压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置制造方法及图纸

技术编号:17747067 阅读:44 留言:0更新日期:2018-04-18 20:54
本发明专利技术的目的是将压电式线性致动器、压电驱动阀、以及流量控制装置薄型化。本发明专利技术的压电式线性致动器(1)具备:积层压电致动器(2);支撑积层压电致动器(2),并且向该积层压电致动器(2)的左右侧方延伸的下部支撑部件(3);沿着积层压电致动器(2)的左右两侧延伸,并且相对于下部支撑部件(3)可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器(2)的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件(5);以及在下部支撑部件(3)的下方被卡止在一对位移传递部件(5)而将两位移传递部件(5)的下端部彼此连结的输出部(8),所述位移传递部件(5)各自形成为具有沿着积层压电致动器(2)的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在各位移传递部件(5)的下端部,以对向状形成有下部支撑部件(3)插通的纵长的导孔(5a),在该导孔(5a)的下方侧的内周缘部卡止有所述输出部(8),所述输出部(8)具备:上端部被插入在一对位移传递部件(5)的下端部间的圆柱状部(8a);以及沿着下部支撑部件(3)突出形成于圆柱状部(8a)的外周面,且被卡止在一对位移传递部件(5)的导孔(5a)的下方侧的内周缘部的一对臂部(8b),所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置
本专利技术涉及一种使用积层(叠层)压电致动器的压电式线性致动器、具备该压电式线性致动器的压电驱动阀以及具备该压电驱动阀的流量控制装置。
技术介绍
以往,经常使用在线性致动器的驱动部或阀的驱动部中积层压电元件所构成的积层压电致动器,也知道有一种通过使用了积层压电致动器的压电驱动阀来控制流量的流量控制装置。作为这种流量控制装置的一例,图23所示的流量控制装置30以能够通过安装在主体31上的积层压电致动器34对介于主体31的内部的流路32上的金属隔膜阀等阀体33进行开闭操作的方式而制成(专利文献1~3等)。图23所示的流量控制装置30被称为压力式流量控制装置,若在介于流路32上的流孔35的下游侧压力P2与上游侧压力P1之间保持为(P1/P2)≧约2的所谓临界膨胀条件,则在流孔35流通的气体流量Q成为Q=KP1(其中K为常数)的关系。利用这种关系,使用上游侧的阀对压力检测器36检测出的上游侧压力P1进行反馈控制,由此能够高精度地控制流量Q,而且,即使阀体33的上游侧气体的压力大幅度变化,也能够发挥控制流量值几乎不变化的优异特性。上游侧压力P1的高精度的控制可通过使用响应性优异的积层压电致动器34的压电驱动阀完成。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2003-120832号公报专利文献2:日本专利特开平8-338546号公报专利文献3:日本专利特开2010-151698号公报近年来,尤其在半导体制造装置的领域中,谋求气体供给系统的小型化,因此针对构成气体供给系统的阀或流量控制装置,谋求小型化。但是,阀的开闭动作所需的推力由流经阀的气体的流量或压力等条件而决定,因此并无法单纯地将积层压电致动器小型化,而阻碍了流量控制装置整体的小型化。
技术实现思路
因此,本专利技术的主要目的在于:尽管积层压电致动器与以往相同,也要将压电式线性致动器薄型化、将具备压电式线性致动器的压电驱动阀小型化、以及将具备压电驱动阀的流量控制装置小型化。为达成上述目的,本专利技术所涉及的压电式线性致动器的第一侧面,其特征在于,具备:圆柱状的积层压电致动器;支撑所述积层压电致动器,并且向该积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件;沿着所述积层压电致动器的左右两侧延伸,并且相对所述下部支撑部件可滑动地交叉并传递因所述积层压电致动器的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件;以及在所述下部支撑部件的下方被卡止在所述一对位移传递部件(被所述一对位移传递部件卡止)而将所述两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部,其中,所述位移传递部件各自形成为具有沿着所述积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在所述各位移传递部件的下端部,以对向状形成有所述下部支撑部件插通的纵长的导孔,在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有所述输出部,所述输出部具备:上端部被插入在所述一对位移传递部件的下端部间的圆柱状部;以及沿着所述下部支撑部件突出形成于所述圆柱状部的外周面,且被卡止在所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部的一对臂部,所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。