一种特气输送线制造技术

技术编号:17767710 阅读:29 留言:0更新日期:2018-04-21 21:18
本实用新型专利技术涉及一种特气输送线,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作;上述技术方案能够实现自动检测特气的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种特气输送线
本技术属于气体输送领域,涉及一种特气输送管线。
技术介绍
特气在电子和半导体领域广泛应用,其能够在电子产品加工过程中,例如,晶圆加工过程中起到特殊的化学工艺作用;比如,刻蚀或形成防腐蚀覆盖层,是现在集成电路领域,不可少的生产加工原料;然而,许多特气,具有高腐蚀性,高易燃性,高毒性的等特点,需要对特气的储藏和输送进行严格的管理和控制。一般特气会储存在高压的瓶罐中,如果特气,在使用的过程中,由于管线爆裂等原因,发生泄漏,后果将会不堪设想;因此本技术的旨在提供一种特气输送控制箱,能够在特气发生泄漏时采取一定的安全措施。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种特气输送线,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作。优选的,所述漏气检测装置包括设置在所述阀门杆上的压力计,当压力计的压力波动超过设定的阈值时,其向控制装置反馈压力波动信号。优选的,所述控制装置接受到所述压力波动信号后通过浓度监测装置检测特气的浓度。优选的,所述控制装置包括可编程逻辑控制器。优选的,所述浓度监测装置包括多个浓度监测传感器,每个浓度传感器对应检测不同种类的特气。优选的,所述控制装置检测特气浓度时逐一读取每个所述浓度监测传感器检测到的浓度数据。优选的,任一所述浓度检测传感器检测到的浓度大于设定的阈值时控制器控制所述排气装置工作。本技术相对于现有技术的进步在于,控制箱能够检测特气的浓度,并且当着检测到的浓度达到所设定的阈值时,控制装置能够控制排气装置进行排气,以低特技的浓度;同时要控制装置,还与压力检测装置相连接,当压力检测装置的波动超过阈值时,才启动特气检测装置能够降低漏检或误检的可能性。附图说明图1是本技术特气输送线示意图。图2是本技术特气控制箱内的控制装置模块示意图。具体实施方式以下结合附图,对本技术的技术方案,做更为具体详实的说明,需要说明的是具体实施方式,仅为本技术优选的实施方式是为了帮助,本领域技术人员理解技术的技术方案;本技术的技术方案不应当视为对本技术保护范围的限制,本技术的保护范围应当以权利要求书为准。请参照图1所示一种特气输送线100,包括多个特气体阀门杆11,该阀门杆11直接与特气源(图中未示意图)连接,一般特气源为设置在特制的特气房内的缸瓶。阀门杆11设置在连接控制箱1内,在阀杆11上设置有压力机12和调节阀门13,阀杆11内的气体沿着图中箭头F指示的方向流通;所述阀门杆11设置在控制箱内部1,控制箱1的外部设置有输送管2,输送管2从阀门控制箱1内向外部延伸,输送管2将所述阀杆11内输出的气体输送到耗气终端3上,输送管2的末端与耗气终端3连接,所述耗气终端3为电子产品或半导体晶圆处理化学/物理工艺处理设备,例如干刻流程处理设备(DETPC);所述控制箱内设置有控制装置1,控制装置1连接排气装置43,所述排气装置43设置在控制箱1的一角,并与外部大气直接连接,排气装置43用于降低所述阀门控制箱1内特气的浓度。优选的,所述控制装置42包括可编程逻辑控制器或其他嵌入式可编程装置,例如西门子工业控制PLC。请参照图2,所述连接控制箱1内设置有漏气检测装置41和漏气浓度监测装置44,所述漏气检测装置41用于检测所述特气是否发生泄露,所述漏气检测装置41包括设置在所述阀门杆上的压力计12,当压力计12的压力波动超过设定的阈值时,其向控制装置42反馈压力波动信号。当所述波动信号大于设定的阈值,控制装置42通过浓度监测装置41检测特气的浓度。当所述检测装置检测到的特气的浓度大于阈值时所述控制装置42启动所述排气装置43,排气装置43将控制箱内1的空气抽出以降低特气的浓度,优选的,所述控制装置能够接受多种浓度监测数据,对应的所述浓度检测装置44包括多个浓度监测传感器,每个浓度传感器对应检测不同种类的特气。控制装置42检测特气浓度时逐一读取每个所述浓度监测传感器检测到的浓度数据,并判断其检测到的浓度数据是否大于特定的阈值。本技术相对于现有技术的进步在于,控制箱能够检测特气的浓度,并且当着检测到的浓度达到所设定的阈值时,控制装置能够控制排气装置进行排气,以低特技的浓度;同时要控制装置,还与压力检测装置相连接,当压力检测装置的波动超过阈值时,才启动特气检测装置能够降低漏检或误检的可能性。本文档来自技高网...
一种特气输送线

【技术保护点】
一种特气输送线,其特征在于,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作。

【技术特征摘要】
1.一种特气输送线,其特征在于,包括多个特气体阀门杆,阀门杆设置在连接控制箱内;输送管从阀门控制箱内向外部延伸,输送管的末端与耗气终端连接;所述连接控制箱内设置有漏气检测装置和漏气浓度监测装置,还包控制装置和排气装置,所述控制装置根据所述漏气检测装置检和浓度监测装置的反馈控制所述排气装置工作。2.如权利要求1所述的一种特气输送线,所述漏气检测装置包括设置在所述阀门杆上的压力计,当压力计的压力波动超过设定的阈值时,其向控制装置反馈压力波动信号。3.如权利要求2所述的一种特气输送线,...

【专利技术属性】
技术研发人员:王敏孙珏薛殿友李鹏昊
申请(专利权)人:无锡恒大电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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