一种判定线性制程不均匀的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种判定线性制程不均匀的方法及装置，所述方法包括：获取检测对象的图像；基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉；对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定。本发明专利技术实施例提供的一种判定线性制程不均匀的方法，提高了线性制程不均匀判定的准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种判定线性制程不均匀的方法及装置
本专利技术实施例涉及半导体检测
，尤其涉及一种判定线性制程不均匀的方法及装置。
技术介绍
半导体行业中，在面板制程中，所述面板例如AMOLED(ActiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，有源矩阵有机发光二极体)或者TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)，线性制程不均匀检测是一个比较重要的环节，所述线性制程不均匀具体可以是指面板显示亮度不均匀或者面板有各种痕迹的现象。目前线性制程不均匀检测主要是通过人眼目视进行检测，这种检测方式主观性强，误判、漏判风险高，且效率低，更无法量化看到的现象。或者通过自动光学检查机进行检测，但是通过自动光学检查机进行检测的方式会因光学噪声干扰而造成检测失效。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种判定线性制程不均匀的方法及装置，提高了线性制程不均匀判定的准确度。第一方面，本专利技术实施例提供了一种判定线性制程不均匀的方法，所述方法包括：获取检测对象的图像；基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉；对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定。进一步地，所述基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域，包括：对所述图像进行二值化处理；统计设定面积内黑色像素点数量与白色像素点数量的比值；通过将所述比值与阈值进行比较确定所述图像的不均匀区域。进一步地，所述根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度，包括：根据预设检测方向从所述不均匀区域中确定一条沿所述特定方向的直线；计算所述直线与所述预设检测方向之间的夹角；将所述夹角作为所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度。进一步地，所述预设检测方向包括X方向和Y方向；当所述预设检测方向为X方向时，所述特定方向为Y方向；当所述预设检测方向为Y方向时，所述特定方向为X方向。进一步地，所述对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定，包括：统计所述未过滤掉的不均匀区域中黑色像素点数量与白色像素点数量的比值；根据所述比值进行不均匀判定。进一步地，所述方法还包括：根据所述未过滤掉的不均匀区域的不均匀判定结果进行制程异常判断。第二方面，本专利技术实施例还提供了一种判定线性制程不均匀的装置，所述装置包括：获取模块，用于获取检测对象的图像；识别模块，用于基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；计算模块，用于根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；过滤模块，用于基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉；判定模块，用于对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定。进一步地，所述识别模块包括：处理单元，用于对所述图像进行二值化处理；统计单元，用于统计设定面积内黑色像素点数量与白色像素点数量的比值；识别单元，用于通过将所述比值与阈值进行比较确定所述图像的不均匀区域。进一步地，所述计算模块包括：确定单元，用于根据预设检测方向从所述不均匀区域中确定一条沿所述特定方向的直线；计算单元，用于计算所述直线与所述预设检测方向之间的夹角，并将所述夹角作为所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度。进一步地，所述预设检测方向包括X方向和Y方向；当所述预设检测方向为X方向时，所述特定方向为Y方向；当所述预设检测方向为Y方向时，所述特定方向为X方向；所述装置还包括：制程异常判断模块，用于根据所述未过滤掉的不均匀区域的不均匀判定结果进行制程异常判断。本专利技术实施例提供的一种判定线性制程不均匀的方法，通过获取检测对象的图像；基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉，对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定的技术手段，提高了线性制程不均匀判定的准确度。附图说明图1是本专利技术实施例一提供的一种判定线性制程不均匀的方法流程示意图；图2是本专利技术实施例一提供的一种基于线性偏移角度以及设定过滤尺寸确定过滤区域的结构展示示意图；图3是本专利技术实施例二提供的一种判定线性制程不均匀的方法流程示意图；图4是本专利技术实施例三提供的一种判定线性制程不均匀的装置结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各项步骤描述成顺序的处理，但是其中的许多步骤可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各项步骤的顺序可以被重新安排。当其步骤完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。实施例一图1为本专利技术实施例一提供的一种判定线性制程不均匀的方法流程示意图，该方法可适用于在半导体显示面板的制程中对线性制程不均匀进行判定的情况，该方法可以由判定线性制程不均匀的装置执行，所述装置可以通过软件和/或硬件的方式实现。具体参见图1所示，该方法具体包括如下步骤：步骤110、获取检测对象的图像。其中，所述检测对象可以是显示面板，例如AMOLED或者TFT。获取检测对象的图像可以通过CCD(ChargeCoupledDevice，电荷耦合器件)相机对检测对象进行持续扫描获得，例如假设检测对象为AMOLED，AMOLED保持固定位置不动，CCD相机以合适的角度并保持一定的移动速度对AMOLED进行持续拍摄，获得多张图像；所述角度以及移动速度以拍摄的图像清晰度满足要求为基准进行调节。步骤120、基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域。具体的，识别所述检测对象的不均匀区域可以通过对检测对象的图像进行特征提取，通过提取的特征进一步识别所述检测对象的不均匀区域；或者将所述图像与标准图像进行比对，与标准图像不相同的区域被认为是不均匀区域，所述标准图像与所述图像是来自同一规格的检测对象，所述标准图像对应的检测对象不存在不均匀区域。还可以通过图像的信噪比识别不均匀区域，或者首先通过对所述图像进行二值化处理，然后通过统计黑色像素点数量与白色像素点数量的比值去识别检测对象的不均匀区域，具体可以参见实施例二所述。步骤130、根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度。其中，所述预设检测方向包括X方向和Y方向；当所述预设检测方向为X方向时，所述特定方向为Y方向；当所述预设检测方向为Y方向时，所述特定方向为X方向。示例性地，根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度，包括：根据预设检测方向从所述不均匀区域中确定一条沿所述特定方向的直线；计算所述直线与所述预设检测方向之间的夹角；将所述夹角作为所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度。假设所述预设检测方向为X方向，则所述特定方向为Y方向，具体可以参见图2所示的基于线性偏移角度以及设定过滤尺寸确定过滤区域的结构展示示意图。所述确定一条沿特定方向的直线可以通过找本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种判定线性制程不均匀的方法，其特征在于，包括：获取检测对象的图像；基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉；对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定。

【技术特征摘要】
1.一种判定线性制程不均匀的方法，其特征在于，包括：获取检测对象的图像；基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域；根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度；基于所述线性偏移角度以及设定过滤尺寸将所述特定方向上的不均匀区域过滤掉；对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述图像识别所述检测对象的不均匀区域，包括：对所述图像进行二值化处理；统计设定面积内黑色像素点数量与白色像素点数量的比值；通过将所述比值与阈值进行比较确定所述图像的不均匀区域。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述根据预设检测方向计算所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度，包括：根据预设检测方向从所述不均匀区域中确定一条沿所述特定方向的直线；计算所述直线与所述预设检测方向之间的夹角；将所述夹角作为所述不均匀区域特定方向上的线性偏移角度。4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述预设检测方向包括X方向和Y方向；当所述预设检测方向为X方向时，所述特定方向为Y方向；当所述预设检测方向为Y方向时，所述特定方向为X方向。5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述对未过滤掉的不均匀区域进行不均匀判定，包括：统计所述未过滤掉的不均匀区域中黑色像素点数量与白色像素点数量的比值；根据所述比值进行不均匀判定。6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭连俊，杨慎东，颜圣佑，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32