运载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种运载装置，包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，片状物可通过开口而进入盒体内部。盖体具有一外侧板及一内侧板，且可覆盖开口。内侧板具有一固持组件，盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体外侧进行操作且连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，操作部可旋转而使闩锁机构成为闩锁状态或解锁状态。当闩锁机构为闩锁状态时，操作部带动固持组件从内侧板往盒体的内部移动或凸伸而固持片状物。当闩锁机构为解锁状态时，通过操作部的带动或一复位组件的驱动而使固持组件往盖体的内侧板移动或收缩而收合于盖体。

Carrier device

The utility model provides a carrier device, which comprises a box body and a cover body. The box body has an opening, and the flake can enter the body of the box through the opening. The cover has an outer plate and an inner plate, and can cover the opening. The inner plate has a fixing component, the cover body has a latching mechanism, the latch mechanism includes an operation part, and the operation part is suitable for operation by the outer part of the cover body, and is connected to the fixing component. When the cap covers the opening, the operation part can be rotated to make the latch mechanism a latch state or unlock state. When the latch mechanism is a latch state, the operating Department drives the fixation component from the inside plate to the inside of the box body or protrudes and firmly holds the flake. When the latch mechanism is unlocked, driven by the operation part or driven by a reset component, the holding assembly moves or shrinks to the inner side plate of the cover body and is closed to the cover body.

【技术实现步骤摘要】
运载装置
本技术涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载片状物的运载装置。
技术介绍
一般易碎型片状物，例如半导体或光电产业所使用的晶圆、光罩、玻璃基板等，若要由甲地运送至乙地，必须避免片状物受到碰撞，否则容易产生碎裂。而且像是晶圆、光罩等容易因为微粒污染而影响品质的物品，还需要避免在运送过程中附着灰尘，因此包装该等物品通常不能使用纸类或泡棉类等容易产生细屑的缓冲材料。以晶圆为例说明，目前业界常见用以装载多片晶圆的前开式晶圆容器(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)通常包含一盒体及一可重置地盖合于盒体的盖体，两者共同形成一容置空间，并在盒体内设有承载组件用以承载多片晶圆，其中盖体的内侧设有固持组件，用以固持盒体内的晶圆。若晶圆为圆形，则固持组件可内嵌于盖体内侧板的凹陷部内而不需凸露出凹陷部之外，只要晶圆的凸弧状边缘可伸入凹陷部内至固持组件处就可被固持组件固持。然而，若欲承装的片状物为方形，如方形的硅晶片等，则会因为方形片状物不具有可伸至内嵌于盖体内侧板凹陷部内的固持组件处的凸弧状边缘，导致固持组件无法对该方形片状物进行固持。
技术实现思路
