【技术实现步骤摘要】
一种特气输送线
本技术属于气体输送领域,涉及一种特气输送管线。
技术介绍
特气在电子和半导体领域广泛应用,其能够在电子产品加工过程中,例如,晶圆加工过程中起到特殊的化学工艺作用;比如,刻蚀或形成防腐蚀覆盖层,是现在集成电路领域,不可少的生产加工原料;然而,许多特气,具有高腐蚀性,高易燃性,高毒性的等特点,需要对特气的储藏和输送进行严格的管理和控制。一般特气会储存在高压的瓶罐中,如果特气,在使用的过程中,由于管线爆裂等原因,发生泄漏,后果将会不堪设想;因此本技术的旨在提供一种特气输送控制箱,能够在特气发生泄漏时采取一定的安全措施。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种特气输送线,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作。优选的,所述漏气检测装置包括设置在所述阀门杆上的压力计,当压力计的压力波动超过设定的阈值时,其向控制装置反馈压力波动信号。优选的,所述控制装置接受到所述压力波动信号后通过浓度监测装置检测特气的浓度。优选的,所述控制装置包括可编程逻辑控制器。优选的,所述浓度监测装置包括多个浓度监测传感器,每个浓度传感器对应检测不同种类的特气。优选的,所述控制装置检测特气浓度时逐一读取每个所述浓度监测传感器检测到的浓度数据。优选的,任一所述浓度检测传感器检测到的浓度大于设定的阈值时控制器控制所述排气装置工作。本技术相对于现有技术的进步在于, ...
【技术保护点】
一种特气输送线,其特征在于,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作。
【技术特征摘要】
1.一种特气输送线,其特征在于,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作。2.如权利要求1所述的一种特气输送线,所述漏气检测装置包括设置在所述阀门杆上的压力计,当压力计的压力波动超过设定的阈值时,其向控制装置反馈压力波动信号。3.如权利要求2所述的一种特气输送线,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王敏,孙珏,薛殿友,李鹏昊,
申请(专利权)人:无锡恒大电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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