【技术实现步骤摘要】
螺旋式卡点石墨舟
本技术涉及太阳能电池片制备
,尤其涉及一种螺旋式卡点石墨舟。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在所有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前,在所有的太阳电池中,晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一,这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量,同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能,因此,晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。现有技术中,晶体硅太阳能电池的制备工艺主要包括:清洗、去损伤层、制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷、烧结、电池片测试。其中,沉积减反射膜是晶体硅太阳能电池生产过程中的一个重要工序。目前,氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜,同时也起到表面钝化和体内钝化的作用,以提高太阳能电池的转换效率。现有技术中,制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法,在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中,需要使用一种承载硅片的石墨舟。目前使用的石墨舟卡点在使用一定次数之后会有所磨损,导致硅片与石墨舟片接触不紧密,以及硅片高温后边角弯曲,导致片内色差甚至射频报警。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决现有技术中石墨舟卡点容易磨损的技术问题,本技术提供一种螺旋式卡点石墨舟。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种螺旋式卡点石墨舟,包括石墨舟舟片和卡点,所述石墨舟舟片上沿所述石墨舟舟片的长度方向间隔开设有多个卡槽,每个卡槽外边缘均设置有多个卡点内螺纹孔,所述卡点包括卡头和卡头底部的外螺纹连杆,卡头和外螺纹 ...
【技术保护点】
一种螺旋式卡点石墨舟,包括石墨舟舟片(1)和卡点(4),所述石墨舟舟片(1)上沿所述石墨舟舟片(1)的长度方向间隔开设有多个卡槽(2),其特征在于:每个卡槽(2)外边缘均设置有多个卡点内螺纹孔(3),所述卡点(4)包括卡头(41)和卡头(41)底部的外螺纹连杆(42),卡头(41)和外螺纹连杆(42)一体结构,所述外螺纹连杆(42)和卡点内螺纹孔(3)螺纹连接。
【技术特征摘要】
1.一种螺旋式卡点石墨舟,包括石墨舟舟片(1)和卡点(4),所述石墨舟舟片(1)上沿所述石墨舟舟片(1)的长度方向间隔开设有多个卡槽(2),其特征在于:每个卡槽(2)外边缘均设置有多个卡点内螺纹孔(3),所述卡点(4)包括卡头(41)和卡头(41)底部的外螺纹连杆(42),卡头(41)和外螺纹连杆(42)一体结构,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐锐,孙铁囤,姚伟忠,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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