本专利技术所涉及的压电式线性致动器的第二侧面,其特征在于,在所述第一侧面中,将所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部作为卡止所述输出部的各臂的卡止部,在所述输出部的各臂部的下表面上,形成有装卸自如地嵌合在所述卡止部而被定位的且与所述卡止部相同形状的卡止槽。本专利技术所涉及的压电式线性致动器的第三侧面,其特征在于,在所述第二侧面中,所述卡止部和所述卡止槽做成为在平面形状中位于同一圆周上的圆弧形状。本专利技术所涉及的压电式线性致动器的第四侧面,其特征在于,在所述第一侧面中,还具备连结于所述下部支撑部件的罩盖,在该罩盖上,形成有:容纳所述一对位移传递部件的下端部、所述圆柱状部的上部、所述一对臂部以及所述弹性体的凹部;以及所述圆柱状部的下部可滑动地插入的通孔。本专利技术所涉及的压电式线性致动器的第五侧面,其特征在于,在所述第四侧面中,所述输出部通过与形成于所述圆柱状部的下部外周面上的环状槽相嵌合的环状的密封部件,可滑动地被支撑于所述通孔。本专利技术所涉及的压电式线性致动器的第六侧面,其特征在于,在所述第四侧面中,所述罩盖形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第一侧面,其特征在于,具备:压电式线性致动器,其具备:圆柱状的积层压电致动器;支撑所述积层压电致动器,并且向该积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件;沿着所述积层压电致动器的左右两侧延伸,并且相对所述下部支撑部件可滑动地交叉并传递因所述积层压电致动器的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件;以及在所述下部支撑部件的下方被卡止在所述一对位移传递部件而将所述两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部,其中,所述位移传递部件各自形成为具有沿着所述积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在所述各位移传递部件的下端部,以对向状形成有所述下部支撑部件插通的纵长的导孔,在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有所述输出部,所述输出部具备:上端部被插入在所述一对位移传递部件的下端部间的圆柱状部;以及沿着所述下部支撑部件突出形成于所述圆柱状部的外周面,且被卡止在所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部的一对臂部,所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸;主体,其安装有所述压电式线性致动器,在内部形成有流路;阀棒,其与所述压电式线性致动器的所述输出部兼用;以及阀体,其通过所述阀棒的操作来开闭所述流路。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第二侧面,其特征在于,在所述压电驱动阀的第一侧面中,将所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部作为卡止所述输出部的各臂的卡止部,在所述输出部的各臂部的下表面上,形成有装卸自如地嵌合在所述卡止部而被定位的且与所述卡止部相同形状的卡止槽。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第三侧面,其特征在于,在所述压电驱动阀的第二侧面中,所述卡止部和所述卡止槽做成为在平面形状中位于同一圆周上的圆弧形状。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第四侧面,其特征在于,在所述压电驱动阀的第一侧面中,还具备连结于所述下部支撑部件的罩盖,在该罩盖上,形成有:容纳所述一对位移传递部件的下端部、所述圆柱状部的上部、所述一对臂部以及所述弹性体的凹部;以及所述圆柱状部的下部可滑动地插入的通孔。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第五侧面,其特征在于,在所述压电驱动阀的第四侧面中,所述输出部通过与形成于所述圆柱状部的下部外周面上的环状槽相嵌合的环状的密封部件,可滑动地被支撑于所述通孔。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第六侧面,其特征在于,在所述压电驱动阀的第四侧面中,所述罩盖形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。本专利技术所涉及的压电驱动阀的第七侧面,其特征在于,在所述压电驱动阀的第一侧面中,所述阀体为金属隔膜阀体。本专利技术所涉及的流量控制装置的第一侧面,其特征在于,具备:压电式线性致动器,其具备:圆柱状的积层压电致动器;支撑所述积层压电致动器,并且向该积层压电致动器的左右侧方延伸本文档来自技高网
...
