超声波设备、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及超声波设备、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置。所述超声波设备的特征在于，具备：超声波元件阵列基板，具备压电体，并具有进行超声波的发送和接收中的至少一方的多个超声波元件；声透镜，通过声音匹配层粘合于所述超声波元件阵列基板的形成有所述超声波元件的面，并具有使超声波聚集的透镜部；以及支撑部件，粘合于所述超声波元件阵列基板的与形成有所述超声波元件的面相反的面，所述支撑部件在所述超声波元件阵列基板的厚度方向的俯视观察中，形成为比所述超声波元件阵列基板面积大且弯曲刚性大，所述声透镜形成为比所述超声波元件阵列基板弯曲刚性小。

Ultrasonic equipment, ultrasonic detector, electronic equipment and ultrasonic image device.

The invention relates to an ultrasonic device, an ultrasonic detector, an electronic device and an ultrasonic image device. The characteristics of the ultrasonic device are: an ultrasonic element array substrate, a piezoelectric body, and a plurality of ultrasonic elements in the transmission and reception of the ultrasonic wave; the acoustic lens is glued to the ultrasonic element array base plate by the sound matching layer to form the surface of the ultrasonic element. A lens with an ultrasonic assembly, and a supporting part, which is glued to the surface of the ultrasonic element array substrate with the ultrasonic element, is formed in the overlook observation of the thickness direction of the ultrasonic element array substrate, which is formed as compared to the array base of the ultrasonic element. The plate has large area and large bending rigidity, and the acoustic lens is smaller than the bending rigidity of the ultrasonic element array substrate.

