简易压装式薄膜压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种简易压装式薄膜压力传感器，由引压嘴，弹性膜片，压盖，压帽组成，其特征在于：引压嘴上部加工有外螺纹，压盖套上所述压帽并拧在引压嘴的外螺纹上时，压盖将所述压帽和所述弹性膜片向下压紧，弹性膜片与所述第一密封圈紧密接触，形成完全密封。压盖与所述第二密封圈紧密接触，形成完全密封。由于采用橡胶密封圈密封以及螺纹紧固的形式，产品在进行疲劳试验、基本误差检定等工艺时，一旦出现渗漏或性能不好时，可以方便更换部件，降低生产成本。产品可广泛应用于机械、石化、冶金、橡胶、汽车、制药、食品、水处理以及工业控制与物联网等领域。

【技术实现步骤摘要】
简易压装式薄膜压力传感器
本技术涉及一种压力传感器，尤其涉及一种简易压装式薄膜压力传感器。
技术介绍
溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、工作温度范围宽、稳定性好等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药等许多领域得到应用。现有的薄膜压力传感器在进行疲劳试验、基本误差检定等工艺时，弹性膜片和引压嘴必须焊接在一起才能通压进行试验和检定。一旦产品出现渗漏或性能不好时，弹性膜片和其它部件一同报废，增大产品的成本。因此，开发一种无焊接工艺，装配简单并且传感器各部件可重复使用的压力传感器极其重要。传感器弹性膜片和压盖与引压嘴之间采用“O”型橡胶圈的密封形式制造的简易压装式薄膜压力传感器能解决上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种简易压装式薄膜压力传感器，针对现有技术的不足，解决压力传感器弹性膜片与引压嘴必须焊接，各部件不能重复使用，生产成本高等问题。为解决以上技术问题，本技术的技术方案是：一种简易压装式薄膜压力传感器，包括中心带有引压孔、上端开有安装有第一密封圈的圆形密封槽、中部外边缘开有安装有第二密封圈的圆形密封槽的引压嘴，弹性膜片，下端带内螺纹的压盖，上端开有出线孔的压帽组成，其特征在于：所述压帽下端内部加工有凸台，所述凸台上安装有连接内引线和外引线的电路板；所述弹性膜片是采用溅射薄膜技术制造的压力敏感芯体，当外界压力通过所述引压孔作用于所述弹性膜片时，所述弹性膜片发生形变，输出与所受压力成比例的电信号；所述电信号通过内引线和外引线经过所述出线孔向外输出。所述引压嘴上部加工有外螺纹，所述压盖套上所述压帽并拧在所述引压嘴的外螺纹上时，所述压盖将所述压帽和所述弹性膜片向下压紧，所述弹性膜片与所述第一密封圈紧密接触，形成完全密封。所述压盖与所述第二密封圈紧密接触，形成完全密封。与现有技术相比，本技术所具有的有益效果为：由于采用了“O”型密封圈将传感器弹性膜片和压盖与引压嘴通过橡胶密封圈密封以及螺纹紧固的形式，产品在进行疲劳试验、基本误差检定等工艺时，一旦出现渗漏或性能不好时，可以方便更换部件，而不需要将传感器整体报废，大大降低生产成本。附图说明图1为本技术的简易压装式薄膜压力传感器的结构示意图。图中：1、引压嘴，2、弹性膜片，3、压盖，4、压帽，5、外螺纹6、电路板，7、内引线，8、外引线，9、第一密封圈10、第二密封圈，11、出线孔，12、引压孔，13、内螺纹具体实施方式如图1所示，本技术的简易压装式薄膜压力传感器，由引压嘴1，弹性膜片2，下端带内螺纹5的压盖3，上端开有出线孔11的压帽4组成。所述引压嘴1中心带有引压孔12，上端开有安装有第一密封圈9的圆形密封槽，中部外边缘开有安装有第二密封圈10的圆形密封槽。所述压帽4下端内部加工有凸台，所述凸台上安装有连接内引线7和外引线8的电路板6。所述弹性膜片2是采用溅射薄膜技术制造的压力敏感芯体，弹性膜片2的供电和输出电信号通过所述内引线7与所述电路板6相联，并通过所述外引线8经过所述出线孔11将信号向外输出。所述引压嘴1上部加工有外螺纹14，所述压盖3套上所述压帽4并拧在所述引压嘴1的外螺纹5上时，所述压盖3将所述压帽4和所述弹性膜片2向下压紧，所述弹性膜片2与所述第一密封圈9紧密接触，形成完全密封。所述压盖3与所述第二密封圈10紧密接触，形成完全密封。当外界压力通过所述引压孔12作用于所述弹性膜片2时，所述弹性膜片2发生形变，输出与所受压力成比例的电信号通过所述内引线7和所述外引线8向外输出。通过这种结构设计，所述弹性膜片2与所述引压嘴1通过所述第一密封圈9密封。所述压盖3与引压嘴1通过所述第二密封圈10密封。这样，传感器在进行疲劳试验、基本误差检定等工艺时，一旦出现渗漏或性能不好时，可以方便更换部件，而不需要将传感器整体报废，大大降低生产成本。以上所述，仅是本技术的较佳实施方式，不应被视为对本技术范围的限制，而且本技术所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本技术所披露的
技术实现思路
，可轻易思及的等效变化，均应落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种简易压装式薄膜压力传感器，包括中心带有引压孔(12)、上端开有安装有第一密封圈(9)的圆形密封槽、中部外边缘开有安装有第二密封圈(10)的圆形密封槽的引压嘴(1)，弹性膜片(2)，下端带内螺纹(13)的压盖(3)，上端开有出线孔(11)的压帽(4)组成，其特征在于：所述压帽(4)下端内部加工有凸台，所述凸台上安装有连接内引线(7)和外引线(8)的电路板(6)；所述弹性膜片(2)是采用溅射薄膜技术制造的压力敏感芯体，当外界压力通过所述引压孔(12)作用于所述弹性膜片(2)时，所述弹性膜片(2)发生形变，输出与所受压力成比例的电信号；所述电信号通过所述内引线(7)和所述外引线(8)经过所述出线孔(11)向外输出。

【技术特征摘要】
1.一种简易压装式薄膜压力传感器，包括中心带有引压孔(12)、上端开有安装有第一密封圈(9)的圆形密封槽、中部外边缘开有安装有第二密封圈(10)的圆形密封槽的引压嘴(1)，弹性膜片(2)，下端带内螺纹(13)的压盖(3)，上端开有出线孔(11)的压帽(4)组成，其特征在于：所述压帽(4)下端内部加工有凸台，所述凸台上安装有连接内引线(7)和外引线(8)的电路板(6)；所述弹性膜片(2)是采用溅射薄膜技术制造的压力敏感芯体，当外界压力通过所述引压孔(12)作用于所述弹性膜片(2)时，所述弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，曾朋辉，
申请(专利权)人：北京中航兴盛测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11