本技术提供一种运载装置，其盖体的固持组件可有效对盒体内的片状物进行固持。本技术的运载装置适于容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，片状物适于通过开口而进入盒体的内部。盖体具有相对的一外侧板及一内侧板，且外侧板及内侧板间于该盖体覆盖该开口时系呈使外侧气体无法通过该盖体而进入该盒体内。盖体适于覆盖开口而使内侧板朝向盒体的内部。盖体在内侧板朝向盒体内部的一侧具有一固持组件，盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体的外侧进行操作，且操作部连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而使闩锁机构成为干涉于盒体的一闩锁状态，且适于旋转而使闩锁机构成为分离于盒体的一解锁状态。当操作部旋转而使闩锁机构成为闩锁状态时，操作部带动固持组件从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当操作部旋转而使闩锁机构成为解锁状态时，通过操作部的带动或一复位组件的驱动而使固持组件往盖体的内侧板移动或收缩而收合于盖体。在本技术的一实施例中，上述的盖体具有至少一推动件，推动件穿过内侧板而连接固持组件与操作部，操作部适于旋转而通过推动件带动固持组件。在本技术的一实施例中，上述的内侧板的至少一侧设有一密封元件，以使内侧板的推动件穿过处的两侧维持气密。在本技术的一实施例中，上述的推动件包括一杆部及一推动部，推动部抵靠于固持组件，杆部穿过内侧板而连接推动部与操作部。在本技术的一实施例中，上述的推动部具有一斜面，推动部适于沿一推动方向移动而通过斜面推动固持组件沿一移动方向从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸，其中推动方向垂直于移动方向，斜面倾斜于推动方向及移动方向。在本技术的一实施例中，上述的盖体在内侧板具有一连动机构，连动机构包括设于内侧板上的至少一连动杆，连动杆具有一枢接部，枢接部枢接于盖体的内侧板，且连动杆一端连接于固持组件，操作部适于旋转并通过第二端带动连动杆枢转，进而驱动固持组件动作。在本技术的一实施例中，上述的盖体具有一连动机构，连动机构包括设于内侧板上的至少一连动杆，连动杆具有一枢接部，枢接部枢接于盖体的内侧板，且连动杆一端连接于固持组件，另一端则与推动件连接，操作部适于旋转并带动推动件推动连动杆枢转，进而驱动固持组件动作。在本技术的一实施例中，上述的固持组件适于沿一移动方向从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸，连动杆沿一枢转轴线枢接于盖体的内侧板，枢转轴线垂直于移动方向。在本技术的一实施例中，上述的操作部具有一斜面且适于旋转而通过斜面推动推动件，斜面倾斜于固持组件移动或凸伸的方向。在本技术的一实施例中，上述的闩锁机构包括至少一插销，操作部连接插销，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而带动插销从盖体的外缘突伸出以干涉于盒体，且适于旋转而带动插销移至盖体内以分离于盒体。基于上述，在本技术的运载结构中，盖体上的闩锁机构除了用以使盖体闩锁或解锁于盒体，更可带动盖体的内侧板的固持组件往盒体的内部移动或凸伸。藉此，固持组件可有效地对盒体内的片状物进行固持。为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明图1是本技术一实施例的运载装置的外观立体图。图2是图1的盒体的立体图。图3是图1的盖体的立体图。图4是图3的盖体于另一视角的立体图。图5是图3的盖体的部分结构立体图。图6A是图4的盖体的部分结构立体图。图6B示出图6A的推动件推动时的状态。图7A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧板。图7B示出图4的固持组件移动出盖体内侧板的状态。图8是图4的固持组件的立体图。图9是图5的操作部及推动件的立体图。图10是本技术另一实施例的盖体的立体图。图11是图10的盖体的局部结构示意图。附图标号说明100：运载装置110：盒体110a：开口110b：插槽114：承载组件120、220：盖体120a：外侧板120b、220b：内侧板122：闩锁机构122a、222a：操作部122b、222b：插销124、224：固持组件124a、224a：固持件127、227：密封元件129、229：推动件129a：杆部129b：推动部226：连动机构226a：连动杆230：复位弹簧A：枢转轴线D1、D3：移动/凸伸方向D2：推动方向E1：第一端E2：第二端P：枢接部S1、S2、S3：斜面T：导槽具体实施方式图1是本技术一实施例的运载装置的外观立体图。图2是图1的盒体的立体图。图3是图1的盖体的立体图。请参考图1至图3，本实施例的运载装置100包括一盒体110及一盖体120。盒体110具有一开口110a，如晶圆或方形的基板等的片状物(图未示)适于通过开口110a而进入盒体110的内部。盒体110的内部具有一承载组件114，承载组件114适于承载这些片状物。图4是图3的盖体于另一视角的立体图。请参考图3及图4，盖体120具有相对的一外侧板120a及一内侧板120b，且外侧板120a及内侧板120b间于盖体120覆盖开口110a时系呈使外侧气体无法通过盖体120而进入盒体110内的结构。盖体120适于覆盖图2所示的盒体110的开口110a而使内侧板120b朝向盒体110的内部。也就是说：在盖合状态下，盒体110外部的气体无法由盖体120的外侧经由外侧板120a及内侧板120b进入盒体110内部，因此可以确保盖体120覆盖于开口110a后，外界的各种污染物不会随着环境气体进入盒体110内污染其中所放置的晶圆或方形的基板等片状物。盖体120在内侧板120b如图4所示具有一固持组件124，用以在盖合于盒体110的开口110a时通过其上的多个固持件124a分别固持盒体110内的多个片状物的前缘。请参考图1及图3，盖体120具有至少一闩锁机构122(示出为两个)，各闩锁机构122包括一操作部122a及至少一插销122b(示出为两个)，操作部122a适于由盖体120的外侧进行操作，且操作部122a连接插销122b。当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运载装置，适于容纳至少一片状物且包括：盒体，具有开口，其中所述片状物适于通过所述开口而进入所述盒体的内部；以及盖体，具有相对的外侧板及内侧板，并适于覆盖所述开口而使所述内侧板朝向所述盒体的内部，且所述外侧板及所述内侧板间于所述盖体覆盖所述开口时系呈使外侧气体无法通过所述盖体而进入所述盒体内的结构，其中所述盖体在所述内侧板朝向所述盒体内部的一侧具有固持组件，所述盖体具有闩锁机构，所述闩锁机构包括操作部，所述操作部适于由所述盖体的外侧进行操作，且所述操作部连接于所述固持组件，其中当所述盖体覆盖所述开口时，所述操作部适于旋转而使所述闩锁机构成为干涉于所述盒体的闩锁状态，且适于旋转而使所述闩锁机构成为分离于所述盒体的解锁状态，当所述操作部旋转而使所述闩锁机构成为所述闩锁状态时，所述操作部带动所述固持组件从所述盖体的所述内侧板往所述盒体的内部移动或凸伸而固持位于所述盒体内的所述片状物，当所述操作部旋转而使所述闩锁机构成为所述解锁状态时，通过所述操作部的带动或复位组件的驱动而使所述固持组件往所述盖体的所述内侧板移动或收缩而收合于所述盖体。

【技术特征摘要】
1.一种运载装置，适于容纳至少一片状物且包括：盒体，具有开口，其中所述片状物适于通过所述开口而进入所述盒体的内部；以及盖体，具有相对的外侧板及内侧板，并适于覆盖所述开口而使所述内侧板朝向所述盒体的内部，且所述外侧板及所述内侧板间于所述盖体覆盖所述开口时系呈使外侧气体无法通过所述盖体而进入所述盒体内的结构，其中所述盖体在所述内侧板朝向所述盒体内部的一侧具有固持组件，所述盖体具有闩锁机构，所述闩锁机构包括操作部，所述操作部适于由所述盖体的外侧进行操作，且所述操作部连接于所述固持组件，其中当所述盖体覆盖所述开口时，所述操作部适于旋转而使所述闩锁机构成为干涉于所述盒体的闩锁状态，且适于旋转而使所述闩锁机构成为分离于所述盒体的解锁状态，当所述操作部旋转而使所述闩锁机构成为所述闩锁状态时，所述操作部带动所述固持组件从所述盖体的所述内侧板往所述盒体的内部移动或凸伸而固持位于所述盒体内的所述片状物，当所述操作部旋转而使所述闩锁机构成为所述解锁状态时，通过所述操作部的带动或复位组件的驱动而使所述固持组件往所述盖体的所述内侧板移动或收缩而收合于所述盖体。2.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述盖体具有至少一推动件，所述推动件穿过所述盖体的所述内侧板而连接所述固持组件与所述操作部，所述操作部适于旋转而通过所述推动件带动所述固持组件。3.根据权利要求2所述的运载装置，其中所述内侧板的至少一侧设有密封元件，以使所述内侧板的所述推动件穿过处的两侧维持气密。4.根据权利要求2或3所述的运载装置，其中所述推动件包括杆部及推动部，所述推动部抵靠于所述固持组件，所述杆部穿过所述内侧板而连接所述推动部与所述操作部。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄世钦，陈昶玮，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71