一种晶片甩干机制造技术

本申请的目的是公开一种晶片甩干机，其特征在于，包括动力装置、与该动力装置连接的旋转平台以及设置于所述旋转平台上的限位柱，所述限位柱的数量至少为3根，所述限位柱包括夹持装置和调整装置，所述调整装置用于调整所述夹持装置的夹持力度；本实用新型专利技术所述的晶片甩干机，结构合理，设置人性化，使用非常便利，大大减少了甩干晶片的损坏率，节约了生产成本，市场价值大。

【技术实现步骤摘要】
一种晶片甩干机
本专利技术属于晶片干燥装
，尤其涉及一种晶片甩干机。
技术介绍
晶片是由晶棒根据设计尺寸切割，再经过车削，研磨，腐蚀等工艺加工成的。晶片表面总有一层由磨料和石英微粒构成的破坏层，再经过腐蚀后晶片表面成分复杂，有大量的金属离子和有机物，并且牢固的吸附在晶片上，如果不清除残留在晶片上的金属离子和有机物，被真空镀膜银层电极覆盖后，它们将在谐振器工作过程中，随着时间的推移发生应力变形而逐渐松动、脱落，造成谐振器频率发生漂移，电阻值增大。所以要对镀膜前的晶片进行清洗，清洗后的晶片表面带有水迹，如果不进行充分的干燥，同样会对晶片的频率造成很大的影响，生产出来的晶体谐振器就会不合格。所以对晶片清洗后的干燥也是非常重要的环节。目前国内大多公司使用微波炉或者专门的烘箱对晶片进行干燥，会对晶片造成污染，用微波炉时晶片会跳动，可能会造成晶片的损伤。干燥的时间太长而且不容易掌控。微波炉使用的时间长后容易发生故障。综合以上，现有的干燥方法存在如下问题①用微波炉或者烤箱烘干，其时间不容易掌握，相对干燥用时太长。②微波炉烘干时，会使晶片产生跳动，造成晶片表面损伤。③微波炉和烤箱使用时间长后，容易发生故障，对作业员构成危险。④微波炉和烤箱本身也会对晶片产生污染。此离心甩干机的设计正是解决了业内目前最棘手的晶片干燥问题。硅晶片甩干时，硅晶片放置在专用的甩干固定装置中，由于受到硅晶片大小的影响，针对不同规格的硅晶片，需要配置相对应规格的甩干固定装置，配置成本较高，且在使用时需要频繁地更换，生产效率低。传统甩干架是由甩干立柱与底部托盘固定在一起，晶圆片或其它需要干燥的物质放在立柱中间，启动甩干机，带动甩干架做高速的离心运行，但由于惯性的特点，在启动与停止瞬间，晶圆片与甩干架会出现不同步问题，造成晶圆片与立柱之间发生严重的碰撞，从而造成晶圆片边缘的损伤或内部出现微裂纹，更严重造成产品碎裂。从而造成直接或间接的损失或事故。因此，如何研发一种晶片甩干机，能够实现使用简单便利、不仅能够提高晶片甩干的的效率，并且节省人工人力成本，使晶片合格率提升等功能，便成为亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本申请解决的主要问题是提供一种使用简单便利、不仅能够提高晶片甩干的的效率，并且节省人工人力成本，使晶片合格率提升的晶片甩干机，以解决一种晶片甩干机不方便，易损坏晶片、震动幅度大，易摆动，而且切后使用率极低的技术问题。为了解决上述技术问题，本专利技术公开了一种晶片甩干机，其技术方案如下：一种晶片甩干机，其特征在于，包括动力装置、与该动力装置连接的旋转平台以及设置于所述旋转平台上的限位柱，所述限位柱的数量至少为3根，所述限位柱包括夹持装置和调整装置，所述调整装置用于调整所述夹持装置的夹持力度。优选的，所述旋转平台上设置有排水孔。优选的，所述限位柱均匀分布在所述旋转平台的边缘。优选的，所述限位柱为可滑动安装于所述旋转平台。优选的，所述排水孔形状为圆形、椭圆形或方形。优选的，所述排水孔的数量为至少两个。与现有技术相比，本申请所述的晶片甩干机，达到了如下效果：(1)本专利技术所述的晶片甩干机，所述限位柱包括夹持装置和调整装置，所述限位柱可以在高速甩干起步和减速停止的过程中减少由于晶片与甩干平台、限位柱之间不平衡而使晶片与平台，柱子之间碰撞，从而减少对晶片造成晶片边缘以及内部的微损伤，避免对后序加工造成更大的危险及损失；(2)由本专利技术提供的晶片甩干机，能够根据不同晶片的直径的大小滑动所述限位柱，以便于所述夹持装置顺利夹持所述晶片，可适用于各种大小的晶片，并且旋转过程中不会造成碰撞，甩干效果好，不会影响后续晶片的使用；(3)本专利技术所述的晶片甩干机，所述排水孔的设置利于水分的顺利排出，甩干效果好，使用方便，结构合理；(4)本专利技术所述的晶片甩干机，结构合理，设置人性化，使用非常便利，大大减少了甩干晶片的损坏率，节约了生产成本，市场价值大。