【技术实现步骤摘要】
超声波设备、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置
本专利技术涉及超声波设备、超声波探测器、电子设备及超声波图像装置。
技术介绍
一直以来，已知有收发超声波的超声波元件。例如，在专利文献1中，公开有一种在基板设置开口部，在开口部上依次层压有膜、第一电极、压电层、第二电极的结构的超声波元件（超声波转换器）。该超声波元件的基板采用硅基板等，在硅基板上设有由薄膜形成的第一、第二电极以及压电层。专利文献1所示结构的超声波元件由于在脆性材料的基板上具有开口部，因而成为易于因来自外部的力而破损的结构。尤其是，存在如果掉落等来自外部的撞击力施加于声透镜，则在这种结构中，超声波元件或超声波元件基板易于破损的问题。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2002-271897号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可以作为下述的方式或者应用例而实现：应用例1本应用例所涉及的超声波设备，其特征在于，具备：超声波元件阵列基板，具有具备压电体、并进行超声波的发送和接收中的至少一方的多个超声波元件；声透镜，通过声音匹配层粘合于所述超声波元件阵列基板的形成有所述超声波元件的面，并具有使超声波聚集的透镜部；以及支撑部件，粘合于所述超声波元件阵列基板的与形成有所述超声波元件的面相反的面，所述支撑部件在所述超声波元件阵列基板的厚度方向的俯视观察中，形成为比所述超声波元件阵列基板面积大且弯曲刚性大，所述声透镜形成为比所述超声波元件阵列基板弯曲刚性小。根据该结构，在超声波元件阵列基板的一个面粘合有支撑部件，在另一个面粘合有声透镜。另外，支撑部件形成为比所述超声波元件阵列基板面积大且弯曲刚性大，声透镜形成为比超声波元件阵列基板弯曲刚性小。这样，超声波元件阵列基板具有粘合于弯曲刚性比超声波元件阵列基板大的支撑部件的结构，因而超声波元件阵列基板被加固而难以翘曲。并且，由于在超声波元件阵列基板与声透镜之间设有声音匹配层，因而能够由弯曲刚性小的声透镜和该声音匹配层吸收来自外部的力而缓和施加于超声波元件阵列基板的外力，从而能够抑制超声波元件阵列基板的破损。应用例2在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，具备设于所述超声波元件阵列基板与所述声透镜之间的声音匹配层，所述声音匹配层由粘合于所述超声波元件阵列基板和所述声透镜的树脂形成。根据该结构，声音匹配层由树脂结构，能够使用粘合剂而将超声波元件阵列基板与声透镜粘合。因此，固化的粘合剂（树脂）能够将超声波元件阵列基板与声透镜粘合，并且能够发挥作为声音匹配层的功能。应用例3在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，所述声透镜具有接触于所述超声波元件阵列基板的多个第一凸部。根据该结构，在声透镜上具有限制超声波元件阵列基板与声透镜的透镜部的距离的第一凸部。因此，通过设定第一凸部的长度能够简单地设定超声波元件阵列基板的表面与透镜部的距离，能够规定配置于超声波元件阵列基板与透镜部之间的声音匹配层的厚度。应用例4在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，所述第一凸部在所述俯视观察中设置于所述声透镜的外周部。根据该结构，在声透镜的外周部设有第一凸部。如果如此地设置，则能够将声透镜稳定地装载于超声波元件阵列基板，并且能够高精度地设定超声波元件阵列基板的表面与透镜部的距离。应用例5在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，具备与所述超声波元件阵列基板的形成有所述超声波元件的所述面连接的柔性印刷电路板，所述柔性印刷电路板电连接于所述超声波元件阵列基板，所述柔性印刷电路板的一部分粘合于所述支撑部件。根据该结构，具备与超声波元件阵列基板的粘合有声透镜的一侧连接的柔性印刷电路板，柔性印刷电路板的一部分粘合于支撑部件。在拉力施加于柔性印刷电路板时，由于柔性印刷电路板的一部分粘合于支撑部件，因而该力不影响与超声波元件阵列基板的连接部，能够防止连接部的脱落以及超声波元件阵列基板的破损。应用例6在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，在所述支撑部件的外边缘部的一部分设置有斜面部，所述柔性印刷电路板粘合于所述斜面部。根据该结构，在支撑部件的外边缘部的一部分设置有斜面部，柔性印刷电路板粘合于所述斜面部，因而柔性印刷电路板沿斜面部延伸而不折弯。因此，能够防止柔性印刷电路板的布线的断线，从而能够提供可靠性高的超声波设备。应用例7在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，所述声透镜具有与所述柔性印刷电路板接触，在与所述超声波元件阵列基板之间按压所述柔性印刷电路板的多个第二凸部。根据该结构，声透镜的第二凸部与柔性印刷电路板接触。因此，柔性印刷电路板被第二凸部按压，能够防止柔性印刷电路板在超声波元件阵列基板与柔性印刷电路板连接部的浮动。应用例8在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，所述柔性印刷电路板的与所述超声波元件阵列基板电连接的位置，在所述超声波元件阵列基板的厚度方向的俯视观察中，配置于所述声透镜的所述第二凸部与所述超声波元件之间。根据该结构，由于柔性印刷电路板的与超声波元件阵列基板的连接位置与声透镜的外周相比配置于内侧，因而连接部不露出，并且能够由声音匹配层保护该连接部。应用例9在上述应用例所涉及的超声波设备中优选，所述超声波元件阵列基板具有多个开口部配置为阵列状的底部基板、覆盖所述开口部而形成并沿膜厚方向可位移的振动膜、以及设于所述振动膜的压电体部，所述压电体部具有设于所述振动膜上的第一电极、覆盖所述第一电极的至少一部分而设置的压电体层、以及覆盖所述压电体层的至少一部分而设置的第二电极。根据该结构，超声波元件阵列基板具有多个开口部配置为阵列状的底部基板、覆盖开口部而形成并沿膜厚方向可位移的振动膜、以及设于振动膜上的压电体部，压电体部由在振动膜上层压第一电极、压电体层、第二电极而构成。这种结构的超声波设备的超声波元件阵列基板可以小型化，能够实现超声波设备的小型化。应用例10本应用例所涉及的超声波探测器，其特征在于，具备上述记载的超声波设备和支撑所述超声波设备的壳体。根据该结构，具备上述的超声波设备和支撑该超声波设备的壳体。本应用例的超声波探测器在壳体具备防止超声波元件阵列基板破损的超声波设备，能够提供可靠性高的超声波探测器。应用例11本应用例所涉及的电子设备，其特征在于，具备上述记载的超声波设备，以及与所述超声波设备连接，并处理所述超声波设备的输出的处理电路。根据该结构，具备上述的超声波设备，以及处理超声波设备的输出的处理电路。本应用例的电子设备具备防止超声波元件阵列基板破损的超声波设备，能够提供可靠性高的电子设备。应用例12本应用例所涉及的超声波图像装置，其特征在于，具备上述记载的超声波设备，与所述超声波设备连接、处理所述超声波设备的输出并生成图像的处理电路，以及显示所述图像的显示部。根据该结构，具备上述的超声波设备、处理超声波设备的输出并生成图像的处理电路、以及显示图像的显示部。本应用例的超声波图像装置具备防止超声波元件阵列基板破损的超声波设备，能够提供可靠性高的超声波图像装置。附图说明图1是表示第一实施方式的超声波图像装置的结构的简要外观图。图2是第一实施方式所涉及的超声波探测器的部分截面图。图3是第一实施方式所涉及的超声波探测器的头部的截面放大图。图4是第一实施方式的超声波图像装置的控制方框图。图5是第一实施方式所涉及的超本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波设备，其特征在于，具备：超声波元件阵列基板，具有具备压电体、并进行超声波的发送和接收中的至少一方的多个超声波元件；声透镜，通过声音匹配层粘合于所述超声波元件阵列基板的形成有所述超声波元件的面，并具有使超声波聚集的透镜部；以及支撑部件，粘合于所述超声波元件阵列基板的与形成有所述超声波元件的面相反的面，所述支撑部件在所述超声波元件阵列基板的厚度方向的俯视观察中，形成为比所述超声波元件阵列基板面积大且弯曲刚性大，所述声透镜形成为比所述超声波元件阵列基板弯曲刚性小。