压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置

【技术保护点】
一种压电式线性致动器,其特征在于,具备:圆柱状的积层压电致动器;支撑所述积层压电致动器,并且向该积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件;沿着所述积层压电致动器的左右两侧延伸,并且相对所述下部支撑部件可滑动地交叉并传递因所述积层压电致动器的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件;以及在所述下部支撑部件的下方被卡止在所述一对位移传递部件而将所述两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部,其中,所述位移传递部件各自形成为具有沿着所述积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在所述各位移传递部件的下端部,以对向状形成有所述下部支撑部件插通的纵长的导孔,在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有所述输出部,所述输出部具备:上端部被插入在所述一对位移传递部件的下端部间的圆柱状部;以及沿着所述下部支撑部件突出形成于所述圆柱状部的外周面,且被卡止在所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部的一对臂部,所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.21 JP 2015-1642011.一种压电式线性致动器,其特征在于,具备:圆柱状的积层压电致动器;支撑所述积层压电致动器,并且向该积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件;沿着所述积层压电致动器的左右两侧延伸,并且相对所述下部支撑部件可滑动地交叉并传递因所述积层压电致动器的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件;以及在所述下部支撑部件的下方被卡止在所述一对位移传递部件而将所述两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部,其中,所述位移传递部件各自形成为具有沿着所述积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在所述各位移传递部件的下端部,以对向状形成有所述下部支撑部件插通的纵长的导孔,在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有所述输出部,所述输出部具备:上端部被插入在所述一对位移传递部件的下端部间的圆柱状部;以及沿着所述下部支撑部件突出形成于所述圆柱状部的外周面,且被卡止在所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部的一对臂部,所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。2.根据权利要求1所述的压电式线性致动器,其特征在于,所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部作为卡止所述输出部的各臂的卡止部,在所述输出部的各臂部的下表面上,形成有装卸自如地嵌合在所述卡止部而被定位的且与所述卡止部相同形状的卡止槽。3.根据权利要求2所述的压电式线性致动器,其特征在于,所述卡止部和所述卡止槽形做成为在平面形状中位于同一圆周上的圆弧形状。4.根据权利要求1所述的压电式线性致动器,其特征在于,还具备连结于所述下部支撑部件的罩盖,在该罩盖上,形成有:容纳所述一对位移传递部件的下端部、所述圆柱状部的上部、所述一对臂部以及所述弹性体的凹部;以及所述圆柱状部的下部可滑动地插入的通孔。5.根据权利要求4所述的压电式线性致动器,其特征在于,所述输出部通过与形成于所述圆柱状部的下部外周面上的环状槽相嵌合的环状的密封部件,可滑动地被支撑于所述通孔。6.根据权利要求4所述的压电式线性致动器,其特征在于,所述罩盖形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸。7.一种压电驱动阀,其特征在于,具备:压电式线性致动器,所述压电式线性致动器具备:圆柱状的积层压电致动器;支撑所述积层压电致动器,并且向该积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件;沿着所述积层压电致动器的左右两侧延伸,并且相对所述下部支撑部件可滑动地交叉并传递因所述积层压电致动器的压电效果所产生的位移的一对位移传递部件;以及在所述下部支撑部件的下方被卡止在所述一对位移传递部件而将所述两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部,其中,所述位移传递部件各自形成为具有沿着所述积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在所述各位移传递部件的下端部,以对向状形成有所述下部支撑部件插通的纵长的导孔,所述输出部卡止在该导孔的下方侧的内周缘部,所述输出部具备:上端部被插入在所述一对位移传递部件的下端部间的圆柱状部;以及沿着所述下部支撑部件突出形成于所述圆柱状部的外周面,且被卡止在所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部的一对臂部,所述一对位移传递部件的宽度尺寸形成为与所述积层压电致动器的宽度尺寸相同或相同程度的尺寸;主体,所述主体安装有所述压电式线性致动器,在内部形成有流路;阀棒,所述阀棒与所述压电式线性致动器的所述输出部兼用;以及阀体,所述阀体通过所述阀棒的操作来开闭所述流路。8.根据权利要求7所述的压电驱动阀,其特征在于,将所述一对位移传递部件的导孔的下方侧的内周缘部作为卡止所述输出部的各臂的卡止部,在所述输出部的各臂部的下表面上,形成有装卸自如地嵌合在所述卡止部而被定位的与所述卡止部相同形...

【专利技术属性】
技术研发人员:执行耕平广濑隆西野功二土肥亮介安本直史
申请(专利权)人:株式会社富士金
类型:发明
国别省市:日本,JP

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1