设有加强型石墨棒的石墨舟制造技术
【技术实现步骤摘要】
设有加强型石墨棒的石墨舟
本技术涉及机械领域，具体涉及石墨舟。
技术介绍
石墨舟是作为PECVD镀膜程序中的硅片的载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。现有的石墨舟有石墨舟片、石墨棒和螺母等配件，是由多个石墨舟片串联在石墨棒上再由螺母固定而构成的。但石墨棒的强度不高，导致石墨舟易损坏。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种设有加强型石墨棒的石墨舟，解决以上至少一个技术问题。本技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：设有加强型石墨棒的石墨舟，包括一石墨舟，所述石墨舟包括石墨舟片、石墨棒，所述石墨舟片串联在所述石墨棒上，所述石墨棒两端设有用于锁紧石墨舟的螺母，其特征在于，所述石墨棒内部设有一钢条，所述钢条外侧包覆有一层由陶瓷纤维制成的隔热层；所述钢条外侧设有至少4个条状凸起，所述隔热层各处厚度相等；还包括一石墨层，所述石墨层全面覆盖所述隔热层构成所述石墨棒。本专利通过在石墨舟的石墨棒中增设一钢条，增加了石墨棒的强度，与传统的石墨棒相比强度更高，使石墨棒可以串联更多的石墨舟片而不易折断，为石墨舟整体加大加长提供了技术支撑。陶瓷纤维具有很好的隔热性能，最外层的石墨包裹住隔热层及钢条隔绝了空气，能有效防止钢条在高温的条件下与空气中的氧气发生反应，在保证功能的同时增加了强度。所述石墨棒上还开有多个限位槽，所述石墨舟片装在所述限位槽中；所述石墨舟片之间还设有陶瓷圈，所述陶瓷圈串接在所述石墨棒上。现有的石墨舟大多通过陶瓷圈限制石墨舟片之间的距离，本专利在石墨棒上增设了限位槽，对石墨舟片起进一步的限制和定位的作用，防止石墨舟片安装不牢固的问题。作为一种优选...
【技术保护点】
设有加强型石墨棒的石墨舟，包括一石墨舟，所述石墨舟包括石墨舟片、石墨棒，所述石墨舟片串联在所述石墨棒上，所述石墨棒两端设有用于锁紧石墨舟的螺母，其特征在于，所述石墨棒内部设有一钢条，所述钢条外侧包覆有一层由陶瓷纤维制成的隔热层；所述钢条外侧设有至少4个条状凸起，所述隔热层各处厚度相等；还包括一石墨层，所述石墨层全面覆盖所述隔热层构成所述石墨棒。
【技术特征摘要】
1.设有加强型石墨棒的石墨舟，包括一石墨舟，所述石墨舟包括石墨舟片、石墨棒，所述石墨舟片串联在所述石墨棒上，所述石墨棒两端设有用于锁紧石墨舟的螺母，其特征在于，所述石墨棒内部设有一钢条，所述钢条外侧包覆有一层由陶瓷纤维制成的隔热层；所述钢条外侧设有至少4个条状凸起，所述隔热层各处厚度相等；还包括一石墨层，所述石墨层全面覆盖所述隔热层构成所述石墨棒。...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐轶，曹钺，
申请(专利权)人：上海晶驰炭素有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。