统5、真空开关后端真空管路6、真空软管7和真空吸头连接螺纹8；其中，真空开关1设于笔杆杆身中部，笔杆中真空开关1的前端为真空开关前端真空管路3，真空开关1的后端为真空开关后端真空管路6，笔杆的真空开关前端真空管路3端设有真空吸头连接螺纹8，真空吸头连接螺纹8与所述内螺纹链接接头15通过螺纹连接，笔杆的真空开关后端真空管路6端连接真空软管7，分支管路4位于笔杆内，连接真空开关前端真空管路3和真空检测系5。对照附图2，一种真空吸笔，包括真空吸头9和真空吸头多角度调节机构，真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管10、B真空金属细管18、橡胶软管11、固定金属管12、螺丝13、旋转导轨14；其中，真空吸头9与A真空金属细管10的A端连接，A真空金属细管10的B端通过橡胶软管11与B真空金属细管18的A端连接，固定金属管12的A端与A真空金属细管10连接，B端设有螺丝13，固定金属管12的B端可沿着导轨14调节角度并通过螺丝13固定，导轨14与B真空金属细管18连接；所述B真空金属细管18的B端设有内螺纹链接接头15；导轨14有两条，螺丝13有两个。对照附图3，,真空检测系统包括真空指示灯2、微型电源16和真空检测传感器17，真空指示灯2、微型电源16和真空检测传感器17串联连接。微型电源16也可以为外接电源。实施例1真空检测系统5中的真空传感器预设定预设值，当安装完毕的真空吸笔松开开关1吸住晶片后，当真空开关前端真空管路3中的真空值达到该预设值后输出一个电压，附在真空开关前端真空管路3上的真空指示灯2会亮起。操作者可以根据真空指示灯2来判断晶片是否安全以及是否真空吸笔已有故障。松开13螺丝，沿着导轨14调节实际操作中所需要的角度，紧固螺丝13。可水平可带角度的真空吸头可满足大部分设备及搬运需求。微型电源（也可以是外接）16提高电源给指示灯和真空传感器17，当所检测的真空到达设定值的时候真空传感器相当于导通的导线，指示灯2变亮。真空吸头连接螺纹8与图2中的内螺纹链接接头15通过螺纹连接。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空吸笔，其特征在于其结构包括真空吸头和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；其中，真空吸头与A真空金属细管的A端连接，A真空金属细管的B端通过橡胶软管与B真空金属细管的A端连接，固定金属管的A端与A真空金属细管连接，固定金属管的B端设有螺丝，固定金属管的B端可沿着导轨调节角度并通过螺丝固定，导轨与 B真空金属细管连接；所述B真空金属细管的B端设有内螺纹链接接头。

【技术特征摘要】
1.一种真空吸笔，其特征在于其结构包括真空吸头和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；其中，真空吸头与A真空金属细管的A端连接，A真空金属细管的B端通过橡胶软管与B真空金属细管的A端连接，固定金属管的A端与A真空金属细管连接，固定金属管的B端设有螺丝，固定金属管的B端可沿着导轨调节角度并通过螺丝固定，导轨与B真空金属细管连接；所述B真空金属细管的B端设有内螺纹链接接头。2.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述导轨有两条，所述螺丝有两个。3.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于：所述真空吸笔还包括笔杆、真空开关、真空开关前端真空管路、真空开...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏久龙，王向阳，刘磊，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：发明
国别省市：江苏,32