一种多晶硅精馏尾气再回收装置制造方法及图纸

一种多晶硅精馏尾气再回收装置，包括精馏塔组、存储塔、反歧化反应塔、冷凝器，精馏塔组的排空气体由第一排空管进入存储塔，存储塔出口通过第二排空管连接反歧化反应塔，反歧化反应塔底部连接有回收管道，顶部连接有第三排空管，第三排空管连接冷凝器，冷凝器连接除液排空装置。精馏尾气由存储罐集中回收，经反歧化反应塔反应后，部分生成原料三氯氢硅，提高了物料利用率，减轻尾气回收装置的生产负荷，提高了装置生产的稳定性，减少水或碱液的添加量，降低生产成本，放空尾气中有效成分被回收利用，减少了尾气冷凝的供冷需求，降低了制冷系统的负荷。

A reclaiming device for polysilicon rectification tail gas

Recycling device for polysilicon distillation tail gas, including distillation tower, storage group, anti disproportionation reaction tower, condenser, emptying gas distillation tower group into the storage tower from the first row of air traffic control, storage tower outlet anti disproportionation reaction tower connected by second emptying tube, anti disproportionation reaction at the bottom of the tower is connected with a recovery pipeline. The top third is connected with a drain pipe, the third row pipe connected to the condenser, the condenser is connected with liquid emptying device. The storage tank centralized rectification tail gas recovery, the anti disproportionation reaction tower, part of raw materials and generate trichlorosilane, improve material utilization, reduce the load of production tail gas recovery device, improve the stability of device production, reduce the amount of water or lye, reduce the production cost, effective components in the exhaust vent is recycled, to reduce the demand for cold tail gas condensation, reduce the load of the refrigeration system.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅精馏尾气再回收装置
本技术属于多晶硅生产设备领域，具体涉及一种多晶硅精馏尾气再回收装置。
技术介绍
在改良西门子法多晶硅的生产系统中，常采用尾气干法回收工艺，将三氯氢硅还原反应后的废气分离为氢气、氯化氢以及多种氯硅烷等，这里的多种氯硅烷含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅等杂质，需要通过精馏工序进行处理，才能回收利用。氯硅烷精馏系统尾气回收后，在精馏塔放空系统中，仍然含有一定量的二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯氢硅等物质，在造成经济损失的同时，也对环境造成一定的破坏。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术提供一种经济效益好、工作稳定的多晶硅精馏尾气再回收装置。本技术是通过以下技术方案实现的：一种多晶硅精馏尾气再回收装置，包括精馏塔组、存储塔、反歧化反应塔、冷凝器，所述精馏塔组的排空气体由第一排空管进入所述存储塔，所述存储塔出口通过第二排空管连接所述反歧化反应塔，所述反歧化反应塔底部连接有回收管道，顶部连接有第三排空管，所述第三排空管连接所述冷凝器，所述冷凝器连接除液排空装置。所述第一排空管的管道上安装有第一单向阀和增压泵。所述第二排空管的管道上安装有第二单向阀和压力监测装置。所述第三排空管的管道上安装有第三单向阀。与现有技术相比，本技术的有益效果是：精馏尾气由存储罐集中回收，经反歧化反应塔后，部分生成原料三氯氢硅，可提高物料利用率，减轻尾气回收装置的生产负荷，提高了装置生产的稳定性，减少水或碱液的添加量，降低生产成本，放空尾气中有效成分被回收利用，减少了尾气冷凝的供冷需求，降低了制冷系统的负荷。附图说明图1是本技术装置的连接示意图。附图中：1.精馏塔组；2.存储塔；3.反歧化反应塔；4.冷凝器；5.第一排空管；6.第二排空管；7.回收管道；8.第三排空管；9.除液排空装置；10.第一单向阀；11.增加泵；12.第二单向阀；13.压力监测装置；14.第三单向阀。具体实施方式如图1所示的一种多晶硅精馏尾气再回收装置，包括精馏塔组1、存储塔2、反歧化反应塔3、冷凝器4和除液排空装置9，精馏塔组1的排空气体由第一排空管5进入存储塔2，存储塔2出口通过第二排空管6连接反歧化反应塔3进行反歧化反应，反歧化反应塔3底部连接有回收管道7，收集反应生成物三氯氢硅，顶部连接有第三排空管8，第三排空管8连接冷凝器4，冷凝器4连接除液排空装置9。第一排空管5的管道上安装有第一单向阀10和增压泵11，第一单向阀10防止气体回流，增压泵11便于压缩气体、提升存储量。第二排空管6的管道上安装有第二单向阀12和压力监测装置13，第二单向阀12防止气体回流，压力监测装置13防止存储罐2过压存储。第三排空管8的管道上安装有第三单向阀14，第三单向阀14防止气体回流。综上所述，仅为本技术的较佳实施例而已，并非用来限定本技术实施的范围，凡依本技术权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本技术的权利要求范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅精馏尾气再回收装置，其特征在于：包括精馏塔组(1)、存储塔(2)、反歧化反应塔(3)、冷凝器(4)和除液排空装置(9)，所述精馏塔组(1)的排空气体由第一排空管(5)进入所述存储塔(2)，所述存储塔(2)出口通过第二排空管(6)连接所述反歧化反应塔(3)，所述反歧化反应塔(3)底部连接有回收管道(7)，顶部连接有第三排空管(8)，所述第三排空管(8)连接所述冷凝器(4)，所述冷凝器(4)连接除液排空装置(9)。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅精馏尾气再回收装置，其特征在于：包括精馏塔组(1)、存储塔(2)、反歧化反应塔(3)、冷凝器(4)和除液排空装置(9)，所述精馏塔组(1)的排空气体由第一排空管(5)进入所述存储塔(2)，所述存储塔(2)出口通过第二排空管(6)连接所述反歧化反应塔(3)，所述反歧化反应塔(3)底部连接有回收管道(7)，顶部连接有第三排空管(8)，所述第三排空管(8)连接所述冷凝器(4)，所述冷凝器(4)连接除液...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐小萍，何其金，迮德娟，张靖，方艺霖，何飞，施靖，
申请(专利权)人：江苏康博新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32