加热装置制造方法及图纸

技术编号:17661646 阅读:49 留言:0更新日期:2018-04-08 12:48
本发明专利技术提供能够提高加热装置中的保持面的面内匀热性的加热装置。加热装置具有:保持体,其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状且在内部具有与彼此不同的一对电极端子相连接的多个电阻发热体;柱状支承体,其与保持体的第2表面接合在一起,该加热装置用于对保持在保持体的第1表面上的对象物进行加热。上述多个电阻发热体包含:第1电阻发热体,其跨越包含从第1方向观察时与柱状支承体重合的区域的第1区域和从第1方向观察时位于第1区域的外周侧且包含不与柱状支承体重合的区域的第2区域地配置;第2电阻发热体,其跨越第1区域和第2区域地配置,且第1区域中的每单位面积的发热量比第2区域中的每单位面积的发热量大。

【技术实现步骤摘要】
加热装置
本说明书公开的技术涉及一种加热装置。
技术介绍
公知一种一边保持对象物(例如,半导体晶圆)一边将对象物加热到规定的处理温度(例如,400℃~650℃左右)的加热装置(也被称为“基座”)。加热装置例如作为成膜装置(CVD成膜装置、溅射成膜装置等)、蚀刻装置(等离子体蚀刻装置等)这样的半导体制造装置的一部分来使用。通常,加热装置具有:板状的保持体,其具有与规定的方向(以下称为“第1方向”)大致正交的保持面和背面;以及柱状支承体,其呈在第1方向上延伸的柱状,且与保持体的背面接合在一起。在保持体的内部配置有电阻发热体。当对电阻发热体施加电压时,电阻发热体发热,并且将保持于保持体的保持面上的对象物(例如,半导体晶圆)例如加热到400℃~650℃左右(例如,参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1:(日本)特开平10-242252号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题近年来,为了实现半导体制造工艺中的图案细微化、提高成品率等,提高对于提高加热装置的保持面内的温度的均匀性(面内均热性)的要求。但是,由保持体的内部的电阻发热体产生的热经由柱状支承体而散失(以下,将该现象称为“热散失”),因此,在保持体的保持面内的从第1方向上观察时与柱状支承体重合的部分处的温度容易变低,其结果,保持面的面内均热性有可能下降。在本说明书中,公开可解决上述课题的技术。用于解决问题的方案本说明书公开的技术例如可作为以下形式来实现。1)本说明书中公开的加热装置具有:保持体,其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状,并且在内部具有多个电阻发热体,该多个电阻发热体与彼此不同的一对电极端子相连接;以及柱状支承体,其呈在所述第1方向上延伸的柱状,且与所述保持体的所述第2表面接合在一起,该加热装置用于对保持在所述保持体的所述第1表面上的对象物进行加热,在该加热装置中,所述多个电阻发热体包含:第1电阻发热体,其跨越第1区域和第2区域地配置,且所述第1区域中的每单位面积的发热量与所述第2区域中的每单位面积的发热量大致相同,其中,所述第1区域包含从所述第1方向观察时与所述柱状支承体重合的区域,所述第2区域从所述第1方向观察时位于所述第1区域的外周侧并且包含不与所述柱状支承体重合的区域;以及第2电阻发热体,其在所述第1方向上配置在与所述第1电阻发热体不同的位置,且跨越所述第1区域和所述第2区域地配置,并且所述第1区域中的每单位面积的发热量比所述第2区域中的每单位面积的发热量大。如上所述,在本加热装置中,在保持体的内部设置有多个电阻发热体,该多个电阻发热体与彼此不同的一对电极端子相连接,该多个电阻发热体包含:第1电阻发热体,其跨越第1区域和第2区域地配置,且第1区域中的每单位面积的发热量与第2区域中的每单位面积的发热量大致相同;以及第2电阻发热体,其在第1方向上配置在与第1电阻发热体不同的位置,且跨越第1区域和第2区域地配置。第2电阻发热体在第1区域中的每单位面积的发热量比第2电阻发热体在第2区域中的每单位面积的发热量大。因此,在本加热装置中,通过使第1电阻发热体发热来对保持体中的第1区域及第2区域加热,并且与该加热独立地使第2电阻发热体发热,从而能够对保持体中的第1区域及第2区域进行加热。此时,对于第2电阻发热体的发热量而言,与第2区域的发热量相比,第1区域的发热量较大。因此,在本加热装置中,利用第2电阻发热体在第1区域中的较大的发热量,能够抑制由于经由柱状支承体的热散失的影响而导致的第1表面的面内匀热性的下降。(2)在上述加热装置中,也可以是如下结构,所述第2电阻发热体在所述第1方向上配置在比所述第1电阻发热体靠近所述第1表面的位置。采用本加热装置,通过使第2电阻发热体发热,能够迅速地提高第1表面中的属于第1区域的部分的温度,从而能够迅速且高度地提高第1表面的面内匀热性。(3)在上述加热装置中,也可以是如下结构,所述第2电阻发热体在所述第1方向上配置在比所述第1电阻发热体远离所述第1表面的位置。采用本加热装置,通过使第2电阻发热体发热,能够有效地抑制经由柱状支承体的热散失,从而能够提高第1表面的面内匀热性。(4)在上述加热装置中,也可以是如下结构,所述第2电阻发热体从所述第1方向观察时沿着规定的轴线延伸,且呈所述第1区域中的宽度比所述第2区域中的宽度小的形状。采用本加热装置,能够利用简单的结构使第2电阻发热体在第1区域中的每单位面积的发热量比第2电阻发热体在第2区域中的每单位面积的发热量大。(5)在上述加热装置中,也可以是如下结构,所述多个电阻发热体还包含第3电阻发热体,该第3电阻发热体在所述第1方向上配置在与所述第1电阻发热体大致相同的位置,且从所述第1方向观察时仅配置在位于所述第2区域的外周侧的第3区域。采用本加热装置,通过与利用第1电阻发热体、第2电阻发热体对保持体加热独立地使第3电阻发热体发热,能够对保持体中的第3区域进行加热。因此,在本加热装置中,通过利用第3电阻发热体来对保持体的第3区域加热,能够控制第1表面的周缘部的温度,从而能够进一步提高第1表面的面内匀热性。(6)在上述加热装置中,也可以是如下结构,所述第2电阻发热体跨越所述第1区域、所述第2区域和所述第3区域地配置,且所述第1区域中的每单位面积的发热量比所述第2区域及所述第3区域中的每单位面积的发热量大。采用本加热装置,由于在第3区域中除了存在第3电阻发热体以外还存在第2电阻发热体,因此,能够有效地提高第1表面的周缘部的温度的均匀性。此外,本说明书公开的技术能够以各种形式来实现,例如,能够以加热装置、半导体制造装置、这些装置的制造方法等形式来实现。附图说明图1是概略地表示第1实施方式的加热装置100的外观结构的立体图。图2是概略地表示第1实施方式的加热装置100的剖面结构的说明图。图3是概略地表示第1实施方式中的加热装置100的剖面结构(图2、4、5的III-III线位置处的剖面结构)的说明图。图4是概略地表示第1实施方式中的加热装置100的剖面结构(图3的IV-IV线位置处的剖面结构)的说明图。图5是概略地表示第1实施方式中的加热装置100的剖面结构(图3的V-V线位置处的剖面结构)的说明图。图6是概略地表示第2实施方式的加热装置100a的剖面结构(图7、8的VI-VI线位置处的剖面结构)的说明图。图7是概略地表示第2实施方式的加热装置100a的剖面结构(图6的VII-VII线位置处的剖面结构)的说明图。图8是概略地表示第2实施方式的加热装置100a的剖面结构(图6的VIII-VIII线位置处的剖面结构)的说明图。附图标记的说明10:保持体、20:柱状支承体、22:贯穿孔、30:接合层、51:第1电阻发热体、52:第2电阻发热体、53:第3电阻发热体、54:受电电极、55:通路导体、56:电极端子、100:加热装置。具体实施方式A.第1实施方式:A-1.加热装置100的结构:图1是概略地表示第1实施方式的加热装置100的外观结构的立体图,图2是概略地表示第1实施方式的加热装置100的俯视(上表面)结构的说明图,图3至图5是概略地表示第1实施方式的加热装置100的剖面结构的说明图。在图3中示出图2、4、5的III-III线位置处的加热装置100的XZ本文档来自技高网...
加热装置

