【技术实现步骤摘要】
一种硅片校正机构
本专利技术涉及硅片校正机构
,具体为一种硅片校正机构。
技术介绍
一般的装置硅片在运动过程中与承载装置间的关系不确定,使其摇摆而增加了碎片率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片校正机构,具有碎片率低的优点,解决了现有技术中的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种硅片校正机构,包括运载装置底座,所述运载装置底座的顶部设置有运输块,所述运输块在运载装置底座的顶部滑动,所述运输块的一侧设置有运载侧板,所述运载侧板倾斜安装在运载装置底座的顶部两侧,所述运载侧板成对对称安装在运载装置底座的顶部两侧,所述运载侧板之间设置有硅片,所述硅片的底部卡接在运输块顶部的卡槽内部,所述硅片的侧边卡在运载侧板之间,所述硅片倾斜卡接在运输块顶部的卡槽内部,倾斜角度与运载侧板的倾斜角度相同,所述硅片的一侧设置有吸片机构,所述吸片机构的吸板倾斜安装,倾斜角度与硅片的倾斜角度相同,所述吸片机构面对硅片的一面安装有吸头,所述吸片机构背对着硅片的一面安装有连接装置。优选的,所述运输块的顶部设置有卡槽,卡槽的尺寸与硅片底部的尺寸相同。优选的,所述连接装置与真空机连接。优选的,所述运载侧板固定安装在运载装置底座的顶部两侧。优选的,所述吸头的倾斜角度与硅片的倾斜角度相同。与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下:本硅片校正机构,硅片倾斜卡接在运输块顶部的卡槽内部,倾斜角度与运载侧板的倾斜角度相同,硅片的一侧设置有吸片机构,吸片机构的吸板倾斜安装,倾斜角度与硅片的倾斜角度相同,吸片机构面对硅片的一面安装有吸头,吸头的倾斜角度与硅片的倾斜角度相同,吸片机 ...
【技术保护点】
一种硅片校正机构,包括运载装置底座(1),其特征在于:所述运载装置底座(1)的顶部设置有运输块(11),所述运输块(11)在运载装置底座(1)的顶部滑动,所述运输块(11)的一侧设置有运载侧板(2),所述运载侧板(2)倾斜安装在运载装置底座(1)的顶部两侧,所述运载侧板(2)成对对称安装在运载装置底座(1)的顶部两侧,所述运载侧板(2)之间设置有硅片(3),所述硅片(3)的底部卡接在运输块(11)顶部的卡槽内部,所述硅片(3)的侧边卡在运载侧板(2)之间,所述硅片(3)倾斜卡接在运输块(11)顶部的卡槽内部,倾斜角度与运载侧板(2)的倾斜角度相同,所述硅片(3)的一侧设置有吸片机构(4),所述吸片机构(4)的吸板倾斜安装,倾斜角度与硅片(3)的倾斜角度相同,所述吸片机构(4)面对硅片(3)的一面安装有吸头(41),所述吸片机构(4)背对着硅片(3)的一面安装有连接装置(42)。
【技术特征摘要】
1.一种硅片校正机构,包括运载装置底座(1),其特征在于:所述运载装置底座(1)的顶部设置有运输块(11),所述运输块(11)在运载装置底座(1)的顶部滑动,所述运输块(11)的一侧设置有运载侧板(2),所述运载侧板(2)倾斜安装在运载装置底座(1)的顶部两侧,所述运载侧板(2)成对对称安装在运载装置底座(1)的顶部两侧,所述运载侧板(2)之间设置有硅片(3),所述硅片(3)的底部卡接在运输块(11)顶部的卡槽内部,所述硅片(3)的侧边卡在运载侧板(2)之间,所述硅片(3)倾斜卡接在运输块(11)顶部的卡槽内部,倾斜角度与运载侧板(2)的倾斜角度相同,所述硅片(3)的一侧设置有吸片机构(4),所述吸片机构(...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁力,
申请(专利权)人:无锡优耐特能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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