带定位台的压力传感器弹性体制造技术
【技术实现步骤摘要】
带定位台的压力传感器弹性体
本技术涉及一种压力传感器弹性体，尤其涉及一种方便光刻工艺定位的带定位台的压力传感器弹性体。
技术介绍
溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有精度高、稳定性好以及测量介质温度高等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药等许多领域得到应用。但溅射薄膜压力传感器的敏感芯体(敏感芯体是由弹性体经研磨抛光、镀膜、光刻等工艺制造出来的)制造工艺繁杂，且生产效率不高，其中最困难的一个工艺是弹性体的光刻工艺，主要表现在进行光刻工艺时，由于图形需要进行二次光刻，这就存在套刻的问题。常规的弹性体是圆柱体，在进行二次套刻工艺时无法定位，只能一次光刻一只产品，生产效率极低。因此，开发一种方便光刻工艺定位的带定位台的压力传感器弹性体极其重要。在不影响弹性体任何性能的前提下，将常规的圆形弹性体增加定位台，设计吻合好有定位台的弹性体光刻夹具，这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺，极大地提高生产效率，解决上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带定位台的压力传感器弹性体，针对现有技术的不足，实现压力传感器弹性体二次套刻工艺可以批量进行、生产效率大大提高的目的。为解决以上技术问题，本技术的技术方案是：一种带定位台的压力传感器弹性体，其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形钢杯，所述钢杯下端加工有压力腔。所述钢杯上端加工有应变体，所述应变体外周加工有凸台，所述凸台的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台。与现有技术相比，本技术所具有的有益效果为：在不影响弹性体任何性能的前提下，将常规的圆形弹性体增加定位台，设计吻合...
【技术保护点】
一种带定位台的压力传感器弹性体，其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形钢杯(1)，所述钢杯(1)下端加工有压力腔(2)；所述钢杯(1)上端加工有应变体(3)，所述应变体(3)外周加工有凸台(4)，所述凸台(4)的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台(5)。
【技术特征摘要】
1.一种带定位台的压力传感器弹性体，其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形钢杯(1)，所述钢杯(1)下端加工有压力腔(2)；所述钢杯...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，
申请(专利权)人：北京中航兴盛测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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