【技术保护点】
一种加热装置,其具有:保持体,其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状,并且在内部具有多个电阻发热体,该多个电阻发热体与彼此不同的一对电极端子相连接;以及柱状支承体,其呈在所述第1方向上延伸的柱状,且与所述保持体的所述第2表面接合在一起,该加热装置用于对保持在所述保持体的所述第1表面上的对象物进行加热,该加热装置的特征在于,所述多个电阻发热体包含:第1电阻发热体,其跨越第1区域和第2区域地配置,且所述第1区域中的每单位面积的发热量与所述第2区域中的每单位面积的发热量大致相同,其中,所述第1区域包含从所述第1方向观察时与所述柱状支承体重合的区域,所述第2区域从所述第1方向观察时位于所述第1区域的外周侧并且包含不与所述柱状支承体重合的区域;以及第2电阻发热体,其在所述第1方向上配置在与所述第1电阻发热体不同的位置,且跨越所述第1区域和所述第2区域地配置,并且所述第1区域中的每单位面积的发热量比所述第2区域中的每单位面积的发热量大。

【技术特征摘要】
2016.09.29 JP 2016-1906041.一种加热装置,其具有:保持体,其呈具有与第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板状,并且在内部具有多个电阻发热体,该多个电阻发热体与彼此不同的一对电极端子相连接;以及柱状支承体,其呈在所述第1方向上延伸的柱状,且与所述保持体的所述第2表面接合在一起,该加热装置用于对保持在所述保持体的所述第1表面上的对象物进行加热,该加热装置的特征在于,所述多个电阻发热体包含:第1电阻发热体,其跨越第1区域和第2区域地配置,且所述第1区域中的每单位面积的发热量与所述第2区域中的每单位面积的发热量大致相同,其中,所述第1区域包含从所述第1方向观察时与所述柱状支承体重合的区域,所述第2区域从所述第1方向观察时位于所述第1区域的外周侧并且包含不与所述柱状支承体重合的区域;以及第2电阻发热体,其在所述第1方向上配置在与所述第1电阻发热体不同的位置,且跨越所述第1区域和所述第2区域地配置,并且所述第1区域中的每单位面积的发热量...

【专利技术属性】
技术研发人员:仓野淳
申请(专利权)人:日本特殊陶业株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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