【技术特征摘要】
2013.01.28 JP 2013-0129461.一种超声波设备，其特征在于，具备：超声波元件阵列基板，具有具备压电体、并进行超声波的发送和接收中的至少一方的多个超声波元件；声透镜，通过声音匹配层粘合于所述超声波元件阵列基板的形成有所述超声波元件的面，并具有使超声波聚集的透镜部；以及支撑部件，粘合于所述超声波元件阵列基板的与形成有所述超声波元件的面相反的面，所述支撑部件在所述超声波元件阵列基板的厚度方向的俯视观察中，形成为比所述超声波元件阵列基板面积大且弯曲刚性大，所述声透镜形成为比所述超声波元件阵列基板弯曲刚性小。2.根据权利要求1所述的超声波设备，其特征在于，具备填充于所述超声波元件阵列基板与所述声透镜之间的所述声音匹配层，所述声音匹配层由粘合于所述超声波元件阵列基板和所述声透镜的树脂形成。3.根据权利要求1或2所述的超声波设备，其特征在于，所述声透镜具有与所述超声波元件阵列基板接触的多个第一凸部。4.根据权利要求3所述的超声波设备，其特征在于，所述第一凸部在所述俯视观察中设置于所述声透镜的外周部。5.根据权利要求1或2所述的超声波设备，其特征在于，具备与所述超声波元件阵列基板的形成有所述超声波元件的面连接的柔性印刷电路板，所述柔性印刷电路板与所述超声波元件阵列基板电连接，所述柔性印刷电路板的一部分粘合于所述支撑部件。6.根据权利要求5所述的超声波设备，其特征在于，在所述支撑部件的外边缘部的一部分设置有斜面部，所述柔性印刷电路板粘合于所述斜面部...

【专利技术属性】
技术研发人员：大西康宪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP