运载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种运载装置，可容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。片状物可通过盒体的开口进入盒体的内部，盒体的内部具有至少一顶推结构。盖体具有相对的一外侧及一内侧，且可覆盖开口而使内侧朝向盒体的内部。盖体在内侧具有一固持组件及一对应盒体的顶推结构的连动机构，连动机构连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，顶推结构顶推连动机构，以通过连动机构带动固持组件从盖体的内侧往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当盖体分离于盒体时，顶推结构分离于连动机构，且连动机构复位并带动固持组件往盖体的内侧移动或收缩而收合于盖体。

Carrier device

The utility model provides a carrier device, which can accommodate at least one piece of material and includes a box body and a cover body. The flake can enter the inner of the box body through the opening of the box body, and the inside of the box body has at least one push structure. The lid has a relative one side and one inside, and can cover the opening to make the inside toward the inside of the box body. The cover has a continuous mechanism with a fastening component and a top push structure of a corresponding box body on the inside, and the connecting mechanism is connected to the holding assembly. When the cover is covered with openings, the pushing structure is used to push the linkage mechanism to drive the fixing component to move or extend from the inside of the cover to the box body through the linkage mechanism, and hold the flaky object in the box body. When the cover body is separated from the box body, the jacking structure is separated from the linkage mechanism, and the linkage mechanism is reset and driven to move or shrink to the inside of the cover body, and the closure assembly is closed to the cover body.

【技术实现步骤摘要】
运载装置
本技术涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载片状物的运载装置。
技术介绍
一般易碎型片状物，例如半导体或光电产业所使用的晶圆、光罩、玻璃基板等，若要由甲地运送至乙地，必须避免片状物受到碰撞，否则容易产生碎裂。而且像是晶圆、光罩等容易因为微粒污染而影响品质的物品，还需要避免在运送过程中附着灰尘，因此包装该等物品通常不能使用纸类或泡棉类等容易产生细屑的缓冲材料。以晶圆为例说明，目前业界常见用以装载多片晶圆的前开式晶圆容器(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)通常包含一盒体及一可重置地盖合于盒体的盖体，两者共同形成一容置空间，并在盒体内设有承载组件用以承载多片晶圆，其中盖体的内侧设有固持组件，用以固持盒体内的晶圆。若晶圆为圆形，则固持组件可内嵌于盖体内侧的凹陷部内而不需凸露出凹陷部之外，只要使晶圆的凸弧状边缘伸入凹陷部内至固持组件处就可被固持组件固持。然而，若欲承装的片状物为方形，如方形的硅晶片等，则会因为方形片状物不具有可伸至内嵌于盖体内侧凹陷部内的固持组件处的凸弧状边缘，导致固持组件无法对该方形片状物进行固持。
技术实现思路
本技术提供一种运载装置，其盖体的固持组件可有效对盒体内的片状物进行固持。本技术的运载装置适于容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，其中片状物适于通过开口而进入盒体的内部，盒体的内部具有至少一顶推结构。盖体具有相对的一外侧及一内侧，且适于覆盖开口而使内侧朝向盒体的内部，其中盖体在内侧具有一固持组件及一对应盒体的顶推结构的连动机构，连动机构连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，顶推结构顶推连动机构，以通过连动机构带动固持组件从盖体的内侧往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当盖体分离于盒体时，顶推结构分离于连动机构，且连动机构复位并带动固持组件往盖体的内侧移动或收缩而收合于盖体。在本技术的一实施例中，上述的顶推结构包括多个凸缘，这些凸缘设置或形成于盒体的内壁且邻近开口。在本技术的一实施例中，上述的盒体的内部具有一承载组件，承载组件适于承载片状物，顶推结构位于承载组件与开口之间且不干涉片状物进出盒体处。在本技术的一实施例中，上述的连动机构包括至少一连动杆，连动杆具有一第一端、一第二端及一枢接部，枢接部位于第一端与第二端之间且枢接于盖体的内侧，第一端连接于固持组件，顶推结构适于顶推第二端以带动连动杆枢转。在本技术的一实施例中，上述的固持组件适于沿一移动方向从盖体的内侧往盒体的内部移动或凸伸，连动杆沿一枢转轴线枢接于盖体的内侧，枢转轴线垂直于移动方向。在本技术的一实施例中，上述的至少一连动杆的数量为多个，且这些连动杆对称设置于固持组件的相对两侧。在本技术的一实施例中，上述的盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体的外侧进行操作，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而使闩锁机构成为干涉于盒体的一闩锁状态，且适于旋转而使闩锁机构成为分离于盒体的一解锁状态。在本技术的一实施例中，上述的闩锁机构包括至少一插销，操作部连接插销，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而带动插销从盖体的外缘突伸出以干涉于盒体，且适于旋转而带动插销移至盖体内以分离于盒体。在本技术的一实施例中，上述的闩锁机构不连接于连动机构及固持组件。基于上述，在本技术的运载结构中，盒体的内部具有顶推结构，用以顶推盖体的内侧的连动机构，使盖体的内侧的固持组件可被连动机构带动而往盒体的内部移动或凸伸。藉此，固持组件可有效地对盒体内的片状物进行固持。为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明图1是本技术一实施例的运载装置的立体图。图2是图1的盒体的立体图。图3是图1的盖体的立体图。图4是图3的盖体于另一视角的立体图。图5是图3的盖体的部分结构立体图。图6A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧。图6B示出图4的固持组件移动。图7是图4的盖体的部分结构立体图。图8是图7的连动杆的立体图。附图标号说明100：运载装置110：盒体110a：开口110b：插槽112：顶推结构112a：凸缘114：承载组件120：盖体120a：外侧120b：内侧122：闩锁机构122a：操作部122b：插销124：固持组件124a：固持件126：连动机构126a：连动杆A：枢转轴线D：移动方向E1：第一端E2：第二端H：勾合部P：枢接部具体实施方式图1是本技术一实施例的运载装置的立体图。图2是图1的盒体的立体图。图3是图1的盖体的立体图。请参考图1至图3，本实施例的运载装置100包括一盒体110及一盖体120。盒体110具有一开口110a，片状物(如晶圆)适于通过开口110a而进入盒体110的内部。盒体110的内部具有一承载组件114，承载组件114适于承载这些片状物。图4是图3的盖体于另一视角的立体图。请参考图3及图4，盖体120具有相对的一外侧120a及一内侧120b，且适于覆盖图2所示的盒体110的开口110a而使内侧120b朝向盒体110的内部。盖体120在内侧120b如图4所示具有一固持组件124，用以藉其上的多个固持件124a分别固持盒体110内的多个片状物。请参考图1及图3，盖体120具有至少一闩锁机构122(示出为两个)，各闩锁机构122包括一操作部122a及至少一插销122b(示出为两个)，操作部122a适于由盖体120的外侧120a进行操作且连接插销122b。当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部122a适于通过制程系统中的机械手臂或其他驱动单元的驱动而旋转，以带动插销122b从盖体120的外缘突伸出(如图3所示)而干涉于盒体110的插槽110b，使闩锁机构122成为干涉于盒体110的闩锁状态。此外，当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，操作部122a适于通过制程系统中的机械手臂或其他驱动单元的驱动而反向旋转，以带动插销122b移至盖体120内而分离于盒体110，使闩锁机构122成为分离于盒体110的解锁状态。图5是图3的盖体的部分结构立体图。请参考图5，在本实施例中，操作部122a例如可通过设置于操作部122a与插销122b之间的连动机构126或其他适当种类的连动机构来将操作部122a的旋转量转化为插销122b的平移量，本技术不对此加以限制。请参考图2，盒体110的内部具有至少一顶推结构112，顶推结构112位于承载组件114与开口110a之间且不干涉所述片状物进出盒体110处，且包括多个凸缘112a，这些凸缘112a设置或形成于盒体110的内壁且邻近开口110a。请参考图4，盖体120在内侧120b具有一对应盒体110的顶推结构112的连动机构126，连动机构126包括至少一连动杆126a(示出为四个)，这些连动杆126a对称设置于固持组件124的相对两侧，各连动杆126a具有一第一端E1、一第二端E2及一枢接部P。枢接部P位于第一端E1与第二端E2之间且枢接于盖体120的内侧，第一端E1连接于固持组件124。图6A示出图4的固持组件收合于盖体的内侧。图6B示出图4的固持组件移动。当盖体120覆盖盒体110的开口110a时，顶推结构112顶推连动机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运载装置，适于容纳至少一片状物且包括：盒体，具有开口，其中所述片状物适于通过所述开口而进入所述盒体的内部，所述盒体的内部具有至少一顶推结构；以及盖体，具有相对的外侧及内侧，且适于覆盖所述开口而使所述内侧朝向所述盒体的内部，其中所述盖体在所述内侧具有固持组件及对应所述盒体的所述顶推结构的连动机构，所述连动机构连接于所述固持组件，其中当所述盖体覆盖所述开口时，所述顶推结构顶推所述连动机构，以通过所述连动机构带动所述固持组件从所述盖体的所述内侧往所述盒体的内部移动或凸伸而固持位于所述盒体内的所述片状物，当所述盖体分离于所述盒体时，所述顶推结构分离于所述连动机构，且所述连动机构复位并带动所述固持组件往所述盖体的所述内侧移动或收缩而收合于所述盖体。

【技术特征摘要】
1.一种运载装置，适于容纳至少一片状物且包括：盒体，具有开口，其中所述片状物适于通过所述开口而进入所述盒体的内部，所述盒体的内部具有至少一顶推结构；以及盖体，具有相对的外侧及内侧，且适于覆盖所述开口而使所述内侧朝向所述盒体的内部，其中所述盖体在所述内侧具有固持组件及对应所述盒体的所述顶推结构的连动机构，所述连动机构连接于所述固持组件，其中当所述盖体覆盖所述开口时，所述顶推结构顶推所述连动机构，以通过所述连动机构带动所述固持组件从所述盖体的所述内侧往所述盒体的内部移动或凸伸而固持位于所述盒体内的所述片状物，当所述盖体分离于所述盒体时，所述顶推结构分离于所述连动机构，且所述连动机构复位并带动所述固持组件往所述盖体的所述内侧移动或收缩而收合于所述盖体。2.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述顶推结构包括多个凸缘，所述多个凸缘设置或形成于所述盒体的内壁且邻近所述开口。3.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述盒体的内部具有承载组件，所述承载组件适于承载所述片状物，所述顶推结构位于所述承载组件与所述开口之间且不干涉所述片状物进出所述盒体处。4.根据权利要求1所述的运载装置，其中所述连动机构包括至少一连动杆，所述连动杆具有第一端、第二端及枢接部，所述枢...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄世钦，陈昶玮，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71