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1是现有技术中的甩干机的结构示意图；图2是现有技术中的甩干机的结构示意图；图3是本专利技术所提供的晶片甩干机的结构示意图；图4是本专利技术所提供的晶片甩干机的结构示意图。具体实施方式如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。说明书后续描述为实施本申请的较佳实施方式，然所述描述乃以说明本申请的一般原则为目的，并非用以限定本申请的范围。本申请的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。以下结合附图对本申请作进一步详细说明，但不作为对本申请的限定。实施例一：如图3和图4本专利技术所提供的晶片甩干机的结构示意图所示，一种晶片甩干机，其特征在于，包括动力装置(图中未示出)、与该动力装置(图中未示出)连接的旋转平台1以及设置于所述旋转平台1上的限位柱2，所述限位柱2的数量至少为3根，所述限位柱2包括夹持装置21和调整装置22，所述调整装置22用于调整所述夹持装置21的夹持力度。如图1和图2现有技术中的甩干机结构示意图所示，限位装置3固定设置在旋转台4的周围，晶片5位于限位装置3中间，使用如图所示的现有的甩干机，在晶片5甩干的过程当中，由于高速甩干起步和减速停止的过程中，晶片5与旋转台4和限位装置3之间会发生相对运动，因而晶片5会由于碰撞而造成毁损；并且难以适应于不同大小的晶片5，即使直径差距很小，如果不是正好卡在限位装置中间，都有可能造成晶片5毁损，适用范围并不广泛。本专利技术提供的晶片甩干机，所述限位柱2包括夹持装置21和调整装置22，所述限位柱2可以在高速甩干起步和减速停止的过程中减少由于晶片5与旋转平台1、限位柱2之间不平衡而使晶片5与平台，柱子之间碰撞，从而减少对晶片5造成晶片5边缘以及内部的微损伤，避免对后序加工造成更大的危险及损失。实施例二：如图3和图4本专利技术所提供的晶片甩干机的结构示意图所示，一种晶片甩干机，其特征在于，包括动力装置(图中未示出)、与该动力装置(图中未示出)连接的旋转平台1以及设置于所述旋转平台1上的限位柱2，所述限位柱2的数量至少为3根，所述限位柱2包括夹持装置21和调整装置22，所述调整装置22用于调整所述夹持装置21的夹持力度。如图1和图2现有技术中的甩干机结构示意图所示，限位装置3固定设置在旋转台4的周围，晶片5位于限位装置3中间，使用如图所示的现有的甩干机，在晶片5甩干的过程当中，由于高速甩干起步和减速停止的过程中，晶片5与旋转台4和限位装置3之间会发生相对运动，因而晶片5会由于碰撞而造成毁损；并且难以适应于不同大小的晶片5，即使直径差距很小，如果不是正好卡在限位装置中间，都有可能造成晶片5毁损，适用范围并不广泛。本专利技术提供的晶片甩干机，所述限位柱2包括夹持装置21和调整装置22，所述限位柱2可以在高速甩干起步和减速停止的过程中减少由于晶片5与旋转平台1、限位柱2之间不平衡而使晶片5与平台，柱子之间碰撞，从而减少对晶片5造成晶片5边缘以及内部的微损伤，避免对后序加工造成更大的危险及损失本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片甩干机，其特征在于，包括动力装置、与该动力装置连接的旋转平台以及设置于所述旋转平台上的限位柱，所述限位柱的数量至少为3根，所述限位柱包括夹持装置和调整装置，所述调整装置用于调整所述夹持装置的夹持力度，所述旋转平台上设置有排水孔。

【技术特征摘要】
1.一种晶片甩干机，其特征在于，包括动力装置、与该动力装置连接的旋转平台以及设置于所述旋转平台上的限位柱，所述限位柱的数量至少为3根，所述限位柱包括夹持装置和调整装置，所述调整装置用于调整所述夹持装置的夹持力度，所述旋转平台上设置有排水孔。2.根据权利要求1所述的晶片甩干机，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：许子俊，
申请(专利权)人：中科晶电信息材料北京股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11