The structure of the shaft core of the utility model discloses a magnetic fluid vacuum seal, comprising a rotary shaft, a bearing, bearing No. two, permanent magnet, magnetic fluid and magnetic fluid box, by setting a number of bearing and bearing No. two at the end of the rotation shaft, when a bearing is damaged, bearing No. two you can continue to work, not the whole machine production shutdown phenomenon; and then set the box on the inside of a magnetic fluid bearing, and containing magnetic fluid in the magnetic fluid in the box, when the bearing is damaged, can easily lead to the lateral plate magnetic fluid box is damaged, so that the magnetic fluid magnetic fluid box to remind the staff outflow, a bearing is damaged, the need for timely replacement, and the inner magnetic fluid box is fixed with a permanent magnet, can to some extent avoid the adsorption of magnetic fluid. It is free from excessive magnetic fluid and can avoid magnetic fluid entering the inner of permanent magnet.
【技术实现步骤摘要】
一种磁性流体真空轴封的轴芯结构
本技术涉及一种轴芯结构,具体涉及一种磁性流体真空轴封的轴芯结构。
技术介绍
溅度技术的原理主要是利用辉光放电将氩气离子撞击靶表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜,其性质、均匀度都比以往蒸镀技术来的好。溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化,造成靶与氩气离子间的撞击机率增加,提高溅镀速率,通过撞击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜,因此,溅镀设备中的重要组件便是当中的承载机构-磁性流体真空轴封。大多数磁性流体真空轴封因长时间操作都需要定期保养(如:更换轴承及磁液和清洗等),然而虽有定期的保养,轴承(又称培林)的寿命因负载过重仍然过短,一旦轴承(又称培林)损坏就必须全部更换。因此,如何提供一个可增加轴承(又称培林)寿命,来达到减少因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的,是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术提供一种磁性流体真空轴封的轴芯结构,解决了如何提供一个可增加轴承(又称培林)寿命,来达到减少因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的问题。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:本技术一种磁性流体真空轴封的轴芯结构,包括旋转轴,所述旋转轴的一端固定有一号轴承和二号轴承,且所述一号轴承固定在二号轴承的外侧,所述一号轴承向内一侧焊接有磁性流体盒,所述磁性流体盒内盛满磁性流体,所述磁性流体盒上与一号轴承相对称的一侧设置有永久性磁铁,所述永久性磁铁通过磁力与磁性流体盒相吸。作为本技术的一种优选技术方案,所述磁性流体盒的 ...
【技术保护点】
一种磁性流体真空轴封的轴芯结构,包括旋转轴(1),其特征在于,所述旋转轴(1)的一端固定有一号轴承(2)和二号轴承(3),且所述一号轴承(2)固定在二号轴承(3)的外侧,所述一号轴承(2)向内一侧焊接有磁性流体盒(5),所述磁性流体盒(5)内盛满磁性流体(6),所述磁性流体盒(5)上与一号轴承(2)相对称的一侧设置有永久性磁铁(4),所述永久性磁铁(4)通过磁力与磁性流体盒(5)相吸。
【技术特征摘要】
1.一种磁性流体真空轴封的轴芯结构,包括旋转轴(1),其特征在于,所述旋转轴(1)的一端固定有一号轴承(2)和二号轴承(3),且所述一号轴承(2)固定在二号轴承(3)的外侧,所述一号轴承(2)向内一侧焊接有磁性流体盒(5),所述磁性流体盒(5)内盛满磁性流体(6),所述磁性流体盒(5)上与一号轴承(2)相对称的一侧设置有永久性磁铁(4),所述永久性磁铁(4)通过磁力与磁性流体盒(5)相吸。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:小林宏之,
申请(专利权)人:埃慕迪磁电科技上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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