一种可重复利用的研磨方轴夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可重复利用的研磨方轴夹具，包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上；本实用新型专利技术提供的可重复利用的研磨方轴夹具，采用一种方轴夹具，能精确地控制晶圆研抛的方向，因而可获得精确的研磨精度。

【技术实现步骤摘要】
一种可重复利用的研磨方轴夹具
本技术涉及半导体晶圆的研磨抛光领域，进一步说，尤其涉及一种可重复利用的研磨方轴夹具。
技术介绍
在半导体晶圆研磨工艺流程中，一般先使用特制的蜡把晶圆粘接在玻璃载片上，然后把玻璃载片放置到夹具下面，夹具上端连接真空泵，通过上下连接的管路，真空泵把玻璃载片吸附在夹具下面。然后把夹具放置到研磨盘上面，通过研磨盘的转动、带动料液与夹具下面的晶圆相互摩擦，从而实现减薄晶圆的目的。夹具的目的除了吸附晶圆外，更关键的是要保证晶圆研磨&减薄后的平整度，目前市场上所使用的夹具是圆轴夹具，即通过圆轴在圆孔里面的上下移动来控制晶圆减薄的功能。夹具的精度就取决于其圆轴与圆孔间的间隙大小，间隙大就导致轴在研抛过程中摇摆，因而破坏了被研/抛面的平面度和平行度。圆轴夹具中圆轴和圆孔的配合对轴孔的加工精度要求非常高，且使用时间一长，轴孔出现间隙后，就无法维持原有的精度，夹具只能报废。
技术实现思路
本技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种可重复利用的研磨方轴夹具，其中，具体技术方案为：包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上。上述的可重复利用的研磨方轴夹具，其中：在方轴的上方设置长立柱，在方轴与长立柱之间设置真空吸管，在方轴的另一侧设置支撑环，在支撑环上设置支撑螺钉。上述的可重复利用的研磨方轴夹具，其中：所述方轴、长立柱的外侧设置磨削量预制环，磨削量预制环内设置上调压环和下调压环，真空密封环用二只内六角头螺钉紧固于方轴的上端。上述的可重复利用的研磨方轴夹具，其中：内六角头螺钉拧入螺钉，阴螺纹部分将主基板紧压在垫柱的顶部，罩环用四只内六角头螺钉紧固于主基板之上。本技术相对于现有技术具有如下有益效果：采用一种方轴夹具，能精确地控制晶圆研抛的方向，因而可获得精确的研磨精度；且其方轴与轴孔间的间隙因磨损而扩大后，可以把方轴拆出来，重新打磨达到精度要求，还可以完好的安装回去(因为采用拉钉和顶钉的方式装配，方轴重新打磨后尺寸变小只要调节下松紧度就可以保证方轴与调节板紧配)，可以大大延长夹具的使用寿命。此外，该夹具还具有调节研抛压力，预置磨削等功能。附图说明图1为的结构示意图。图中：具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的描述。本技术提供了一种可重复利用的研磨方轴夹具，一般的配合方法是方(圆)轴和方(圆)孔紧配，轴不仅要在孔中移动自如，而且其间的间隙四周要均匀且最小。本技术方案的关键点是在孔和轴之间不直接接触，而是在其中间置入调节板，即方轴的四周放四块调节板，然后放入“调节板套”，通过‘调节板’套上的很多拉钉和顶钉(一个面上均匀分布几十个)来调节“调节板”和方轴之间的间隙，从而确保方轴在调节板的包围下移动自如，且四周间隙均匀。方轴11是用四只内六角头螺钉28紧固于基板23之上,真空密封环14是用二只内六角头螺钉18紧固于轴11的上端，轴组合体(11、14、23)及所有联接于其上的零件统称为动组合体。垫柱2是用阴/阳螺钉3的阳螺纹部分固紧于驱动环1之上，内六角头螺钉32是拧入螺钉3的，阴螺纹部分将主基板4紧压在垫柱2的顶部。罩环8与主轴套(位于罩环8之内,分别用四只内六角头螺钉20紧固于主基板4之上。主轴套及其组合体包括零件(1、2、4、8)等所有固着于它们之上的零件,统称为静组合体。动组合体和静组合体是精密的滑动配合，轴11可在主轴套内上下自由滑动,但无摆动。在研磨盘旋转后的研抛过程中,静组合体总是贴在研磨机的研磨盘之上,其驱动环1支持着整个研具并紧靠在研磨机驱动臂的滚子上,被滚子所挡的整个夹具就在研磨盘上自转起来。研抛中，动组合体与静组合体同步旋转,并有个经载荷弹簧12抵减后可调的向下重力，能相对于静组合体向下滑动。晶片是用真空吸力或蜡粘着于安装板24上的，当晶片逐渐被研磨掉后,动组合体带着试样平行下移，最终使所研表面达到最佳平面度或平行度。一种可重复利用的研磨方轴夹具，包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上。在方轴的上方设置长立柱，在方轴与长立柱之间设置真空吸管，在方轴的另一侧设置支撑环，在支撑环上设置支撑螺钉，所述方轴、长立柱的外侧设置磨削量预制环，磨削量预制环内设置上调压环和下调压环，真空密封环用二只内六角头螺钉紧固于方轴的上端，内六角头螺钉拧入螺钉，阴螺纹部分将主基板紧压在垫柱的顶部，罩环用四只内六角头螺钉紧固于主基板之上。虽然本技术已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本技术，任何本领域技术人员，在不脱离本技术的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本技术的保护范围当以权利要求书所界定的为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可重复利用的研磨方轴夹具，其特征在于：包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上。

【技术特征摘要】
1.一种可重复利用的研磨方轴夹具，其特征在于：包括用于固定方轴的基板，基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定，在方轴的端部设置三个密封圈，分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三，所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板，在安装板上设置数个止停螺钉，在基板的下方是驱动环，垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上。2.如权利要求1所述的可重复利用的研磨方轴夹具，其特征在于：在方轴的上方设置长立柱，在方轴与长...

【专利技术属性】
技术研发人员：王碧浪，
申请(专利权)人：上海怀德机电有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31