The utility model relates to a semiconductor production auxiliary equipment, in particular to the locking structure of a basket, including the corresponding side plate arranged on the end surface of the wafer basket movable block sheet, the movable block sheet along the side surface of the sliding basket, the movable baffle plate is provided with a groove and a plurality of wafer access basket is arranged on the corresponding side opened a slot is also provided with a lock switch, the lock switch is provided with a spacing structure of the movable block sheet position limit. The locking structure has simple structure, and the locking wafer or the wafer adjustment is convenient and effective, which does not exist the failure situation of the locking structure after long time use, and prevents the wafer product from slipping suddenly and reliably.
【技术实现步骤摘要】
一种运输晶圆的锁止结构及提篮
本技术涉及一种半导体生产辅助设备,特别是一种运输晶圆的锁止结构及提篮。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,是一种成本较高的产品;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的IC产品。在半导体芯片自动化车间加工晶圆产品时,需要对加工后的晶圆进行转移,常用的工具即为晶圆提篮。现有的晶圆提篮是通过金属管与手提环进行“套接”拼装成型的,简单方便,但也存在缺点:金属管与手提环之间保持相对位置的稳定是通过过盈配合实现的,即通过摩擦力来防止金属管在提篮转移过程中滑落解锁,但随着使用时间的增加,金属管与手提环之间的摩擦力会使二者配合处逐渐变得松动,易在移动过程中出现金属管自行滑落解锁的问题,进而造成晶圆产品从提篮的卡槽内滑落、甚至摔在地上报废的状况。因此有必要对晶圆的提篮进行改进设计,解决提篮的锁止结构在长时间使用后松动的问题,以避免晶圆意外滑落造成的损失。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于:针对现有晶圆提篮是通过金属管与手提环之间过盈配合形成锁止结构,但该锁止结构在长时间使用后会因摩擦力作用失效,存在晶圆产品意外滑落的问题,提供一种运输晶圆的锁止结构及提篮,该锁止结构的结构简单,锁止晶圆或放入晶圆调节方便有效,不存在长时间使用后锁止结构失效的状况,防止晶圆产品意外滑落的状况发生,可靠性强。为了实现上述目的,本技术采用的技术方案为:一种提篮锁止结构,包括与晶圆提篮侧板的端面对应设置的活动挡片,活动挡片能沿提篮侧板端面滑动,在活动挡片上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽对应开设的 ...
【技术保护点】
一种提篮锁止结构,其特征在于,包括与提篮侧板的端面对应设置的活动挡片,活动挡片能沿提篮侧板端面滑动,在活动挡片上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽对应开设的变位槽,还设有锁止开关,所述锁止开关上设有限制活动挡片位置的限位结构。
【技术特征摘要】
1.一种提篮锁止结构,其特征在于,包括与提篮侧板的端面对应设置的活动挡片,活动挡片能沿提篮侧板端面滑动,在活动挡片上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽对应开设的变位槽,还设有锁止开关,所述锁止开关上设有限制活动挡片位置的限位结构。2.根据权利要求1所述的提篮锁止结构,其特征在于,所述活动挡片为长条形板状结构,且活动挡片的长度与提篮侧板端面的长度相适应,当锁止开关锁定活动挡片的位置时,变位槽与晶圆存取槽相匹配连通。3.根据权利要求1或2所述的提篮锁止结构,其特征在于,在活动挡片上还设有侧挡条,所述侧挡条与活动挡片本体大致垂直,所述变位槽设置在侧挡条上。4.根据权利要求1所述的提篮锁止结构,其特征在于,所述锁止开关包括设置在活动挡片短边侧的限位压板、以及在提篮侧板上对应设置的弹性支撑件,所述限位压板与活动挡片本体大致垂直,还包括在提篮侧板与活动挡片上对应设置的锁止片组...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓海涛,宋文,段之刚,王利华,
申请(专利权)人:成都先进功率半导体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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